マルチ | イプロスものづくり

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MCA4A 4チャンネルMCA（マルチチャンネル・アナライザ）

PRPHA（パルス波高分析）モードとMCS（マルチチャンネル・スケーラ）モ…

PHAモードでは、16ビットADCを8nsごとに4チャンネル連続して収集し、32kの分解能を実現しています。ポールゼロ・フィルタと台形波シェーピングを備え、典型的なプリアンプ信号も処理できます。 MCSモードでは、右側の４つのBNCコネクタを用いて、Start, Stop1, Stop2, CHADVの各入力信号を処理します。内部メモリに、最大16Mbinのスペクトルを蓄積することが...

メーカー・取り扱い企業：大栄無線電機株式会社
ビル・工場の冷暖房など、様々な用途に活用できるバイオマスボイラー

PR化石燃料の使用を減らし燃料費の大幅削減！カーボンニュートラルでＣＯ２排…

現在焼却処分されている木質や廃プラスチックなどの廃棄物を、マルチボイラーの燃料として活用することで、化石燃料の使用を大きく削減します。木質ペレット、木材チップ、RPF（固形燃料）に対応。間伐材や建築廃材、木材加工時の端材のチップやRPF（固形燃料）を有効活用できます。特に大量に温水を使用する温泉・浴場施設では燃料費の削減に大きく貢献するとともに、バイオマスボイラーは様々な用途に活用でき...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フジテックス
【MiniLab-SA125A】多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ　多くの基板に専用機構を用意。基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。各用途専用カソード（ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用）に加え特殊基板機構（高温加熱・磁場印加・冷却等）で幅広い用...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

当社が取り扱う『超高真空マルチチャンバー連結システム』をご紹介します。超高真空搬送用チャンバーに複数の成膜・分析装置を連結した UHV一貫システムは、ALD、ECRプラズマ処理、スパッタ装置と XPS分析装置を...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社
Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

らびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー制御を実現します。優れた信頼性と卓越した応答性、正確性、再現性を誇り、汎用性に富んだ、お客様が重点を置く価値や機能に合ったシングルガス対応ならびにマルチガス・マルチレンジ対応MFCを取り揃えています。...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
Aera FC-DR980　デジタルマスフローコントローラ

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…

既存の主な制御方式および通信方式に合わせて使用するため、様々な出力形態に応じてアナログまたはデジタル制御を行います。本製品には、お客様のご要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行う...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
薄膜作成コンポーネント

単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをライ…

対応「マグネトロンスパッタカソード」をはじめ、 ICF70よりマウント可能な「EBガン」やルツボ最小2cc～100cc対応の「Kセル」などをラインアップ。また、有機・金属材料対応の「マルチ抵抗加熱ソース」や「コニカル型蒸着ソース」などもご用意しております。【ラインアップ】 ■マグネトロンスパッタカソード ■EBガン ■Kセル ■マルチ抵抗加熱ソース ■コニカル...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社
Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効率の改善にいっそう貢献します。この次世代MFC技術は、統合診断機能に加え、フィールドですでに実績のある当社のD980シリーズ...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
多目的スパッタリング装置

研究開発から量産までサポート！

　選択機能】 ●カソード変更（大型カソード化、4インチカソード多元化） ●高温加熱機構（800℃） ●バイアススパッタ機構【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイプスパッタリング装置 ●巻取式スパッタリング装置 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。次世代デバイスの開発（強誘電体膜開発、配向...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
多層膜スパッタリング装置『S600』

ヒーターステージ(1000℃)搭載！開発工程～量産工程まで様々な用途へ…

【その他の特長】 ■ダブルロードロック室で高生産性を実現 ■ロータリタイプとマルチチャンバタイプを融合した搬送形態で　多様なプロセスへの対応と高スループットを両立 ■各ポジションに様々なユニットを装着可能 ■3～6インチ基板処理に対応(多品種混流生産にも対応) ■偏芯...

メーカー・取り扱い企業：パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社
イオンビームスパッタ装置『scia Coat 200/500』

最大5(220mm径)又は4(300mm径)ターゲット搭載！イオンビー…

【アプリケーション】 ■光学用(X線ミラー、バンドパス/ノッチフィルター、反射防止膜) ■GMR、TMR及びスピンと炉にクス用マルチコーティング ■積層型人工多層膜鏡(ゲーベルミラー) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
スパッタリング装置多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリングプラズマエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社