【内部流路】拡散接合【セラミックス・石英ガラス・純モリブデン】

PR拡散接合により、内部に流路を有する複雑形状が実現可能！石英ガラス、純モ…

拡散接合は材料同士を直接接合させる技術です。 接着剤、ロウ材を使用しないため、不純物による汚染問題が起きません。 また、塑性変形の発生を抑えることもできます。 拡散接合を用いることで、通常の切削加工では実現できない中空構造や、内部流路、真直度の良い深穴を形成可能です。 ヘリウムリークテスターを保有しておりますので、リークテストの実施も可能です。 【拡散接合実績材質】 ・アル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トップ精工

エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下とい...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

精密溶接加工【気密溶接】

40年のノウハウと徹底した工程内品質管理が可能にした気密溶接技術【マイ…

【精密溶接加工に関して、こんなはございませんか？】 ◎真空容器、水中ポンプなどの溶接でリーク(漏れ)が心配･･･ ◎外注監査も受け入れるほど品質管理が徹底している会社は無いか･･･ ◎工程短縮と品質向上をしたい･･･ 　⇒　⇒　ニッセイ機工にお任せください！ 【ポイント1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッセイ機工

マクミラン　小型薬液流量コントローラ　Ｕ８０３／Ｕ８０４

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最…

ルブの組み合わせにより優れた再現性と長期にわたり正確な流量コントロールが可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。継手接続はフレアー継手を採用リークの心配がありません。 電気ケーブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択できるので、各種用途に利用しやすくなっています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

継手緩み防止『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』

当社独自の構造による確実な締結力！配管施工後でも脱着が可能な使いやすさ…

送時の振動による緩み防止対策や工場配管設備 の地震への防災対策などの安全対策にお使いいただけます。 ＃振動対策 【特長】 ■ボルト1本で締結する構造 ■配管施工後でも脱着が可能 ■リークテストポートへの干渉がない ■取付後でもリークテストが容易に行える ■取付方による継手の緩みは発生しない ■継手用とバルブ用をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

セトラ社　腐食性ガス対応　微圧センサ　２０１

接ガス部はインコネル６００シリーズとＳＵＳ３１６を採用し全溶接構造で堅…

モデル２０１は耐食性の微差圧トランスミッタです。 接ガス部は全溶接構造でリークの心配がない構造になっています。 接ガス部の材質はインコネル６００シリーズを採用、継手部はＳＵＳ３１６を採用して耐腐食性に優れます。ローコストで微圧の計測を行う事が出来ます。 補償温度範囲も－...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

絶縁変圧器『HTC-200-6K』

入力側と出力側の絶縁を実現！出力側デバイスのリーク電流などを入力に返し…

定格容量6KVAの 出力ブレーカー付き(2回路)絶縁変圧器です。 電圧、容量、非常用インターロック回路や出力分岐回路などにも対応可能。 入力側と出力側の絶縁を実現し、出力側デバイスのリーク電流などを入力に返しません。 また、電圧変換、ノイズ低減ができます。 当社は、受注から設計・製作まで一貫した体制をとっておりますので、 優良製品・短納期を実現。ご用命の際は、お気軽にご相...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社細田電機

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

【仕様】 ■最高使用温度：200℃～300℃に対応 ■定格流量：～100L/minまで対応可能 ■定格容量：130W～1300W ■リークレート：1×10-10Pa・m3/sec以下 ■熱電対：Kタイプ　クラス2 ■電源：AC100　または　AC200 ■サーモスタット：ディスク型　および　ブロック型 ■300℃モデルにつて...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

ESD/Lu・CDM・GL試験

熊本事業所にて承っております

ITA/EIAJ/JEDEC/EOS/AEC 【装置仕様】 　◇最大使用可能ピン数：1024ピン 　◇印加電圧　　：　0～±4000V 　　　　　　　　　（5Vステップ) ゲートリーク試験 【適合規格】　◇AEC-Q100-006　 【試験内容】 高温下でICに高電圧を加えることが でき、表面実装型のICのゲートリーク （電気的、熱的誘導による寄生ゲート 　漏洩）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レスター 厚木事業所,熊本事業所,大分事業所,鹿児島事業所

ポーラスチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハや薄物ウェーハの搬送に適しています。 チャック本体は高純度アルミナセラミックスを使用し、ワーク吸着面のみに多孔質セラミックスを使用しています。 平均細孔径20μmの気孔径を有し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

落とし込みチャック

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…

反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力領域を高感度で測...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ステンレス製チューブ継手 T-LOK（ティーロック）

バリューインパクト有限会社は『つなぐ』に価値をご提案します。 真空配…

1 1/4回転の回転数管理の継手です。（接続方法についての資料もございます。） 既存装置や設備側に他社継手が使われている場合でも、互換性を証明した「T-LOK」であれば、他社との接続が可能。リーク（漏れ）の無い配管接続をご提供いたします。 価格は、30%以上のコストダウンをご提案できた事例はいくつもございます。 現在ご採用のメーカー様の品番をご連絡いただければ、当社にて相当品の...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

半導体プロセスガス用　インラインフィルター

短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！

PTFE膜タイプ をガス種に応じて選定いただけます。 メーカーカタログには、ガス種に応じた対応一覧を掲載しておりますので 機器選定にご利用ください。 【特　長】 ・100% Heリーク試験済（1.0×10^-9 atm・cc /sec） ・100% パーティクル試験済（0.0025μｍ以上が未検出） ・クラス100クリーンルームにて製造・試験・梱包 ・広い流量範囲（15～...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社

『事例』　原料容器接続継手の安全対策 ※無料進呈中

容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

"お困りではありませんか？原料容器輸送時の継手の緩み防止対策。 ・輸送時の振動による継手緩み対策 ・手軽に脱着可能で、かつリークポートへの干渉などもなく、今まで通りの作業が可能。" ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

卓上型ワイヤボンダ・ボンディングツール　総合カタログ

高精度・低価格・多機能…卓上型ワイヤボンダとボンディングツールの総合カ…

合せ下さい。 ○マイクロポジショナー　PH10/PH18：アリ溝方式を採用しコストを重視しながらも操作性抜群 ○高精度DC同軸プローブ　APTシリーズ：電気的な制約やケーブル接続によるノイズやリークを低減 ○プローブ・ニードル：様々な材質、先端形状をご用意 詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： TPTジャパン株式会社

株式会社ニッセイ機工　「極薄板・精密溶接加工」受託

極薄板溶接40年の経験と確かな技術力で高品質の溶接を提供します。

(極薄板)溶接可能 →マイクロプラズマ溶接と自社開発冶具で0.03ミリから1.0ミリまで対応 →ステンレス以外、チタン・ニッケル系合金などの特殊材もご相談ください ○気密溶接 →気密溶接でリーク(漏れ)検査を実施 →クリーンな作業環境で徹底した工程内品質管理 ○高品質 →漏れなし、割れなし、歪みなし、技術に裏付けられた確かな品質 →安心安全の溶接作業環境 ○即対応・短納期 →...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッセイ機工

純水供給圧の不足や変動の問題を解消！純水昇圧ユニット

工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！…

mm(幅)×690mm(奥)×1,470mm(高） ■装置材質：PVC ■最大使用圧力：0.5MPa ■制御/操作方式：PLC制御方式/タッチパネル ■非常停止ボタン：設置 ■漏液検知：リークセンサー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

ボールバルブ（ボール弁）『BCシリーズ』

標準で禁油・禁水対応のボールバルブ。LET-LOK（食い込み継手）接続…

バルブ（ボール弁）です。 ＜特長＞ ・標準で禁油・禁水に対応し低コスト ・コンパクト設計 ・禁油・禁水でありながら軽い操作トルク ・パネルマウント対応 ・真空引き対応（カタログ記載リークレートご参照下さい） ・豊富な国内在庫で対応 サイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"の4種類をご用意し、継手で実績のあるLET-LOK（食い込み継手）を採用しております。 材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

Parker 計装用ニードルバルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブは、プロセス制御、発電および計装用途等で使用される液体や気体を完全なリーク・タイ トで遮断し、調整するよう設計されています。多様なポート・サイズおよびスタイルを備え、－ 54 °C ～ 232 °C（－ 65 °F ～ 450 °F）の範囲の温度と最大5000 ps...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

ボールバルブ（ボール弁）　『H-800シリーズ』

20MPa（最大）対応ステンレス316製、高性能コンパクトワンピースボ…

用途および計装用パネルに適した１ピースボールバルブ（ボール弁）です。低圧・高圧での使用が可能で、高ライフサイクルで幅広い温度範囲で使用できる設計になっています。一体化されたボディ設計のため、シェルリークの可能性が低減されています。ご希望により空圧／電動アクチュエーターの取り付けが可能。 ＜特長＞ ・高温（max:149℃）対応 ・高圧（max：20MPa）対応 ・3方弁をご用意 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

精密溶接加工実績　ステンレス

極薄板溶接40年の経験と確かな技術力　精密溶接加工実績【ステンレス】

【実績一例】 ◆ＩＣＦフランジ（SUS304)・ベローズ(SUS316L)の気密溶接 【仕様】CF203フランジ　溶接ベローズφ150 【用途】　超高真空装置 【リークレート】5.0x10-11 Pa･㎥/S 【特徴】　 溶接はヘリ溶接となります。 その他、各種ベローズに合わせた開先形状の溶接が可能です ↓↓詳しくはお問合せ、またはカタログをダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッセイ機工

精密溶接　5つの強み

極薄板溶接40年の経験と確かな技術力で高品質の溶接をご提供

． 0.03ミリから1.0ミリまで対応突合せ溶接！ ワークに応じた溶接条件、100％自社開発の溶接冶具！ チタン・ニッケル系合金などの特殊材もご相談ください！ ◆その2． 気密溶接でリーク(漏れ)検査を行います！ クリーンな作業環境で徹底した工程内品質管理 ◆その3． 目指すは機械加工精級の寸法精度！ 安心安全の溶接作業環境！ 溶接の天敵、歪を撃退！ ◆その4．...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッセイ機工

真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで！！

理》 ・酸洗浄：低コスト ・電解研磨：SMC洗浄、サスピカ、アルピカの高グレード対応可能 ・バフ研磨、各種めっき、アルマイト処理 ・ベーキング 《検査内容》 浸透探傷検査、ヘリウムリークテスト、放出ガス測定、加圧テスト、寸法・外観その他 《短納期対応》 標準的なチャンバーであれば1ヶ月程度 《品質保証》 《低コスト》 必要な仕様に対応する適切な設計によるコス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空容器制作事例「実験用チャンバー」

真空容器制作事例のご紹介

1、酸洗浄：低コスト 2、電解研磨：SMC洗浄、サスピカ、アルピカの高グレード対応可能 3、バフ研磨、各種めっき、アルマイト処理 4、ベーキング 《検査内容》 浸透探傷検査、ヘリウムリークテスト、放出ガス測定、加圧テスト、寸法・外観その他 《短納期対応》 標準的なチャンバーであれば1ヶ月程度 《品質保証》 《低コスト》 必要な仕様に対応する適切な設計によるコス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空バルブオーバーホールの流れ

真空装置周辺機器のオーバーホール・修理なら　お任せ下さい！

メーカーメンテナンスの『高価格・長納期』の悩みを解消します。 分解・洗浄・修理・組立・動作テスト・リークテストの全てを自社で一貫して行う事により、短納期で信頼性のあるメンテナンスを衝撃のコストパフォーマンスで提供します。...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店

真空配管、粗引配管設計及び制作

真空配管、粗引配管設計及び制作

真空配管にて重要な欠陥であるフランジ部のキズなど、出荷前の外観検査にて除去し、 リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、 減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

成形ベローズ VG-VF 『CEV-10000』

真空配管用成形ベローズです。JIS規格真空フランジ付きです。

【標準仕様】 ■内部 ・真空 ■外部 ・大気 ■リークテスト ・He ガスリーク 1.0x10⁻⁹ Pa･m³/sec 以下 ■フランジ規格 ・JIS真空フランジ（VG･VF） ■材質 ・ベローズ：SUS304、SUS316L ・フランジ...

メーカー・取り扱い企業： 中日技研工業株式会社

『事例』　隣接装置の振動による継手緩み防止対策 ※無料進呈中

隣接装置の振動対策に。継手の緩みをしっかりサポート。安全対策の事例を進…

お困りではありませんか？隣接装置の振動による継手の緩み対策。 ・隣接装置の振動に対して複数改善策を行っているが、継手の緩みが収まらない方 ・手軽に脱着可能で、かつリークポートへの干渉などもなく、今まで通りの作業が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

バルブ修理、ヒートエクスチェンジャー改造

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！ 　　メーカーメン…

び新規製作。 ・各部材のアルマイト処理等の膜厚変更等。 【　信　頼　性　】 充実したメンテナンス設備 ・動作確認用コントローラー所有。 ・アクチュエーター単品でも動作テストを実施。 ・リークチェック用各種フランジを所有。...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 近畿支店