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『熱硬化型焼結銅ペースト』半導体パッケージの高集積化に貢献

PR低抵抗・高放熱を実現する銅ペースト。200℃以上の加熱で焼結し、大気硬…

当社の『熱硬化型焼結銅ペースト』は、半導体パッケージに対し低抵抗・高放熱といった優れた性能を付与できる樹脂含有型ペーストです。さらに200℃以上の加熱で焼結するほか、大気硬化も可能です。半導体パッケージの高集積化などへの対応に必要な特性を備えています。【特徴】 ■銀ペーストと同等の電気的特性を保持しながら、イオンマイグレーションを低減 ■独自の特殊処方で硬化中の酸化を防ぎ、大気硬化によ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ADEKA
ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社栗田製作所本社・京都事業部
【Sonaer】ソニア社製低流量型超音波スプレーノズル

2mmlit/min以下の流量噴霧が可能に！

【Sonaer】ソニア社製低流量型スプレーノズルノズルミクロン・サブミクロンの粒子にして無駄なく小さな部品に焦点を当てることができます。ノズルはフラットとワイドスプレーチップの2種類があります。これらのノズルはピン...

メーカー・取り扱い企業：ティックコーポレーション株式会社
低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800

レーザーの温度制御に最適！

温度安定性 ■6Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） ■フロン系冷媒不使用 ■消費電力を大幅削減 ■騒音・振動を低減 ...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社
低ロス・ハイパワーRFフレキシブルケーブル

通信用低ロス LMRシリーズ・RF大電力フレキシブルケーブルを国内在庫…

emの日本総代理店です。 LMRケーブル、RGケーブル、その他ハイパワー同軸ケーブルを国内在庫し、アッセンブリ、電気試験を実施し、短納期でお届けすることが可能です。 ■製品ラインナップ超低損失発砲PE絶縁体 LMRシリーズ, Mil Spec品 RGケーブル, 各種LowPIMケーブル、各種ハイパワーケーブル ■コネクタ各種同軸コネクタ、特注対応可能 ■製品試験 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コムクラフト
スリットバルブシール

スリットバルブシール

シール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬　品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業界向けの製品群の１つとして、製造装置の成膜工程などの処理...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社
PECプロセス装置

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…

可能。タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定できます。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【特長】 ■10mm□小片チップからφ6インチウェハ ■GaN 低ダメージエッチングが可能 ■シンプル構造で低価格を実現 ■高速な深堀エッチング可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社三明本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

型のICPソースであるSSTC（Symmetrical Shieled Tornade Coil）電極の　採用により、大面積に対して高い選択比と高精度で均一性に優れた　エッチングが可能 ○低バイアス（-100V以下）での低ダメージプロセスが可能 ○基板ステージおよび反応室内壁の温度制御により、安定した条件での　エッチングが可能 ○ロードロック室にもターボ分子ポンプを採用し、より...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社
銅表面処理剤　アデカテックCA-1、テックCL-8

銅の表面処理を施し、様々な機能を付与することで各種レジスト材料との密着…

＜アデカテックCA-1＞過酸化水素が主成分である銅箔化研処理剤です。硫酸との混合比を変えることで削り量と粗さを変えることができるため、複数の工程用途に対し柔軟に対応することができます。また、低化研量域においてもドライフィルムレジスト(DFR)との高い密着性を維持することができます。＜テックCL-8＞水との希釈倍率を変更することで、任意のエッチング速度を得ることができる１液タ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ADEKA
バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

6インチ、8インチに対応しています。また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー
ICP エッチング装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

OH工程に対応可能・Pishow A： HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能； pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制御；超低出力工程に対応・Pishow D： DRIE技術をベースに、Si、SiCの深掘りに対応；ガスの切り替え速度＜1s； BOSOH工程に対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社
ICPエッチング装置　RIE-800iPC/RIE-400iPC

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…

定性を誇るICPエッチング装置です。高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。【特長】 <RIE-800iPC> ■最大Φ8”ウエハ対応 ■放電形式に誘導結合プラズマを採用 ■真空カセット室...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社
卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

種プラズマ加工に幅広く対応致します。また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的なプラズマ加工が可能（Φ0.5mm～） ■低残渣かつ高速加工を実現（10μm/mim） ■低出力のRF電源（最大出力50W未満） ■試料をステージで移動させた広範囲の加工が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三友製作所テクノセンタ
ドライエッチング装置

RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコン…

『ドライエッチング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動で連続処理することができる量産装置です。 2周波独立印加方式で、特殊表面処理によるメタルコンタミ低減。マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作いたします。ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
アッシング装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた…

切り替えによりエッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた装置です。【特長】 ■RIEモードとDPモードの切り替えが可能 ■特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ■省フットプリント ■2周波独立印加方式 ■超低温冷却ステージマルチチャンバ仕様や、角基板向け、各種オーダーメイドも製作可能です。 ※PDF資料も合わせてご覧ください。 ※...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
CCPプラズマエッチング装置『CCP-T60M/B2M』

高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工！プロセスガスからラジカルを選択的に…

『CCP-T60M/B2M』は、高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工を実現する平行平板型エッチング装置です。プロセスガスからラジカルを選択的に生成し、低電子温度、高密度プラズマが得られる60MHzパワーを上部電極に印加。また、常に適切なエッチングプロセス条件が維持されるシーケンスプログラムを内蔵しています。【特長】 ■平行...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング
OリングフロロパワーDEW (バイトンETP-白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプのバイトンETP (FFKM-E)材…

バイトンETP（FFKM-E）による白色タイプの材質で、優秀な耐薬品性を有し、極性溶剤や強酸、強アルカリなどに対する耐性も備えています。また、充填剤にカーボンブラックを使用していないことから低パーティクル性に優れ、良好な耐プラズマ性を有しています。パーフロ（FFKM）材質の下位互換として、コストダウンに有効です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリング...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社
耐プラズマ性OリングフロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材…

優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノンフィラータイプの耐熱パーフロ材質「フロロパワーFFN（FFKM-耐プラズマ）」の下位互換と...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社
アールエムテック　サービス案内

マザーテクノロジーで未来を拓く　アールムテック　サービスご紹介

した冷凍機のため、既存設備からの載替を行っています。 ●GCIB（ガスクラスターイオンビーム）数十〜数万個の気体原子よりなるクラスターをイオン化し、適度なエネルギーに加速して照射する技術です。低エネルギーイオンエッチング、高品位成膜・表面平滑化が実証されています。 ●Multiple APC 高い安定性と幅広い互換性を兼ね備えたオート・プレッシャー・コントローラー ●DP-eco ...

メーカー・取り扱い企業：アールエムテック株式会社
材料手配から各種工程まで一括受託いたします

独自の社内システムで、材料手配から社内加工、加工委託の進行状況を一元管…

材料手配・熱処理・機械加工・表面処理・組立と、部品完成まで弊社でトータルプロデュースいたしますので、お気軽にお問い合わせください。加工実績アルミ・鉄・ＳＵＳ・銅・鋳物【砂型鋳物、低圧金型鋳造、ダイカスト、ロストワックス、石膏鋳造】・低膨張鋳物・各種難削材　他＊上記以外の材質についてもお気軽にお問い合わせください中大物の切削加工を得意としております。詳しくは設備一覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三栄精機工業
ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)

ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…

● ワンタッチ操作のみで特別な操作が不要です。 ● 設置スペースが小さく場所を選びません。 ● 試料はφ4インチまで対応可能。 ● 専用機であるため低価格。 ...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社
OリングフロロアップK（低粘着+低摩擦）

Oリングの桜シールによる低粘着性+低摩擦性のフッ素ゴム（FKM）材質

ゴム材質の特徴である粘着性（べたつき）を低減させたフッ素ゴム（2元系）による材質で、長期間にわたって低粘着性や低摩擦性が維持されます。尚、耐熱性や耐薬品性については汎用のFKM材質と同程度です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社
低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

温度安定性 ■4Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） ■フロン系冷媒不使用 ■消費電力を大幅削減 ■騒音・振動を低減 ...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社
Oリング AS568規格 (AS番／ARP568シリーズ)

Oリングの桜シールは、AS568規格（航空宇宙規格）ほか様々なサイズの…

定められた航空機用などで世界的に使用されているサイズシリーズです。桜シール株式会社は、JIS規格などによる汎用材質は元より、パーフロ（FFKM）を頂点とした各種高機能材質「フロロパワーシリーズ」や、低粘着・低摩擦・低固着・低アウトガスを特色とする「フロロアップシリーズ」などを擁し、サイズと材質の両面で適切なOリング選定をサポートいたします。...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社
レーザー装置に最適！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消…

レーザーアプリケーションに最適です。　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所なのでささやきのような静粛性・低振動を実現して、先進的光学・レーザーのアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもちます。【特長】 ■素早...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社
消費電力大幅削減！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

温度安定性 ■4Uスタンダード　19インチラックに収まるサイズで省スペース ■温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） ■フロン系冷媒不使用 ■消費電力を大幅削減 ■騒音・振動を低減 ...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社
エッチング装置（1）

搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応！金属箔（ALな…

ングする装置です。搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応。装置は、巻出～エッチング処理～洗浄～乾燥～巻取の構成となっております。薄物で非常に脆弱な機材を当社の低テンション搬送技術により、キズ・シワなく搬送し連続処理を行います。【仕様】 ■Lane構成：1Lane ■材料厚み：20μm～ ■加工面：片面及び両面 ■ユーティリティー：電...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
ITOフィルムエッチング装置

一定値以上の負荷が掛からないようフィルムを搬送！高いスプレー効率を実現…

ールによるスプレー噴出を邪魔することなく噴出範囲を最大限確保することで、高いスプレー効率を実現しています。【特長】 ■M-ITOフィルム、ITOフィルムの連続エッチングが可能 ■低テンションでのフィルム搬送技術 ■高いスプレー効率 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーア電子
パーフロOリングフロロパワーFFN（FFKM：耐プラズマ）

Oリングの桜シールによる充填剤無使用の耐熱パーフロ（耐高温: 300℃…

極めて優秀な耐熱性や耐薬品性を兼ね備えたパーフロロエラストマー材質で、一切の充填剤を使用していない（ノンカーボン・ノンメタル）ことから低パーティクル性に優れ、優秀な耐プラズマ性を発揮します。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイ...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社
パーフロOリングフロロパワーFFHW (FFKM：耐熱+白色)

Oリングの桜シールによる白色タイプの耐熱性パーフロロエラストマー（耐高…

耐熱性を向上させた白色タイプのパーフロロエラストマーによる材質で、非常に優れた耐薬品性も兼ね備えています。カーボンブラックを使用していないことから低パーティクル性に優れ、優秀な耐プラズマ性を発揮します。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイ...

メーカー・取り扱い企業：桜シール株式会社日本本社