リアルタイムで作業環境をデジタルに反映！土木作業シミュレーション

PR掘削、放土といった土砂の挙動を高い精度で再現！作業の流れ、建機の動き、…

土壌シミュレーションツール『AGX Dynamics』は、建機作業、土木施工の様々な作業を バーチャル空間で再現することを可能にする技術です。 建機作業や、掘削・放土といった土砂の挙動を高い精度で再現することが可能となっており、 作業の流れ、建機の動き、土壌の変化などを事前にシミュレーションすることができます。 作業者の人数や規模感が大きな土木作業領域において、 必要な建機数や作...

メーカー・取り扱い企業： VMC Motion Technologies株式会社

高性能充填機『4軸オーーーガ』

PRまるで、充填機界の4WD！計量フィードバック方式により、精度が向上しま…

『4軸オーーーガ』は、パワフルでスピーディな高性能充填機です。 容器に均一な充填が可能で、タッチパネル採用により、操作性・ 視認性も向上。 またオプションとして、主軸 スクリューWC溶射や、スクリュー先端 ゲート内面コーティング、容器高さ検知機能などをご用意しております。 【特長】 ■大幅にスピードアップ ■よりコンパクトに ■タッチパネル採用による操作性・視認性向上 ...

メーカー・取り扱い企業： 讃光工業株式会社

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。 高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロー…

Ｒｕなどの貴金属合金を多元同時スパッタで小径カソードで効率的に形成。またナノ多層構造の積層膜により耐熱性と硬度に優れた膜も形成可能。 精密レンズ金型のような基板を高速に加熱できる特殊基板台と専用ロードロック機構でスループット向上を実現。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

【仕様】 ■ハード構成：ロードロック式　ロードロック室　エッチング室各１室構成 　　　　　　　※量産用　マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ８インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■基板材質：Si、ガラ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

なくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパクトな枚葉式ロードロック室とツインハンドロボットの採用でりコンパクトな設置寸法を実現。 通常のウェハだけでなく。１ｍｍ以上の厚みのウェハや矩形基板など特殊基板にも対応実績。多用途対応の枚葉式エッチング・アッシング...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

コータの1/3以下） ■洗浄液の使用量及び廃液量も大幅に削減でき、よりエコな生産が可能に ■異形材料への塗布、異形状の塗布が可能 システム提案も対応いたします。 プロセスフロー例： ロードポート（EFEM） → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート（EFEM) 乾燥プロセス Option：VCD（真空乾燥装置） 焼成プロセス Option：Cure ...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…

開発用スパッタ装置の基本仕様を踏襲、小径ターゲットを使用し大面積（φ１８０）への成膜が可能。 基板加熱ヒーターと基板水冷機構を標準装備し幅広い成膜条件を実現。 強磁性体カソードや同時スパッタ、ロードロック機構など豊富なオプションを揃えており幅広いハードへの要求に個別対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

標準インラインタイプ 標準６室構成（ロードロック室、カセット室、搬送室、スパッタ室３室） 枚葉式CｔｏＣシステム 到達圧力：１０－⁷ｐａ　Order（スパッタ室） 対象基板：φ２～４インチ オプション機構 高効率強磁性体用カソー...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＡｌＮテンプレート作成装置（配向性ＡｌＮ膜用スパッタリング装置）

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を…

標準型ロードロックタイプスパッタリング装置より成膜系（カソード、チャンバ、プロセス）を大きく改善。 Ｒ＆Ｄタイプの小型カソード使用装置と量産用の大型カソード１元の２タイプをラインナップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

PE CVDコーティング装置『CD1000 Nanofics 』

専用の真空蒸着装置を用い、気体として蒸着！ コンポーネントの割れ目に…

■主要技術データ 　・防滴：Nanofics 110/120 　・防水：Nanofics S 　・耐汗性：Nanofics SE 　・ハロゲンフリーコーティング（新規2019年） ■ロードマップ ■ケーススタディ ■キーメッセージ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メディア研究所

アイシーキャリヤ全自動めっき装置

高速キャリヤで、省力化と高い生産性を実現！コンピュータ制御で、多様なニ…

『アイシーキャリヤ全自動めっき装置』は、コンピュータ制御で 多様なニーズにフレキシブルに対応します。 高速キャリヤで、省力化と高い生産性を実現。 ロードから前処理、めっき、アンロードまで工程の選択、 プログラムの変更が容易にできます。 また、万一の事故(キャリヤの衝突、オーバーラン、ワーク二重降し等)に 対する安全対策は万全です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中央製作所 東京支店

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

ラズマ処理・スパッタ・表面分析システム　構成（一部）】 ■XPS表面分析装置 ■3源RFスパッタ装置 ■ECRプラズマ表面処理装置 ■ALD（原子層堆積）装置 ■トンネルチャンバー ■ロードロック室 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

半導体リードフレーム外装めっきサービス

半導体事業をサポートする精密めっきプロセス

（純錫めっき） ■Sn-Ag 外装めっき装置（錫銀めっき） ■Sn-Bi 外装めっき装置（錫ビスマスめっき） ■Sn-Pb 外装めっき装置（錫鉛めっき）　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ミハラ電子株式会社

短尺Agスポットめっき装置

他のレーンを停止することなく、めっきジグの交換ができます！

当社では、作業性のよいパスライン、FL+1000mmのコンパクト設計の 『短尺Agスポットめっき装置』を取り扱っています。 薄物・多ピンに対応した、特殊オーバーフロー方式を採用。 また、ロード部はバキューム式、チャック式が切り替えできます。 【装置概要】 ■基本形式：MMS-02(03・04) ■条数：4条 ■ライン速度：0.5m～2.0m/分(通常：1.6m/min) ...

メーカー・取り扱い企業： 三友セミコンエンジニアリング株式会社

三価クロムめっき用バレル 『TRIB(C)』

環境に優しく極めて困難といわれた技術を可能に！

IB(C)』独特のパネルカソードは、バレルめっきにおける 電流断続を極限まで抑制します。 【特長】 ■電流断続を防止するパネルカソード ■強靭な構造 ■高電流を流せるインナーエレクトロード ■高電流を実現した特殊ロータリー接点 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 新共立化工株式会社

LED用セラミック基板

液晶テレビのバックライトや照明に使われるLED用基板に、めっきをしてい…

式自動搬送 めっき設備を自社開発しました。 ラック式でありながら基板内・基板間の品質バラツキが殆ど無い為、 材料費削減に繋がりコスト低減が可能なめっき工程となっております。 また、ロード・アンロードも完全自動化することで省人化を図りました。 【製品概要】 ■めっき種 　・仕上げめっき：純金めっき 　・下地めっき：ニッケルめっき ■めっき方式：ラック式自動搬送めっき方...

メーカー・取り扱い企業： 立山電化工業株式会社

半導体ラック式セミオートめっき装置

ロード・アンロードステーションにはカセットを使用！

要】 ■対象サイズ：6インチ～12インチ ■対象めっき：Ni/Cu/Snなど複合 ■装置タイプ：セミオート 　(治具への製品装填、取り外し装置を付属します) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 三友セミコンエンジニアリング株式会社

クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

ZnO、TiO2、ZrO2、メタル 〇バッチ1％未満の1σ不均一性（Al2O3、WIW、WTW、B2B、49 pts、5mm EE） ＜基板ローディング＞ 〇真空クラスタツールによる完全自動ロード 〇カセットからバッチへのローディング 〇オプションSMIFステーション ＜主なソフトウェア機能＞ 〇レシピエディター：プロセスの実行中にレシピの作成と変更が可能 〇1つの通信プロトコル...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

コーティングアプリケーション事例『ガラスレンズモールド』

より高い性能が期待できる非球面レンズに採用された事例の紹介

りやすい ⇒FCVAコーティング方式の特徴であるバイアス電圧付加により多層膜を実現 ○寿命が従来のDLC膜に比較して4倍になったケースもある 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

資料　超薄プラズマコーティングソリューション 家庭用電子機器向け

高い費用対効果！お客様と協力して、その製品に好適なソリューションを見出…

■主要技術データ 　・防滴：Nanofics 110/120 　・防水：Nanofics S 　・耐汗性：Nanofics SE 　・ハロゲンフリーコーティング（新規2019年） ■ロードマップ ■ケーススタディ ■キーメッセージ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メディア研究所

めっき装置　「TPM1000外装半田めっき装置」

めっき厚のばらつきが少なく、めっきの再現性が高い為、検査を大幅に削減

めっき装置「TPM1000外装半田めっき装置」は、ステンレス製ベルトの下端部を楔形状バネに加工し、短冊リードフレームを垂直にロードして水平方向への搬送と給電を同時に可能としました。この水平搬送方式の開発により短冊リードフレームのめっき品質は格段に向上し、世界の標準方式となりました。高圧水によるバリ取りのインライン化も可能です...

メーカー・取り扱い企業： テクニックジャパン株式会社 横浜実験室