もやもやを解決！エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」

PR【何となくで選んでいませんか？ 】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。 本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」 「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。 初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、 何となく使用していたけど改めて知りたい方にも 活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。 【掲...

メーカー・取り扱い企業： ミネベアミツミ株式会社 回転機器

異物除去装置　樹脂粉・フロス除去装置『マジックダストクリーナー』

PRプラスチック樹脂原料を空気輸送中に発生する樹脂粉・フロス・異物を1台で…

樹脂粉・フロス除去装置『マジックダストクリーナー』は、 樹脂原料で発生する粉塵・フロス等の異物を綺麗に除去する製品です。 振動式の原料供給部と、フィンを設けたフィーダー部で異物を高効率除去。 不良品を削減でき、トータルコストの削減につながります。 【特長】 ■インバーター制御により、吸引ブロワを数値で制御。目視確認が不要 ■静電除去装置を使うことで、さらに除去効率がアップ ■紙くず、糸くず、毛...

メーカー・取り扱い企業： エム・エルエンジニアリング株式会社

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 　作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です！ デモも随時ご相談受付ておりますので、ぜひお気軽にお問合せ下さ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。 勿論工程の選択も出来ます。 ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

LED材料用液体・粉体自動分注シリーズ　SAP-1 A14/M6

LED分注工程の生産革新！生産現場で要求される精度を実現します

使用 →粉体±0.3mg・液体±1mgの精度を実現 →消耗品の少ない方式 →液体ポンプは高粘度・低粘度対応可能 →粉体は蛍光体の他、比重の軽い分散剤の分注も可能 ○SAP-1 M6 →ローダー・アンローダーは使用しない半自動タイプ ○SAP-1 A14 →ローダー・アンローダー、バーコードリーダーを使用できるフルオートマチックタイプ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルコム

枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

プを使用し、高精度の塗布を行います。 また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備えています。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

半導体製造装置　マスク自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションに…

本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経てアンローダーに収納する装置です。 バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

装　置　仕　様 【洗 浄 対 象】 ～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください） 【槽構成】 ローダー（水中も可）→処理槽（最大９槽）→アンローダー ※乾燥は上記乾燥方式により選定...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

６インチウェハ対応の石英管の横型炉を標準とし、8インチ、縦型炉がオプション対応 高真空排気系も装備可能で、より純度の高い還元雰囲気熱処理が可能。 実績豊富な機器構成に加えボートローダーやデータロギング機構などの周辺機器も豊富にラインアップ。 不活性雰囲気アニールにも対応できる専用アニール装置。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

多彩な製品と高い技術力で実装トータルソリューションを提供します！

お客様の実装課題を解決するため、パナソニック社を始めとした実装関連装置…

ールカウンター ■基板カッティング装置 ■断面観察用超音波カッティング装置 ■目視支援装置 ■異形部品挿入機 & 半自動部品挿入機（インサーター） ■防湿塗布機 ■ディスペンサー ■ローダー & コンベヤー ■リフロー炉 ■ステンシル & ステンシルクリーナー ■リワークステーション ■自動はんだ付ロボット ■生産支援ソフトウェア など ※メーカー名につきましては、PDF...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

「低価格版」ウエハ・チップ外観検査装置

ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が…

（オプション仕様） ・ ローダー・アンローダー対応可能　 ・ NGチップ排除機構対応可能 ・ 高さ補正を行いながら検査が可能 ・ NG箇所へのマーキング機構対応可能 ・ 排出ミス、マーキングミスの確認機構対応可能 ・ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン

マップフレーム用　レーザーマーキング装置　『MK621』

マップフレーム対応　レーザーマーキング装置

マーク　　　位置を決定し　補正の無い装置も提供可能です。 フレームをバキュームで保持するテーブルもあります。 フレーム供給方法スタックマガジン　または　スリットマガジン 　　スタックマガジンローダー　アンローダー　　　各　１マガジン 　　スリットマガジンローダーアンローダー　　各2マガジン 多品種に対応可能。 画像構成上方向　または　下方向からの確認位置確認　品種確認　 上方向からの...

メーカー・取り扱い企業： 綜和機電株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

等 ＜　対応ウエハ口径　＞ 　・　φ2”～φ4” 　・　φ6”～φ8”　 ＜　その他　＞　　　　　　 　単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 　ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 　複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 　洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、 オリフラ位置の位置合わせを行ったうえで アンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。 設計から製造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高熱容量デバイス対応半田接合ダイボンダー

Dpak、To220からTo3p、IGBTまで、高品質高熱容量デバイス…

ローダーから供給された短冊リードフレームを、還元雰囲気で保たれたヒーターレール上をピッチ送りしながら、半田供給を行ないチップボンディングし、アンローダーへ収納するまでを行なうダイボンダーです。 半田接合をベースに金共晶、エポキシ接合にも対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンマシナリー株式会社

リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

Jetチャンバーのみを有し、ウエハー投入・排出は手動操作 ・SL型（量産向け）…ディップ槽のみでリフトオフ処理を行なうシャワードレン式リフトオフ装置 ・ML型（研究開発・量産向け）…SL型からローダー、搬送機、アンローダーを削除した装置 上記６種類のラインナップに、６種類のオプションをつけられます。 オプションの詳細は、下へスクロールしご覧ください。 当社東京テストセンターにて、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

生産設備　設計・製作サービス

ラインすべての自動化を一貫体制でご提案します

・発塵無き機構部の装置：粉体秤量装置　他 ■食品 　・クリーンルーム対応装置 　・発塵無き機構部の装置：材料投入装置　他 ■FPD 　・クリーンルーム対応装置 　・ガラス基板搬送装置：ローダー/アンローダー装置　他 ■半導体 　・クリーンルーム対応装置 　・上流・下流装置問わず連結可能：EFEM　他 ■自動車関連 　・ASSY組立装置 　・画像検査装置　他 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： レック株式会社

マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

m 最小ラインアンドスペース：2 µm 最大書き込み速度：5000 mm2 / min（@405 nm、1モジュール時） リアルタイムオートフォーカス 前面と背面の位置合わせ フルオートローダー 複数モジュール搭載可...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…

断したウェーハをビームから剥離後に枚葉で洗浄し、カセットに収納するまでを全自動でおこないます。 ・低ランニングコストを実現。 ・ご使用のインゴットリフターに合わせた設計可能。 ・オプションにより、ローダーIDリーダー追加可能。 ・オプションにより、アンローダーキャリア部にRFID機能追加可能。...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

半導体自動切断機『SMB-812-40280』

円筒加工済みのインゴットをコーン、ブロック、サンプルに切断します

ロックの切断及びブロック毎の サンプリング切断を行う、半導体自動切断機です。 ブロックやサンプルにはレーザー／インク印字を行い、 物流仕分のLAN結合システムも可能。 また、全自動ローダー・アンローダーは別途仕様により対応いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■インゴットサイズ：8",12"×2,800l／500kg ■ブロック長：100～...

メーカー・取り扱い企業： 齊藤精機株式会社

薄膜パターニング装置『FILM LASER』

加工の一体化的な装置化！自動切断による生産効率を向上したレーザーシステ…

対応いたします。 【特長】 ■加工範囲： 800mmx800mm（カスタマイズ） ■ライン＆スペース： 20μm/20μm ■量産速度： 5,000mm/s ■ロールtoロール、ローダー、アンローダ一等加工の一体化的な装置化 ■自動切断による生産効率を向上 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デルファイレーザージャパン

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

小型モジュール用フルオートACF実装装置　CMS-1200

フルオートACF実装ライン　カメラモジュール等に最適

ワーク上へのACF貼り付け、FPC供給及びアライメント搭載、熱圧着を自動で行うACF実装装置です。 ワークは循環キャリアでハンドリングし、FPCはマガジンにて供給されます。オプションでローダー、 アンローダーの追加が可能です。 [仕様抜粋] （カメラモジュール用） ■カメラモジュール…Max 10(W)×10(D)×10(H)mm 　　　　　　　　　　Min 5(W)×5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大橋製作所 機器事業部

マイクロデバイス製造関連装置

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

パイmmまで取り揃えております。 【オートアライナー装置】 本装置はカセットtoカセット搬送システムを搭載した、全自動全面一括露光装置です。 多様なデバイスの量産用アライナーとして、ローダー、アンローダー搬送システムを構築し、 生産量をアップします。 ※詳細は、カタログをダウンロードの上、資料請求下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

サーマルALD装置『Phoenix G2』

量産に必要な多くの安全対策仕様！コンパクトな装置サイズで成膜温度50～…

enix G2』は、中規模量産に適したサーマル式のALD装置です。 優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザインで、 多用途に対し容易に使用可能。 また、セミオートローダー又は真空ロードロックに対応しており、 適切なチャンバーサイズ(＜370mm×470mm)となっております。 【特長】 ■優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザイン ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RS-1300】

抵抗率／シート抵抗測定器【RT-3000/RS-1300】

【X-Yプローブ軸移動によるセミオート測定システム（ローダー/アンローダーロボットとのドッキングより全自動システムになります）】 ◆FPD分野における世界標準機 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パター...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

精密平面研磨加工サービス

板形状への精密研磨加工と成膜はぜひ当社へご相談ください！

【その他加工技術】 ■精密切断加工 　・ワイヤソー 　・オートローダー付き芯取機 　・スライサー ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アヒコファインテック株式会社

非接触ウエハソーティングシステム【NC-6800】

ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム！

【ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆抵抗・厚さ・PN判定を全て非接触測定 ◆標準カセット数：ローダーカセット×4、アンローダーカセット×6 （カセット数は変更対応可能です） ◆ガラスマップ（サーチ）機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ウエハサイズ：3インチ〜8イ...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

枚葉自動スピン剥離装置

本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能

カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

半導体用マスクレーザー描画装置『ULTRA』シリーズ

高速半導体用マスクレーザー描画装置『ULTRA』

オーバーレイ: 30nm（QXモード） ■ポジション精度:40nm(QXモード） ■最大描画エリア：228mm x 228mm(オプション　最大400mm x 400mm) ■マスク用オートローダー ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

VPG 300 DI

VPGシリーズに300x300mm角基板まで対応した高速描画装置が加わ…

mまで描画可能。 選択できるWrite Mode(最小寸法0.5um　または0.8um) 高出力DPSSレーザー 最大描画面積　300x300mm2 リアルタイムオートフォーカス オートローダー 基板検出機能 裏面アライメント機能 Zerodur採用 高精度微分干渉計によるステージ制御...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

チップ移載装置/CHIP SORTER

カスタムメイドで対応します。

□ランク毎にチップを取り出す事で、常時高速運転が可能です。 □オプションで機構を一部改造することにより、トレー配列から 　シート配列に変更も可能です。 □オプションのウエーハ用ローダーを取り付ける事で 　フルオート化が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

有機ＥＬ基板洗浄装置　ME-6500-10

有機EL等の基板製造装置に最適です！

●装置寸法：L4500×D1220×H1500mm ●工程：ローダー⇒入口⇒AC１⇒洗浄ブラシ⇒AC２⇒シャワー⇒HPMJ⇒MS⇒●リンス⇒エアナイフ⇒出口⇒アンローダー ●コンベア巾：400mm...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

【仕様】 ○ワークサイズ ： ＳＭＤ ２０１６以下の小型サイズにも適応可能 ○装置構成 ： ３室（仕込室、処理室、取出室） インライン式 　※オプションで ＬＤローダー（Ｏオーバー.Ｄドライブ付属）、 　　ＵＬＤとドッキングが可能 ○搬送系 ： ＳＦＥ－Ｂ０３型と同じくＸ軸搬送をＨ／Ｌに各々採用 ○排気系 ： 処理室 １２インチＣＰ 仕込室/取出室 ＲＰ＋...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

【ウェハ素子】レーザートリミング装置『PLT-20』

ウェハで形成された製品を電気特性検査しながら、レーザーにて特性の追い込…

を実現。 フォトリソ加工したウェハに対して不要回路の溶断や、ウェハ内の 不良素子へバットマーク印字など、様々な用途に応用できます。 【特長】 ■レーザーの種類は様々ご提案可能 ■ローダー/アンローダーによるウェハ自動搬送を実現 ■NGチップ折り取り機能による後工程へのNG流出防止（オプション） ■様々な電子デバイス素子のウェハトリミング・計測に応用可能 詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＰＦＡ

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

＜　対応ウエハ口径　＞ 　・　φ2”～φ4” 　・　φ6”～φ8”　 ＜　その他　＞　　　　　　 　単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 　ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 　複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 　洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

『クロムマスク自動現像機』

現像／エッチングを完全に自動化！一貫した良質の製品の生産を保証します

ムマスクを 　　自動的かつ安全に搬送するロボット式のリニア搬送システム ■GP9／6T 　・「GP1／6T」のすべての機能と、追加のハードウェアと 　　ファームウェアを備えた9ポジションのローダーがあり、 　　最大9枚の露光済みクロムマスクが装填可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

液晶マスク用スピンコーター

Ｇ２～Ｇ6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター

【装置構成】 ・自動搬送ロボット ・スピンコーター ・スピン洗浄 ・エキシマＵＶ ・ホットプレート ・ローダー／アンローダー...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

UV照射装置

UV照射装置の供給収納タイプ

UV照射装置は、UVを照射するための設備である。 尚、ローダー側はマガジン（段数21 段）を3 つセットできるものとし、アンローダー側も3 つの空マガジンをセットできるものとする。 ご要望のピーク波長にて、能率よくUV照射を致します。 ヘパフィルター...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社システムエンジニアリング

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...○被搬送物 ～1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。 詳しく...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。 詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社