【ドライアイス】角ドライアイス・ビーズドライアイス・ペレット

PR多種多様に利用可能！高い冷却能力により蓄冷剤よりも低温冷却が可能。長時…

当社では、炭酸ガスのスペシャリストとして優れた冷却物性のあるドライアイスに着目！ 冷却能力－78.9℃の個体ドライアイスは、今やコールドチェーンには欠かせない存在です。製造・流通・保存・研究等、様々な用途に幅広く利用され、今後ますます需要の拡大が見込まれている分野です。 【ラインアップ/特長】 ■ビーズドライアイス ◎直径3～9ｍｍ、長さ10～25ｍｍビーズ状にカットしたイワタニ独自開...

メーカー・取り扱い企業： 東日本イワタニガス株式会社 開発本部

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

超高速回転スピンコーター『ACT-200SM-S』

スピード重視ならMAX6万rpmの超高速回転！スピンコート機ACT-2…

視、粘性が高めでより強いスピンが必要、さっと広げてごく薄い膜を得たい・・・そのような課題をお持ちであれば是非超高速回転による遠心力をご検討ください。 基板サイズΦ3～Φ50mmに対応し、基板の保持方法は両面テープやピン保持となりますので、真空ポンプは必要ありません。 スピンコーターACT-AIIシリーズとは異なり、こちらの機種はカップサイズがφ200mmの1機種のみで、プログラムステッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

はんだペースト印刷機【多彩な印刷形態を実現！】

圧入方式だからできる多彩な印刷形態を実現した、はんだペースト印刷機！ …

ます。 ●カートリッジ内のローラーシャフトの回転圧力ではんだペーストをマスク 開口内に確実に充填します。 ●はんだペースト自動補給機能によりカートリッジ内のはんだペースト量を 一定に保持します。 ●自動撹拌機構によりカートリッジ内のはんだペースト粘度を一定に保持し ます。 ●スキージング後に毎回はんだペーストを自動回収するためマスク上にはん だペーストを残しません。...

メーカー・取り扱い企業： 谷電機工業株式会社

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向かって噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し搬送します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

段取替え不要！基板自動サポートピンシステム『Quik-tool』

どのメーカーのマウンターや印刷機にも対応し、片面基板だけでなく両面基板…

置を自動化したとしてもやはり待ち時間という段取替え時間が必要。 　・ 　・ 　・ その工数、ゼロにしませんか？ - トリガー信号（手動モードあり）によりエアを使用してピンが上昇、高速で基板全体を保持 - 基板の凹凸に合わせてそれぞれのサポートピンの高さが変わるため両面基板であっても段取り替えが不要 - 保持する部品にかかる上向きの力は１ピンあたり ２.５ｇ Quik-toolを使用して...

メーカー・取り扱い企業： アルファエレクトロニクス株式会社

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

基板搬送用のケースを製作する 『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』を提供しています。 基板を効率良く収納できる「アルポリケース」をはじめ、 クラス100以下の清浄度を保持する「クリーンケース」、 ガラス基板を非接触で搬送できる「第6世代からの大型基板非接触搬送ケース」など、 用途に合わせて多数のラインアップから選べるほか、オーダーメイドにも対応。 さらにケ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

　非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能になりました（特許Pend.）。 　作動面とレンズとの間隙が大きい場合、気体噴出部...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 590mm −350mm 200mm 980mm 90度 搬送速度 アーム (R軸)※カセット未保持状態 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 290mm/sec 80mm/sec 130mm/sec 40度/sec カセット保持 エア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

pを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

サンドブラスト用マスク治具「MJ-2025型」

カスタマイズ対応致します！複雑な作業前準備は不要です。

。 マスクを固定してありますので圧縮空気の風圧により浮きあがることはございません。 【特徴】 ○マスクでICチップを挟み込み、取っ手付きボルトで固定するので工具不要 ○あらかじめフレーム保持用ピンを配置しているので、はめ込むだけで実装可能 ○片面のみでバリが取りきれなかった場合、裏面も開口があるので 　反転して使用可能 ○1～4方向・マトリックスタイプ等の全てのICチップに対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

SSY-10010　EFEM

EFEM

吸着搬送時 アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 1800mm/sec 540度/sec 500mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 <システム> ワーク保持方式 吸着による保持 クリーン度 ISO Class2(ISO14644) フットプリント 640mm×835mm(タッチパネルを除く) 重量 約350kg ユーティリティ 電源：単相 AC...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ガラス基板非接触搬送システム

ガラス基板を非接触にて搬送システム

ラス基板（2200mmｘ2200mm）およびＰＤＰ大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多く採用されている。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

VGFS非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…

す。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

アモルファス太陽電池搬送装置

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。 アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー EX-300

モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8イ…

のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

１０Gガラス基板非接触搬送装置

１０Gガラス基板非接触搬送装置

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ベルヌーイチャック（非接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。

材質 アルミ 表面処理 黒アルマイト ウェーハ保持方式 サイクロンパッドによる吸引とガイド（PEEK）によるエッジ保持 （接触部材質は各種製作可能) ユーティリティ 30～80L/min（ワークサイズ、厚みにより異なります）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　 ローダ・アンローダに最適です。 　このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-21シリーズ

拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナ…

のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

非接触チャック「フロートチャックSA型」

空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

非接触にてワークを搬送する。 空気消費量が従来の１／３である。 保持力が強力である。 保持安定性に優れている。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

エッジグリップチャック

裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。

搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持 外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能 高速搬送が可能 ガイドの動作量によってウェーハの有無を確認...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応） 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-220

オペレータの作業を低減、生産効率を向上することができる、オートカット機…

のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能。 拡張後は、グリップリング（インナーリングとアウターリングの自動挟み込み）によりテープの拡張状態を保持します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

ロボット型式 GCR4210SN-300-CM 被搬送物 ～300mm ウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ） 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

ト：±0.1度以内 ○位置決め時間 3秒(ウェーハの受渡時間は含みません) ○センサ LED照明付+イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 ○位置補正範囲 半径4mm以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約10kg ○ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

500度/sec 200mm/sec ○搬送速度 （最高速度） アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 300mm/sec 700度/sec 300mm/sec ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○繰り返し精度 ±0.1mm以内 ○クリーン度 ISOクラス2以下（駆動部排気時） ○質量 ロボット本体 約15kg ○ユーティリティ 電源電圧：DC24V±10%...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

±0.1mm以内 ロケート：±0.1度以内 ○位置決め時間 4秒以内 ○センサ イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 ○LED照明付 ○位置補正範囲 半径8mm以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約18kg ○ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

●非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

パウダーフレーム溶射装置『MK74 / MK74-PC』

溶射・フューズ皮膜に好適！ある種のプラスチックも溶射でき経済的に皮膜が…

『MK74 / MK74-PC』は、重量がわずか1.85kgs.であり、手腕保持あるいは 機械に架装して幅広い範囲のパウダ－で溶射出来るフレーム溶射装置です。 特殊なエヤ－キャップで溶射パタ－ンが狭められ皮膜を濃密にするため、 セラミックを溶射する時非常に高いデポジッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

強化プラスチック製 グリップリング

インナーリング、アウターリングのダブルリング構造で拡張状態を保持

伸縮性のあるフィルムや布、紙類をインナーリング(白色）とアウターリング（黒色）で挟み込み（はめ合わせ）ピンと張りつめた状態をキープできるダブルリングです。 はめ合わせに方向性を持たない双方向性グリップリングです。 使用後は容易に取り外す事ができ、くり返し使用できます。 ...■主な特長 ・用済みになれば簡単に取り外す事ができ、くり返し使用可 ・はめ合わせに方向性を持たないグリップリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

ティクルの混入リスクがない当社の空洞一体技術でつくられたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。PeriZacはウエハの接触面積、接触位置を工夫し、回路の作り込まれない外周部分をやさしく保持することで更にパーティクルの低減を図りました。歩留まりの向上を目指す半導体デバイスメーカー様向けに好評をいただいております。...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

ーフェース面より） ・重量：115kg（マッパー以外の各種オプションを含まず） ■ドッキングメカニズム ・FOUP クランプ：Hold Down Feature（エア駆動） ・FOUP ドア保持：真空吸着 ・ドッキング時のウエハ位置：BOLTS インターフェース面より254mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

非接触シート・フィルム積層装置

送られてきた偏向板・フィルム・シートを非接触、高速、精度積層する

送られてきた偏向板・シート・フィルム・紙・不織布を非接触にて、精度よく揃えて集積する装置です。 　非接触搬送装置「フロートチャック」にて構成される保持装置と、ワーク進行と同調して走行する「非接触支持走行装置」を採用しております。薄いワーク、柔軟なワークを汚れの付着・損傷させることなく、高速にて確実に精度よく集積いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

石英ガラス製品　バーナー火加工製品

次世代装置にも対応

され、 　溶接後は、速やかに電気炉でアニール処理（焼きなまし）が行われます。 ○蔵王工場では、ウェーハの大口径化に伴い、縦型装置部品用の大型電気炉やガラス旋盤を保有し、 　各種反応管やウェーハ保持用ボート類への対応が可能です。 ○近年の微細化プロセスに対応すべく製造環境のクリーン化や、洗浄技術の向上が行われ、 　品質と信頼性でお客様に貢献します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタ...

メーカー・取り扱い企業： テクノクオーツ株式会社

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性対応の回転式超音波モータ（ＵＳＭ）です。 【特長】 　◇真空環境、磁場の影響が気になる環境下の駆動源として使用 　◇自己保持タイプで停電時の安全対策に適したモータ 　◇エンコーダを装着することで高精度な位置決めも可能 ⇒詳細はダウンロードからお問い合せください。 ⇒非磁性対応品に関するご相談、見積などは下記コメ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

プッシュ・オン式ゴムホース

様々なホース継手を選定でき、ホースの長さも自由な長さで簡単に施工できま…

的用プッシュ・オン式ゴム・ホース MPシリーズはオゾン耐性があり、コアはスムーズボア・タイプのブナN製です。内部に繊維補強材を使用することで、ホース使用圧力範囲が広がり、エンド・コネクションを確実に保持します。ブナN製カバーは、耐磨耗性があります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

千住金属工業　半導体用電子材料　カッパーコアはんだ材料

半導体用電子材料製品・マイクロソルダリングソリューションを提供いたしま…

カッパーコアはんだ材料は、POPのような一定の高さ保持などパッケージクリアランスを必要とする用途に向けスペーサ―の機能を備えたはんだ材料です。...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

ウエハチップ非接触搬送装置

微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。

微小ウエハチップ（１mm〜20mm角）、微小レンズを気体を噴出することにより非接触にて吸引保持し搬送するロボットハンド。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

三建産業株式会社　事業紹介

企画からメンテナンスまで一貫システムでお客様のニーズにお応えします

ワー型急速溶解炉（集中型・機側型） 　・溶湯循環式溶湯炉（接触型・非接触型） 　・切粉リサイクル設備 　・UBCリサイクル設備 　・スクラップ溶解炉（ロータリースウェットファーネス） 　・保持炉（浸漬管式、トップヒート式） 　・付帯設備 ■アルミ熱処理・加熱設備 　・T2、T4、T5、T6､T7熱処理炉 　・板加熱炉、熱処理炉 　・ビレット調質炉 　・ビレット加熱炉 ■銅熱...

メーカー・取り扱い企業： 三建産業株式会社

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） 搬送物保持 エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

オ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフトを低減し精確で長期安定性を持つ圧力測定を実現します。 150℃もしくは200℃の温度制御を選択できる631Bは、メタルエッチン...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

　　　　　　　　　　　 1.排気回収機構：ＳｉＣウエハ・基板用　クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWASｉＣ型」は、保持するウエハ に対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流は...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

『塩化第二鉄溶液電解再生システム』

安全でクリーンな塩化第二鉄エッチング液電解再生装置

【主な機能】 ■エッチング液中の残存物質をゼロに ■エッチング液Cl濃度コントロール ■エッチング液比重調整 ■安全な作業環境保持 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社長井製薬所