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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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流体・原料をムラなく加熱!マイクロチャネルインラインヒーター
PR軽量・コンパクト/設置場所を選ばずに流体を昇温できるデバイスです!
WELCON製のマイクロチャネル熱交換器(インラインヒーター)を紹介します。 【特長】 ・材質:SUS316L(拡散接合製、ろう材不使用で漏れにくい) ・サイズ:41*84*33mm ・質量:約500g ・導出入口:Rc1/8 ・ヒーター出力:600W ・耐熱温度:150℃ ・仕様はカスタマイズ可能ですのでお問い合わせください! 【おすすめ用途】 ・熱媒加熱 ・薬剤加熱 ・モノマー加熱 ・樹...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社WELCON 本社
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大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…
水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現 デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理(べーく・アニール)に最適。 実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保 電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に初期段階からテストを含めて対応...6インチウェハ対応の石英管の横型...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見! 高温…
りではありませんか? 除害装置前段での副生成物対策 ・⾼コンダクタンスの配管部材は何故良いの? ・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる! ・流路を高温(180℃)、かつ均一に加熱する方法とは? 掲載されている製品・技術: #半導体製造用部材 #空圧 ボールバルブ #手動 ボールバルブ #アイソレーションバルブ #L型真空バルブ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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1000℃の高温にも、長時間連続使用が可能!耐熱ガラス繊維
おりますので、ご希望によりお選びください。 【特長】 ■アスベストを全く含まない ■1000℃の長時間連続使用に耐えられる耐熱性 ■急冷、急熱に対し柔軟性を失わない耐熱衝撃性 ■小さい加熱収縮率 ■優れた加工性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 日本無機株式会社
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