3分でわかる！AMR（自律走行搬送ロボット）とは？※解説資料進呈

PR【AMR（自律走行搬送ロボット）とは？】搬送の自動化でよく使用されるA…

AMRとは Autonomous Mobile Robot の略称で、自律走行搬送ロボットと呼ばれています。 SLAM機能を搭載し、周囲の環境地図を作成、自己位置を推定・自動で経路探索しつつ 目的地まで走行できます。 その特性上、様々な物を色々な場所に搬送する多品種・小ロット生産の現場向きです。 走行経路探索と人や障害物の回避を自動で行えるため、人との協働が可能です。 本資料は、...

メーカー・取り扱い企業： ASPINA：シナノケンシ株式会社

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

ビューイングポート（ビューポート）

覗き窓から高真空容器の光信号入出力まで、用途に合わせてご用意しています…

米国MPFプロダクト社のビューイングポートです。 用途に応じて、様々なタイプのビューイングポートをご用意しています。 【特長】 ■豊富な窓材（グラス7056（ホウケイ酸グラス）、溶融石英、サファイヤ等） ■交換式高真空用ビューイン...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

『TAS450』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、 最高クラスの性能を有しています。 【特長】 ■SEMI Standard E154 ■可動部はマッピングユニ...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）

窓材の交換が簡単にできます！

Oリングを使用した、窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）です。窓材がフランジから取り外せるため、窓材の交換やクリーニングなどを簡単に行うことが可能です。 窓材はホウケイ酸グラスまたは溶融石英から選択できます。溶融石英は波長域に応じて4...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

FOURPロードポートN2パージ改造

現在のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットを…

3種類のパージ 1. ロード時のパージ 2.　 開放時のパージ 3.　 アンロード時のパージ...POINT： 1．Power: AC110V, 15A （Port一つ毎につき、電源ソケットが一つ必要です。機台の必要容量は15A。） 2. Gas: XCDA tube: 3/8”, 6Kg/cm2 （実際には5Kg/cm2まで使用可能です。200L/min; Port　一つ毎につ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トリコ 東京支店

クリーンルーム・真空用アルミホイル

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタ…

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタミフリーなアルミホイルです。 アルミ箔はプラスチック製の芯棒に巻かれており、ビニールでラップされております。 ケースもプラスチック製なので紙類は一切使用されておりません。クリーンルーム内でも安心してご使用いただけます。 完全クリーンなアルミ箔なので、真空装置内部例えば蒸着装置などの防着板の代わりとして使い捨てでご使用いただ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

組込用ＧＰＩＢ端末ユニット　ＤＩＯ－５４４０ＧＰＢ

汎用入出力・小型なのでオリジナルＧＰＩＢ端末を構成できます。

本機はＧＰＩＢインターフェースを持った汎用デジタル入出力装置で、２４ビットの入力ポート、１６ビットの出力ポートを装備しています。 シンプルな IN/OUT 命令により、入力ポートの監視、出力ポートの制御を行えます。 また、本機はジャンパ設定により、旧型機「UIO-788G...

メーカー・取り扱い企業： エムシーアイエンジニアリング株式会社

ステンレス製ボールバルブ

スペシャルプライス・即日出荷キャンペーン実施中！ローコストでご提供。ス…

リガルジョイントのボールバルブは廃材の少ないロストワックス製法を用いてローコストを実現。 コンパクトな形状で狭い場所でも取り付けが可能。 2ポートはもちろん、フルボアや3ポートを1/4"から2"までラインナップしております。 ロック可能。（Tハンドルタイプを除く） EUのRoHS指令（特定有害物質の使用制限）にも対応。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

超高真空用ビューイングポート＆電流導入端子※総合カタログ進呈中

官公庁、研究機関、大学の方必見！当社が扱っているビューイングポート（ビ…

本カタログには、超高真空で使用できる各種ビューイングポート（ビューポート）、各種電流導入端子、セラミックグラスを使用した超高真空用ハーメチックコネクタ、PEEK、マコールセラミック材質のコネクタ、カプトン被覆、超高真空用圧着端子、端子台、カプトンテープ、...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

Parker 計装用ニードルバルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブは、プロセス制御、発電および計装用途等で使用される液体や気体を完全なリーク・タイ トで遮断し、調整するよう設計されています。多様なポート・サイズおよびスタイルを備え、－ 54 °C ～ 232 °C（－ 65 °F ～ 450 °F）の範囲の温度と最大5000 psig（34.5 MPa）の圧力に対応する V シリーズ・ニードル...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

MSC8156AMC

MSC8156AMC

フリースケール製MSC8156搭載AMCカードです。1ライン3.125G帯域をサポートし、８ポート×4シリアルRapidIOスイッチサポート、１つ６ポートSGMIIイーサネットスイッチ、 x4シリアルRapidコネクタ（[4:7]と[8:11]バックプレイン）、2つの1000Bas...

メーカー・取り扱い企業： ポジティブワン株式会社

SECSＩ＆HSMS対応通信ドライバ『GEMドライバ』

Windows環境で動作する制御アプリケーションにGEM通信機能を追加…

応可能 ■プロトコル制御やタイマー監視をDLL上で行う ■SECS IIメッセージの構造をローダで作成しDLLにて送受信時の構造編集・展開処理 ■GEMの通信シナリオをDLLで実行可能 ■ポートはパソコン標準のRS232CポートまたはLANポートを使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム

ウエハ移載機

ウエハ移載機

従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査機用・搬送機用等、顧客のニーズに合ったご使用方法に対応することが出来ます。顧客の要望機能を搭載し、カスタマイズすることも可能です。...

メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社

【ピラースーパージョイント】クリーン＆長寿命な回転継手！

日本ピラー工業のロータリージョイント（回転継手）は、メカニカルシールで…

ケイ素）を採用。 　・負圧から正圧まで、広範囲に使用可能です。 　・禁油処理は、もちろん「洗浄⇒組立⇒包装』を一貫して、クリーンルーム内で行っております。 ※本ページでは、 　シングルポートタイプを一例として紹介しております。 　多ポートタイプ・大流量タイプなど 　ご使用条件に沿ったカスタム設計も可能です。 　ぜひ、一度ご相談ください。 ●技術的なご質問はもとより、入手方...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピラー工業株式会社

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

RP3500SA　N2パージシステムスタンドアロン

全てのFOUPに対応した SEMI準拠のN2パージロードポート 【特徴】 ○FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応 ○FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入 　フロントパージ方式を採用（最大200LPM噴射） ○多量のガスを一挙に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライト製作所 本社

ROPV製FRPベッセル(圧力容器)

海外製高品質ベッセルは弊社にお任せ下さい。

ROPV製ベッセルの主要特徴 ・　サイズ及び耐圧の範囲が広く、多くのアプリケーションに対応可能。 ・　サイドポートにより設置スペースと設置コストの削減を実現。 ・　経済性が高く、頑丈で組立が簡単な構造。 ・　他の海外製品より比較的短期間製造・納入可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンコー

RFラジカルビーム源　IRFS-503

RFラジカルビーム源　IRFS-503

カルビームを得ることが可能な、ラジカルビーム源 【特徴】 ○ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し 　差圧によりフラックスを引き出す ○放電が目視確認できるビューポートを標準装置 　発光モニターや分光器を使用して、放電状態・励起状態を確認できる ○完全金属シール、200℃ベーカブル対応によりMBE装置等 　各種超高真空装置に使用可能 ○分子線セルポー...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

AMC80KS2000

AMC80KS2000

IDT製80KSW0005（10ポート）シリアルRapidIOスイッチおよび４つのTI製TMS320C6455/6482のDSPも搭載したAMCカードです。AMCバックプレンには 4 x4 & 1 x1 SRIOリンク、DRAM DD...

メーカー・取り扱い企業： ポジティブワン株式会社

継手緩み防止『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』

当社独自の構造による確実な締結力！配管施工後でも脱着が可能な使いやすさ…

よる緩み防止対策や工場配管設備 の地震への防災対策などの安全対策にお使いいただけます。 ＃振動対策 【特長】 ■ボルト1本で締結する構造 ■配管施工後でも脱着が可能 ■リークテストポートへの干渉がない ■取付後でもリークテストが容易に行える ■取付方による継手の緩みは発生しない ■継手用とバルブ用をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

『事例』　原料容器接続継手の安全対策 ※無料進呈中

容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

"お困りではありませんか？原料容器輸送時の継手の緩み防止対策。 ・輸送時の振動による継手緩み対策 ・手軽に脱着可能で、かつリークポートへの干渉などもなく、今まで通りの作業が可能。" ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

3ピースボールバルブ（ボール弁）『H-500シリーズ』

ステンレス316製、バリエーション豊富な高性能3ピースボールバルブH-…

スボールバルブ（ボール弁）です。3ピースボールバルブの特徴を活かしたメンテナンス性と簡易ロック機構付ハンドルにより高信頼性を求められる用途でのご使用が可能。このシリーズのバルブは、高流量用の大きなポートをもち、タイトなシャットオフ、長い耐用年数、低操作トルクを提供します。また、正逆両方向の流れ方向での使用が可能です。 ご希望により空圧／電動アクチュエーターの取り付けが可能。 ＜特長＞ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

Parker 計装用ボールバルブ

パーカー製 2 方 B シリーズのボール・バルブ

24135 および N30002 構造もご要請に応じて利用できます。 • 精密仕上げのボールによる高い密閉性 • 直線の流路で圧力低下が最少 • 両方向使用可能 • 様々な種類の SI ポートが幅広く利用できます。 • ハンドル操作角度 90° • パネル取付可能 • PTFE 製ステム・シールは調節可能でインラインに維持でき ます。 • ハンドルの位置で流れ方向確認可 •...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

ボールバルブ（ボール弁）『H-700シリーズ』

簡易ロック機構付で安全性向上。ステンレス316製、中圧（13.5MPa…

H-700シリーズは、一般用途向け中圧用ボールバルブです。このシリーズのバルブは、コンパクトな構造で、高流量用の比較的大きなポートを有し、タイトなシャットオフ、長い耐用年数、低操作トルクを提供します。H-700シリーズは正逆両方向の流れ方向で使用が可能で、全閉または全開で使用するように設計されています。 ＜特長＞ ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

EFEMシステム 全ユニット自社製作 PLP向け実績多数有り

【低コスト】構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。 ソ…

．基本構成：EFEM本体、Loader Port、Transfer Robot、Controller System ２．通信仕様：Ethernet （オプション：SECS／GEM） ３．ロードポート数：最大 4個 ４．基板(標準)：５１０X５１５（Th 0.5～2.0ｍｍ）、 ６００X６００（Th 0.2～5.0ｍｍ） ５．War...

メーカー・取り扱い企業： アジアファインテック株式会社 韓国本社

マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

、生産工場で期待される高スループットと高可用性を維持しながら、2 µmのラインアンドスペースの高解像度を実現します。 ワークフローを簡素化するための自動化に対応するために、ウェーハロボットとロードポート、および生産環境用に特別に設計されたソフトウェアを備えています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

ガスフリーペン型大気圧プラズマ装置 NRSR-P10

外部からガスを供給することなくプラズマ処理が可能です。 表面処理（塗…

W) × 80(D) × 149(H) 機能 放電パワー調整、処理時間タイマー 電源 AC100V 50/60Hz, 最大170W オプション  ペン部の形状変更  ガス導入ポートの追加 等、ご要望にお応えします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

■ワークサイズ 　ウェハー　φ4″～φ8″（300CBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　MAX□9″) ■オプション 　ワーク反転機構 FOUPロードポート対応 レチクルケース対応 SMIF　POD対応 オリフラ／ノッチ合わせ機構 イオナイザー オゾン水供給ユニット 高圧ポンプユニット 薬液供給ユニット 機能水供給ユニット エキシマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

ナノインプリント装置

繰り返し精度＝20nm!!!

<構成> 1.XY軸エアースライド 2.リニアモータ 3.リニアゲージ 4.Z軸エアースライダ 5.平行出し機構 6.マイクロディスペンサ 7.オートフォーカスポート 8.基板ホルダ 9.金型ホルダ 10.UV照射ユニット 11.空調システム ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

反転移載機（WRM-02型）

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。 ・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。 ・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ビューポートシャッター

スライド式のUHVビューポートシャッター 理想的な光学遮蔽と開放時の…

スライド式のビューポートシャッターです。従来主流の回転フラッパー式シャッターと比べ、理想的な光学遮蔽状態と開放時の良好な視野が確保できます。 装置取付時のシャッター板駆動空間も不要です。 サイズはCF70～203まで...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

FOUPロードポート『TAS300』

長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮！優れた耐久性のロー…

『TAS300』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び 繰り返し動作の耐久性について、最高クラスの性能を有しています。 可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面下方に...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

『事例』　隣接装置の振動による継手緩み防止対策 ※無料進呈中

隣接装置の振動対策に。継手の緩みをしっかりサポート。安全対策の事例を進…

お困りではありませんか？隣接装置の振動による継手の緩み対策。 ・隣接装置の振動に対して複数改善策を行っているが、継手の緩みが収まらない方 ・手軽に脱着可能で、かつリークポートへの干渉などもなく、今まで通りの作業が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

ズ 　 ウェハー　φ4″～φ8″（300WCBTはMAXφ12″) 　マスク　　 □4″～□6″（　　　同　　　MAX□9″) ■オプション 　 ワーク反転機構 　 　 FOUPロードポート対応 　レチクルケース対応 　 SMIF　POD対応 　オリフラ／ノッチ合わせ機構 　 イオナイザー 　オゾン水供給ユニット 　 高圧ポンプユニット 　薬液供給ユニット 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

0mm（カスタマイズ可） ○昇温スピード：100℃/min（カスタマイズ可） ○圧力範囲：-100KPa（真空）～0.02MPa（N2ガス充填時） ○酸素濃度計、ピラニ真空計、温度モニター用ポート ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

Ø300mm対応露光装置

Ø200mm Ø300mm対応露光装置（マスクアライナ）

裏面方式にも対応 ・独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定 ・マスクチェンジャを搭載。最大20枚のフォトマスクを自動交換 ロードポートを最大３基搭載可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

FoPLP向け EFEM System

構成品全て独自製作で、柔軟にカスタマイズが出来ます。 ソフト対応も含…

．基本構成：EFEM本体、Loader Port、Transfer Robot、Controller System ２．通信仕様：Ethernet （オプション：SECS／GEM） ３．ロードポート数：最大 4個 ４．基板(標準)：５１０X５１５（Th 0.5～2.0ｍｍ）、 ６００X６００（Th 0.2～5.0ｍｍ） ５．War...

メーカー・取り扱い企業： アジアファインテック株式会社 韓国本社