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    ホロカソードエッジング式スパッタ装置

    -ホロカソードガンとスッパッタガンをワンチャンバーに搭載

    ホロカソードで強力にプレエッジング...●ホロカソードガンとスッパッタガンをワンチャンバーに搭載 ●ホロカソードで強力にプレエッジング ●界面エネルギーが高まった処でスパッタ ●緻密で高密着力の膜を成膜...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー

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