リアルタイムで作業環境をデジタルに反映！土木作業シミュレーション

PR掘削、放土といった土砂の挙動を高い精度で再現！作業の流れ、建機の動き、…

土壌シミュレーションツール『AGX Dynamics』は、建機作業、土木施工の様々な作業を バーチャル空間で再現することを可能にする技術です。 建機作業や、掘削・放土といった土砂の挙動を高い精度で再現することが可能となっており、 作業の流れ、建機の動き、土壌の変化などを事前にシミュレーションすることができます。 作業者の人数や規模感が大きな土木作業領域において、 必要な建機数や作...

メーカー・取り扱い企業： VMC Motion Technologies株式会社

【特許技術】静音性に優れた「完全回転バランス型シリンダ装置」

PRシリンダの小型化/静音化でお悩みの方必見。機械的損失を大幅に抑えた高効…

完全回転バランス型シリンダ装置は、従来のレシプロ方式で生ずるピストン往復運動による機械的損失がありません。 ＜完全回転バランス型シリンダ装置の特長＞ ■従来のピストン運動によるエネルギー損失がありません ■水・オイル無しでの稼働を実現 ■レシプロ方式で見られる振動騒音をおさえました 【応用分野】 ■空圧コンプレッサー(エアコン、冷蔵庫等) ■真空ポンプ ■気体・液体等の流体移送ポンプ ■気体圧...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ケイ・アール・アンド・ディ (Ｋ．Ｒ＆Ｄ)

多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速…

【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル 　ロー...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

【資料】真空集中排気システム『VIE-system』

真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの…

ム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

空冷式ドライ真空ポンプ FR060D

大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度　800L/min ■水蒸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【資料】真空EFEM

酸素フリー、高効率のウェーハプロセス！図を用いて分かりやすく説明してい…

当資料は、有限会社ベックが取り扱う『真空EFEM』の資料です。 真空ロードポートVLPの構成をはじめ、真空EFEMの構成や多数の 真空EFEMのオペレーション、真空EFEMとプロセス装置を掲載。 また、カラーで図を用いて分かりやすく説明しています。 是非、ダウ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

真空プローバーシステム『SB-MCPSシリーズ』

極低温から高温までの温度を選択可能な真空プローバーシステム！

【各種オプション等】 ■マニピュレーター追加 ■温調器ユニット ■ロードロック機構 ■ロードロック機構+サンプル搬送BOX ■バイアス測定ユニット ■高周波測定ユニット ■低ノイズオプション(+1pA 以下) ■側面モニターユニット(CCD＆モニター付) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルブロック

バキュームコントロール　真空圧力調整器　DV シリーズ

高い正確性：±1％の真空圧力調整器

■高感度ゴム製ダイヤフラム ■ドームロード型オプション ■ブリードまたはノンブリード...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

ドライ真空ポンプGRシリーズ

一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULV…

績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミット...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

直線回転導入機『MD16／MD40／MDG40』

MD16/MD40シングルシャフト・MDG40デュアルシャフト直線回転…

入機です。 特定の直線位置に設定できる調整可能なストップリングと アクチュエーターをロックするための止めネジが搭載されています。 【特長】 ■シングルシャフト直線回転導入機 　・ロードロックからメインチャンバーへのサンプル移送に好適 　・サンプルキャリア又はサンプルストレージスタックの移送に役立つ 　・ポートアライナーと六角レンチアダプターを使ってネジを絞め可能 　・特定...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

LN2フローUHVブースター『CTH40(WT)』

UHVシステムへのサンプル挿入の手間のかかる待ち時間短縮が可能なデバイ…

な作業を実現するヒーターコイル 及び温度センサーが搭載されたLN2フローUHVブースターです。 LN2フローバージョンのコールドトラップでターボ分子ポンプと 組み合わせてUHVシステムのロードロック又は小さな搬送用チャンバー等 に組み込んでクライオポンプのように使うことができます。 【特長】 ■サンプル挿入時の待ち時間を短縮 ■排気時間が大幅に短縮され、付加的なベークアウト...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ

業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『MU-X シリーズ』

世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが…

『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

絶対圧 減圧弁　DAシリーズ

最大入口圧力31.03MPa/出口側真空域レンジ-2.41MPaの減圧…

■□■特徴■□■ ■真空〜2.41MPaまで ■ノンベントタイプ ■高感度ゴム製ダイヤフラム ■低価格 ■軽いハンドルトルク ■ドームロード型オプション ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 　 もしくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクメイション

メック株式会社　会社案内

製造装置ラインをトータルテクノロジーでご提供！メック株式会社

【自社製品】 ■無電極UVランプシステム ■インクリボンシュレッダー ■ロードヒーター（融雪システム）～面状ヒーターシステム ■脱臭装置（脱臭液式）～印刷機メーカー ■冷却水循環装置～カスタマイズ仕様　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： メック株式会社

*ドライポンプAシリーズ

業界トップクラスの基本性能

A100L / A200L •ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ •低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能 •高効率モーター採用...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ロータリーポンプPascalシリーズ ／ 2 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途 C2シリーズ：腐食性用途 •イオン注入、スパッタリング装置などの用途 HWシリーズ: ウェットガス用途 •凍結乾燥、真空乾燥、化学研究、滅菌、ロードロックなど...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

【オーダーメイド製作実績】各種真空装置

デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保…

他の製作実績】 ■排ガス切替装置 ■フィルム巾390mm対応R to Rプラズマ処理装置 ■低温グロープラズマ実験装置 ■HW式表面改質装置（CAT） ■排気セット（TMP+RP） ■ロードロック室プラズマCVD装置（当社デモ機） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社