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設置環境の静粛性を向上!ダスト対策のオプションもご用意しております!
■装置型式:iDS500 ■推奨コーティングゾーン:φ500×H500[mm] ■蒸発源数:3units、6units、9units(標準)、12units(最大) ■付属治具テーブル:8軸自公転治具 ■成膜方式:陰極アーク式イオンプレーティング ■基材エッチング方式:ガスボンバード、メタルボンバード ■カソードサイズ:φ160×t12[mm] ■扉数:2ドア ■ガス系統:標準4系...
メーカー・取り扱い企業: 日本アイ・ティ・エフ株式会社
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