DCブラシレスモータ用コントローラ

PRメカナムホイールを制御するサンプル動画あり！開発時間短縮に貢献します！

『DCブラシレスモータ用コントローラ』は、AGV（無人搬送車）や 移動型ロボットなどのモータ制御の開発時間短縮に貢献します。 シングルまたはデュアルチャンネルタイプをそれぞれ「SBLシリーズ」「FBLシリーズ」「GBLシリーズ」でラインアップ、高回転対応機種もございます。 CAN通信にも対応するほか、ホールセンサやエンコーダなど多くのロータ位置検出センサに対応しており、サーボモータ制御も可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アキュレイトシステムズ 伊那事業所

リレーユニット『URY120-T1』

PR電力量計の負荷側を開閉制御する装置！遠隔制御が可能で屋外(雨線内)でも…

『URY120-T1』は、当社の電子式電力量計120Aと接続することにより、 最大120Aの大電流を開閉制御することができるリレーユニットです。 自動検針システムと組み合わせることで遠隔制御ができ、普通耐候形 電力量計と同一構造のため、屋外(雨線内)でも使用可能。 電力量計の負荷側に接続し、"横配置"または"重ね配置"で設置します。 "重ね配置"の場合、オプションの「ブラケット」が必要となりま...

メーカー・取り扱い企業： 埼広エンジニヤリング株式会社

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

インチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー） 基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート） 基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整） 寸法：1,120(W) x 800(D) ●プラズマエッチングはメインチャンバー、ロード...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

ションMiniLab-070（450 x 450 x 450） ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・最大基板サイズ：Φ8inch ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model. LTEC-1cc/5cc) ・電子ビーム蒸着：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

nch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model. LTEC-1cc/5cc) ・EB電子ビーム蒸着源：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

℃（C/Cコンポジット） -3) Max1000℃（SICコーティング） ロードロック内逆スパッタステージ -1) 300W、又は -2) Soft-Etching(＜30W） システム主制御：'IntelliDep'制御システム Windows PC（又はTP HMI）インターフェイス 全ての操作を一箇所のHMI画面で一元管理 ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

高真空蒸着装置『RD-1230』

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…

高真空蒸着装置『RD-1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用 小型蒸着装置です。 抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、 電流値の調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…

PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。イ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…

6/090主仕様】 ◉ 基板サイズ：最大Φ6"(026）、最大Φ10"（090） ◉ チャンバ：SUS304製 UHV対応（*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア） ◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納 ◉ MLチャンバー内成膜モジュール： ・抵抗加熱蒸着源（最大4源） ・有機蒸着源（最大4源） ・Φ2"マグネトロンカソード（最大3基） ・プラズマエッチング ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

の運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に簡単タッチパネル操作でPLC全自動制御。 難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。 リモートソフトウエア「IntelliLink（インテリリンク）」付属：USBケーブルでWindows PCに接続...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

【その他の特長】 ■基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の 　いずれかを選択可能 ■コンピュータによる完全自動制御とコントローラでの 　エレクトロマニュアル制御のいずれか、または両方を選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

有機デバイス蒸着装置　E-100J

E-100の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えてます

当社では、E-100の特徴を変えずにに自動排気制御の機能を省きコストを抑える 『有機デバイス蒸着装置　E-100J』を設計・製造・販売しております。 ※「有機デバイス研究用蒸着装置」として高い評価を頂いております。 【特徴】 ○「E-100」の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

NEXGENグローブボックスシステム（新時代のガス精製装置付）

再生ガス・再生工程不要の新時代のガス精製装置付きグローブボックスシステ…

の酸素濃度に到達するまでグローブボックス内を完全自動パージ ●セーフパージ グローブボックス内酸素濃度が設定値を超えた場合、設定値到達まで完全自動パージを開始 4.酸素除去・水分除去を独立制御 酸素除去用精製装置と水分除去用精製装置が独立して設置されています。 酸素除去と水分除去を必要に応じて独立制御できます。酸素濃度計・水分濃度計と連動し設定濃度を保持する最適効率流量を常に算出して...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

施し使用真空環境圧力までの到達が速い。 ・グローブボックスと接続可能である。 ・前処理室にてプラズマ基板洗浄が可能。 ・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準12枚ストック可能。 ・PLC制御にて自動搬送・自動排気・自動蒸着が可能。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

VAC・GENESISグローブボックスシステム

洗練されたシンプルなグローブボックスは使う人を選ばない。再生ガス・再生…

れたシンプルな装備は、取り扱いもしやすく使う人を選ばない。 　導入時の優れたコストパフォーマンスはもちろん。 　メンテナンス簡易性、メンテナンスコストも割安。 4.酸素除去・水分除去を独立制御 酸素除去用精製装置と水分除去用精製装置が独立して設置されています。 酸素除去と水分除去を必要に応じて独立制御できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

光学薄膜用スパッター装置 HELIOS

ビューラー・ライボルトオプティクスの光学用スパッター装置

ed Reactive Magnetron Sputtering)プロセス技術を用い、アーキングのない高レートで安定した製膜を実現。 ・MF（中周波）電源を用い金属酸化膜、窒化膜を製膜。 ・膜厚制御はダイレクトモニターリング方式による高精度な制御が可能。 ・200層以上および20ミクロン厚の多層膜厚のフィルターが作成可能。 ・Co-Sputtering技術により中間屈折率のチューニングが可...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

プラティット社回転円筒カソード式PVDコーティング炉

合金ターゲット不要 皮膜をソフトウェアで制御

一般的なPVD炉は、ターゲット通りの組成比率でコーティング処理を行います。一方、プラティットは純金属の回転円筒カソードを利用し、皮膜の組成比をソフトウェアで自由に制御します。新しい合金材料の開発や納期の煩わしさから解放され、市場の動向に短期間で対応し、用途に適した独自の皮膜の確立に貢献します。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＹＫＴ株式会社

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

設置可能な設計を提案した。 （有機蒸着セル：最大8源取り付け可能、金属蒸着セル：最大3源取り付け可能） ◆◇◆結果◆◇◆ ◆新規3軸マニピュレーターを設計製作した。それに伴い、 追加制御機能を新規　PLC制御パネルにて構築し、既存の制御系と ドッキングする事を可能にした。基板ホルダー及びマスクホルダーを 各々搬送可能になった事により、実験の拡張性が大幅に増え、 様々なパターン...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

改善成功事例3　有機材料開発用蒸着装置　

改善成功事例　事例3　有機材料開発用蒸着装置　KVD-OLED Evo…

法◆◇◆ 弊社、有機材料開発用蒸着装置（KVD-OLED Evo.Cluster）を提案した。 本装置は、コンパクト性を有し、排気系等の使用機器類は、高グレードな 物を選定し、ソフトウエア制御との組み合わせにより、蒸着の高精度化、 制御系の高効率化を最大限に図る様々な仕様を提案した。本システムは、 一からの設計製作になり、お客様の要望を全て盛り込む形を提案した。 ◆◇◆結果◆◇...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統（プロセス圧力APC自動制御）、連続自動製膜（最大20層）、2源同時成膜など豊富な機能を備え、更に基板加熱ヒーター（500℃）、ドライスクロールポンプなど豊富なオプションも用意。 真空引き・成膜制御・ベント、レシピ作成、更に...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ミニチュアエバポレータ

UHV対応の小型蒸発源です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に…

小型蒸発源です。電子衝撃加熱蒸発源の一種です。静電場収束によって熱陰極から発生する電子を蒸発材料に照射して蒸発を得ます。磁場収束型の電子衝撃加熱に比較して小型です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特徴です。...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

Epitaxial-EB蒸着装置

最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成…

【仕様】 ■基板サイズ：最大φ12インチ ■基板加熱温度：700℃（基板表面） ■蒸着材料：金属または酸化物 ■真空排気：CP+DP ■膜厚コントロール：水晶式膜厚センサ ■制御操作 　・制御：PLC 　・操作：タッチパネルまたはPC ■データロギング：外部メモリまたはPC ■基板搬送：真空搬送ロボット ■オプション：基板加熱900℃（基板表面）、基板冷却、基板バ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。 徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

斜入射型蒸着装置

基板入射に対応する円弧型レール上に任意位置で固定可能！蒸着ポジションを…

任意の基板入射に対応する円弧型レール上に、任意位置で固定可能。 蒸着ポジションを調整することができます。 【Kセル】 ■ルツボ容量：2cc ■加熱温度：Max1,200℃ ■加熱制御電源 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

熱蒸着装置『EVAD シリーズ』

金属、誘電及び有機膜成膜！熱蒸着装置をご紹介

当社で取り扱う『EVAD シリーズ』をご紹介いたします。 当製品はPID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜の熱蒸着装置。 また、電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■電子...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

直動形電磁弁

直動形電磁弁

小形４ポート３位置　直動形電磁弁 真空吸着、真空破壊制御に最適 応答時間　２ms 作動回数　５億回超 禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止 真空・正圧の両用可能、大流量、インターロック回路標準...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

BS-04 series ロータリーセンサー

長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効

日本電子株式会社 水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。 真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）枚数を、選択して組み合わせることができます。 〇特長 ・検出孔が定位置 ・晶振動子（クリスタル）が...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

ムシェル式 ◉ 19inchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源（最大4源）、有機蒸着源（最大4源）、又はΦ2"マグネトロン（最大3基）、基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライポンプオプション） ◉ グローブボックス連結仕様（*要仕様協議） ◉ 豊富なオプション：基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc.. ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

チ式のチャンバ上蓋に設置してある為、試料交換作業が容易 ・オプションで加熱/冷却機構の実装可能 ■蒸着シャッタ ・手動式直線型シャッター機構により任意の安定した電流値で成膜のスタート/ストップ制御が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…

3源 ◉ 真空蒸着：抵抗加熱蒸着（最大2）、有機材料蒸着（最大4） ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール ◉ APC自動圧力コントロール ◉ MFC搭載高精度プロセス制御 ◉ Arガス1系統（標準） + N2, O2 最大3系統まで増設 ◉ USB端子付 Windows PCに接続し、最大1000layer, 50filmのレシピを作成・保存。PCでデータロギン...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

横型蒸着装置

両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…

小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績豊富な独自機構で対応 ...φ７５０から最大φ１０００まで基板寸法と生産量に合わせて最適な処理量と蒸発源等各種機構が選択できます。 イオンプレーティング機構の...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型蒸着装置（ＡＡＨ型　自動車部品用）

樹脂外装品の成膜に実績豊富な大型蒸着装置　長尺樹脂成形品の成膜に最適　…

に対応。高速排気と低温蒸着が特徴。短タクト処理で量産ラインに対応。成膜前のイオンボンバード処理により高い膜の密着性を実現。電子銃の複数台使用により各種金属の高速成膜に対応。 水晶振動式膜厚計による制御で不連続膜も安定した全自動成膜を実現。 高い安定性を備えた全自動蒸着装置。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

備 ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー →蒸着コントローラ Model 880 　標準で2センサーの同時計測が可能、8センサーまで拡張可能 →膜厚/レートモニタ Model 855 　制御機能はないがレートの監視、膜厚監視用途には経済的 ○クライオトラップ TVPシリーズ →クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できる →小さいフットプリント、速いデフロストが可能 ○イオンソ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

グモード/ガスパージモードの運転切替が可能 9.RS232を装備し外部PCからコントロールが可能です 10.イオンカレントモニタをオプションで用意しております 11.イオン電流のフィードバック制御が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

【製品】 蒸着膜形成装置 ・各種金属/有機物蒸着膜形成・物性の評価用・薄膜形成・膜厚強度(強化)・温度制御 ・ドーピング・材料研究評価用 【製作例】 ・実験装置設計製作(カスタム仕様)・実験装置改造設計製作(カスタム仕様) ・不活性ガス環境装置・真空乾燥装置(加熱/冷却) ・グローブボック...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

社製Labmaster）と接続でき、 ロードロック室間は手動の搬送機構で操作可能。 排気操作は前面のタッチパネル(PLC)により操作できます。 【特長】 ■排気シーケンスはPLCにて制御可能 ■金属の蒸着はボート式とルツボ式を標準搭載 ■膜厚計は3センサーを標準搭載 ■金属蒸着源はボート式とルツボ式を標準搭載 ■蒸着室はメンテナンスが容易な防着板を標準搭載 詳しくはカ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

新開発：1軸/2軸精密ウォブルスティック

精密ウォブルスティックは、超高真空チャンバー内の繊細な操作のために開発…

Ferrovac社製の『ウォブルスティック』は、超高真空内でのデリケートで 精密な操作のために特にデザインされており、シャフトの動きが大気圧と 超高真空圧差の影響を受けないので、滑らかに制御が可能です。 ハンドルを放しても、シャフトは同じ位置にとどまります。 UHV-SPMでのチップ及びカンチレバー交換、サンプル搬送、 更にデリケートな取扱いを要求される作業に好適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを…

【その他の特長】 ■スキャニングRHEEDを標準装備 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■完全コンピュータ制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

パルスレーザパルス蒸着システム

パルスレーザパルス蒸着システム

アシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定した駆動制御機構に特徴があり、ご好評を頂いております。 製品の詳細情報はWebサイトをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

卓上型蒸着装置『Meius Light』

学生向けの実験や教材作りに！卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

【仕様（一部）】 ■基板サイズ：50mm 1枚（多種サイズの設計対応可能） ■蒸発源：抵抗加熱方式・切り替え式・AC10V 100A ■重量：約18kg（卓上チャンバのみ 制御BOXは除く） ■チャンバベント：導入圧力0.02Mpa以下（大気解放） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： テクノウェーブ株式会社

金属蒸着装置『ESE-09』

容易に基板セットや蒸着用試料補充と交換が可能！大規模集積回路用の装置で…

ために、磁気浮上式広帯域 ターボ分子ポンプとドライポンプの組み合わせによる排気システムです。 【特長】 ■基板サイズ　6インチ ■蒸着源は抵抗加熱式 ■膜厚コントロールは水晶振動子式膜厚計を用いた制御 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所

改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

る吹きこぼれ・回り込みを低減する効果がある。 ◆◇◆結果◆◇◆ 本ユニットは、一般な金属蒸着であるボート式に比べ、使用電流は1/10と大幅に減少した。 蒸着レートは、0.1A/s台にて制御可能であり、緻密なコントロールが可能となった。 また、消費電力が1/10と減少したことにより、有機膜へ発熱が及ぼすダメージが 低減可能となった。また、ルツボ方式の為、指向性に優れた設計となり、 ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

『真空機用導入機シリーズ 総合カタログ』※無料進呈中

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…

機用導入機”を 収録した『総合カタログ』を進呈中です。 真空装置内にX,Y,Z,θ軸の動作を与える各種導入機や シャッター機構付きにもかかわらず、ICF-70接続を実現し 高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。 【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動（Z軸）　　■1軸・回転運動（φ軸） ■多軸・複合運動　　　　　■蒸着セル ■シャッター機構　　...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

改善成功事例　事例1　有機蒸着セル　KOD−cell

改善成功事例　事例1　有機蒸着セル　KOD−cell

-Cellの先端部へ配向性を高める為に蒸着ノズルを設置することにより、 ルツボ容量1ccとコンパクト性に優れていることから、指向性が非常に良く、 メンテナンスが容易となった。また、極低レート蒸着制御が 膜厚コントローラー及び温調器の組み合わせにより可能となり、 材料効率及びメンテナンス性が良く地球環境に優れた製品である。 また、手軽に蒸着実験をしたい研究者の方々から、高い評価をいただいて...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

アシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技術、高温下における安定した駆動制御機構に特徴があり、ご好評を頂いております。 製品の詳細情報はWebサイトをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社