ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を 正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。 高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の 湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が 付いて高性能化しました。 使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、 横長のもの...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

フレキシブル基板用ソルダーレジスト『感光性カバーレイ』

低弾性でFPCの折り曲げが容易。薄型化・軽量化、設計自由度アップに貢献

『感光性カバーレイ(PICC)』は、柔軟性・絶縁性・実装性に優れた フレキシブル基板用のソルダーレジストです。 低弾性で基板が折り曲げやすく、基板設計の自由度アップに貢献するほか、 カバーレイが不要となるため基板全体の大幅な薄型化・軽量化が可能です。 【特長】 ■最小開口サイズ80～150μmで高密度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タムラ製作所

容積計量チューブポンプ式ディスペンサー『TME』

チューブポンプのイメージを一新するチューブポンプディスペンサー。 微少…

『TME』はいままで微量吐出には不向き、チューブ交換時の吐出量調整が難しいといったチューブポンプのイメージを一新します。 独自のカム動作を高精度小型DDモーターで低速回転から高速回転で制御します。 １ショットの吐出量はマイクロメータによりチューブ内容積を変更することで調整できます。 独自のチューブ固定方式によりセット時のばらつきがありません。 微細テフロンチ...

メーカー・取り扱い企業： ESER Corporation-Japan(イーサージャパン） さいたまラボ

短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off

短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…

ェットリフトオフ装置です。 【特長】 ■短時間処理可能なMAX20MPaの高圧ジェット ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし ■レジスト剥離も可能 ■独自レシピでの傷の低減 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） まずはデモをご検討ください！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

ードコンタクト(真空密着)から選択できます｡ 7.2インチウエハと4インチウエハの段取り換えも容易に行えます｡ 8.顕微鏡のハロゲン照明は､画像処理により､つねに最適な明るさで保たれるとともに､低コントラストマークに対応します｡ 9.トラブルのエラーメッセージを操作パネルに表示します｡...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

Zeta Plus(TM) 吸着デプスフィルターECシリーズ

微量金属、微量コロイド除去用、エレクトロニクス・ファインケミカル業界用…

り除きます。 【特長】 ・エレクトロニクス業界で問題視されている微量金属（Na、Fe、Cr、Al等）、微量コロイドをろ過により除去が可能 ・ゼータ電位の吸着作用による高い粒子捕捉能力 ・低溶出性 ・クローズドラインでろ過が可能 、中でもSHグレードは、特にNa、Feの除去効率に優れている ラボスケールでのろ過テストから実生産レベルに直線的にスケールアップすることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： スリーエムジャパン株式会社 フィルター製品事業部

ネオ現像液『D-701』

レジストの溶解量が多い(液寿命の増加)！ネオ現像液

『D-701』は、液状フォトレジスト及び、ドライフィルム等のアルカリ 可溶型フォトレジストに対して適切な現像液です。 高解像度のため、パターン不良減少。(レジスト低膨性) スカムなどの残渣除去が非常に強いです。 【特長】 ■レジストの溶解量が多い(液寿命の増加) ■現像機の洗浄が非常に楽にできる ■溶液タイプの為、建浴が容易にできる ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤマトヤ商会 新潟営業所

ディスペンス電動ポンプ

薬液使用量削減の最適ツール

低粘度・高粘度材料削減を目的とした高い再現性とシステム拡張性を備えたポンプシステムです。弊社は同製品の日本総販売代理店になっており、本ポンプの販売に伴い装置全体の技術サービスも提供しております。...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

枚葉式でDIP！？膨潤・高圧ジェット併用リフトオフ装置

【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…

【枚葉式の装置でDIP並みの膨潤】＋【超高圧ジェット】の組み合わせで、取れづらくなったレジストを完全除去！ ●【膨潤＋高圧ジェット】の繰り返し処理でがんこなレジストを除去可能！ ・高温ベークで取れづらくなったレジスト ・ドライエッチング後のレジスト ・微細パターンの奥深くのレジスト また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません！ 厚膜のメタル、酸化膜など、エ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動リフトオフ装置（メタル・レジスト剥離）Lift-off

高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…

物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。 この他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

薬液使用量を最適化することにより、現像液使用量の削減に繋がります。 液盛り方法もシャワータイプからストレートノズルなどご要望にお応えできます。 静止現像中の揺動機能も搭載！ （低回転と停止を繰り返して液を動かします） 枚葉式で現像、、リンス、ベーク、クーリング機能を搭載。 お客様のニーズと生産量に合わせて、設計から製造・販売いたします。 TMAH等多彩な薬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ