ホロカソードエッジング式スパッタ装置

-ホロカソードガンとスッパッタガンをワンチャンバーに搭載

ホロカソードで強力にプレエッジング...●ホロカソードガンとスッパッタガンをワンチャンバーに搭載 ●ホロカソードで強力にプレエッジング ●界面エネルギーが高まった処でスパッタ ●緻密で高密着力の膜を成膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

ホロカソードエッジング方式アークイオンプレーティングシステム

TiN, CrN, TiAlN等での表面改質に最適！

ワンチャンバーにホロカソードガン、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載し、独立成膜可能。...特徴 ●TiN, CrN, TiAlN等での表面改質に最適 ●ワンチャンバーにホロカソードガン、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載し、独立成膜可能。研究開発用途に最適。 ●ホロカソードでの強エッジングにより界面密着力を強制的に向上させ、アークイオンもしくはスパッタで精密成膜。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー