光ＭＥＭＳスキャナシステム開発

小型、省電力、長寿命。コンパクト設計での生産ラインに最適です。

光ＭＥＭＳスキャナシステムは小型、省電力、長寿命と従来の機械スキャナに無い特徴を持っています。また１次元だけでなく２次元も１ユニットで構成でき、ディスプレイ、計測への応用が可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： エーエルティー株式会社

空中ワイヤーボンドサービス（サーカス）

実装材料、基材の影響を排除したいときにご使用いただけれます

下記のような時にお困りではないでしょうか？ ・ＭＥＭＳの温度特性を評価したが、パッケージ、接合剤の影響が、 　無視できなく評価しにくい。 ・高速受光素子の光-電気特性応答性評価したいが、 　素子-グラン間のC成分が無視できなく評価しにくい。 ・素子自体の熱特性を測定したいが、パッケージ、接合剤の影響が 　無視できなく評価しにくい。 ・立ち上がり特性を改善したい。 チップを金...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社佐用精機製作所

高速成膜装置

ＭＥＭＳ製造の犠牲層・光導波路などへ

無機フィルムの高速製膜装置。デモ実験など承っております。お気軽にご相談下さい。...【特徴】 ○ＰＥＮフィルム上に製膜 ○製膜速度：～1.5μm/min ○製膜温度：75℃～ ○段差被服性：良好 ○製膜種：無機合成膜 （SiO２膜の形成も可能） ●その他詳細についてはカタログをご覧頂くか、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

MEMS/TSV用赤外透過　微細ヴィア・トレンチ検査装置

MEMS素子検査装置（メムス　微細穴深さ計測、パターン検査）

MEMS素子検査装置として、微細穴深さ計測装置とパターン検査装置をご用意しております。微細穴深さ計測装置は赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な直径２０μｍ以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、ＭＥＭＳ（マイクロマシン）の検査用途...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社