【空冷式】高性能シリーズ 空冷リモートコンデンサータイプ

PRヒートショック試験装置の排熱や、冷却水トラブルでお困りではありませんか…

[こんな事でお悩みはありませんか？] ■装置の排熱で設置環境の室内温度が上昇してしまう。 ■装置を導入したいが冷却水設備が無く、イニシャルコストが高く導入できない。 ■冷却水設備のメンテナンスコスト低減や水質管理の手間を省きたい。 ■冷却水の水質に問題がありトラブルが多発し、稼働率が低下している。 日立なら空冷リモートコンデンサー（室外機）を外に設置する事で ・冷却水設備が不要！ ...

メーカー・取り扱い企業： 日立グローバルライフソリューションズ株式会社

イートンのエネルギーマネジメントソフトウェア

PRイートンのエネルギーマネジメントシステム：未来へのパワー、今日のスマー…

エネルギー・マイクログリッドだけではなく、電気の使用場所、使用量と電気代を表示することによって電気代を節約するための分析、CO2の可視化、ロボットで自動に電気設備の監視、電気制御機器のリモート制御もできます。 多数の成功事例もあります。 どんな製品か、お客様へのメリットは何だか、デモにてご回答できます！ぜひ一度お問い合わせてみてください！...実際の使用感を実感いただけるよう、準備をしておりま...

メーカー・取り扱い企業： イートン・エレクトリック・ジャパン株式会社

高レート イオンビーム・スパッタ高速成膜装置（HR-PVD）

誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜

の最適解 ■ヘリコンプラズマイオンソースとターゲット印加 　高速スパッタリングと低コンタミの両立 　ターゲット利用効率の向上によるランニングコスト削減 　グリッドレス構造によるメンテナンス低減 　リモートプラズマ構成による、基盤を低温に保ってのスパッタリング ■枚葉処理 　ステップカバレージの向上 　クラスターツールによる複合成膜 ■優れた直進性 　直進性の高いイオンビームにより、均一な膜厚での成...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

独自技術HiTUSテクノロジー ヘリコンイオンソースをプラズマ源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的なテクノロジーです。 リモートプラズマ方式によるイオンビーム型の成膜法であるため、マグネトロンスパッタ装置が不得意とする強磁性体ターゲットや誘電体ターゲットも安定した製膜を実現します。 イオン源とターゲット印加を個別に制御する...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

リモートイオンソース型 HR-PVDスパッタリングモジュール

指向性成膜を実現し、リアクティブスパッタリングも可能な高イオン電流ヘリ…

AVP Technology社製 HR-PVDスパッタリングモジュール ・ヘリコンプラズマイオンソースを用いたリモートプラズマソースによりICPソースと比べ高いイオン化効率を実現しています。 ・傾斜角方向からの優れた直進性により、膜厚均一性およびステップカバレッジにおいても優れた結果を得ています。 ・リモートプラ...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

膜制御・ベント、レシピ作成、更に故障解析、ログ等全て前面の7"タッチパネルで操作、操作の一元管理が可能です。 IntelliLinkソフトウエア付属：Windows PCとUSBケーブルで接続しリモート監視、オフラインレシピ作成・ダウン＆アップロード、ログ保存 新素材・新材料開発、及び半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などの先端基礎技術開発部門でのさまざまなアプリケーションに対応致します...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

Plasma Quest Limited 企業紹介

リモートソース型イオンビームスパッタ装置　リモートプラズマソースの開発…

PlasmaQuest社 ヘリコン型 高密度イオンソースの開発販売、及び 応用製品の開発販売で25年の歴史を持つ優良企業です。 グリッドレスで高密度なプラズマを発生させるヘリコンプラズマソースは、多くの装置メーカーにOEM供給を続けていおります。 その高品位なプラズマソースをイオン源として、ターゲットにバイアス印加を行う画期的な手法「HiTUS」システムにより、様々な条件やターゲットを用いてのスパ...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…

イスクロールポンプ） ・基板回転、上下昇降ステージ ・Max500℃基板加熱ヒーター ・水晶振動子膜厚センサー ・7”タッチパネルHMI操作（’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

高電流密度イオンビーム型イオン銃

EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

【仕様】 　■ イオンビームエネルギー:0–3keV 　■ イオン電流密度:>300μA/cm2 　■ 高スパッタリングレート:200Å/min 　■ ビーム径:2.5mm 　■ リモートコントロール機能:ビーム電圧のオンオフ 　■ イオンビームスキャニング機能: 　■ DC偏向機能: 　■ 自動出ガス機能: 　■ 取付フランジ:ICF70 　■ 許容加熱温度:250℃...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク