口径 | イプロスものづくり

PR成形機周辺の配管に！狭いピッチにも対応、レンズ部分のみの交換が可能でコ…

『FMC-25-1F/FMC-25-2F』は、レンズ交換タイプのフローモニターです。従来品「FMC-30-3F/FMC-30-4F」の小口径タイプが新登場！従来のフローモニターよりさらに低流量（0.6～6L/min）な配管に対応しています。 2色の羽根の回転で流体の流れを目視で確認でき、低流量時の流れがより見やすくなりました。金型の小型化に伴う、狭いピッチにも取付可能です。従来品同様、配...

メーカー・取り扱い企業：日東工器株式会社

【無料サンプル進呈中】省人化に寄与する自動給油器　パルサールブE

PR【防爆検定合格品】すぐに使用できる自動給油器。設定期間に応じてグリース…

使用方法は、グリースニップルを取り外してパルサールブE型を取り付けるだけ。たった1分の作業で大変なグリスアップを自動化することができます。1～12ヵ月の吐出期間設定ができ、低コストで潤滑作業を省力化し、工場の省人化に役立ちます。自動給脂のメリットは、回転体にとって最適な状態を維持できることです。潤滑の改善でトラブルを未然に防ぎましょう。【特長】 ■　ちょう度2番までのグリースであれば、ど...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シー・エス・シー本社、大阪支店、福岡出張所

大口径シール

●総合シールメーカーとして、長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々なご要求にお応えできるよう取り組んでおります。 ●特に液晶業界向けには、低パーティクル、耐薬品性　等にすぐれたシール製品、および基板大型化に対応した製品を、ご提供しております。...●総合シールメーカーとして、長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々なご要求にお...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社

高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』　

In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応！独FHR社製高速…

のでより精度の高いプロセスコントロールができます。クラスター対応設計により必要に応じて搬送チャンバー、ロードロック、その他プロセスチャンバーをインテグレーションができ、この設備の他小口径ウェハ対応の設備も用意しておりますのでお問い合わせ下さい。【特長】 ■10mm厚迄の3次元形状への均一な成膜が可能（400x300の基板） ■従来のサーマルALD方式に較べ高速で成膜でき...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

単結晶サファイア

ます重要度を増しています。　 [特長] ・優れた光透過性・高強度、高耐磨耗性、高耐熱性、高耐食性・安定な誘電率、極めて低い誘電損失、電気絶縁性・良好な熱伝導性、高耐熱性・最大口径８インチの大口径材料に対応・厚み公差：角型・丸型±0.02、大口径品±0.05、・結晶方位の軸方向の指定可能。 ...

メーカー・取り扱い企業：橋本理研工業株式会社

スピンドライヤー

カセットに収納したウェハーを回転による遠心力を利用し、効率の良い乾燥(リンスオプション)を可能にしています。小口径サイズから大口径サイズまで 1カセット卓上型から4カセット自立型まで各種対応【特長】・小型コンパクト設計・高乾燥能力 ◆詳細仕様はカタログをご覧ください。◆...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

石英ガラス製品　バーナー火加工製品

次世代装置にも対応

縦型反応管用大型電気炉で大口径化に対応...

メーカー・取り扱い企業：テクノクオーツ株式会社

マルトー試料乾燥機　両手が使えるフットスイッチ、温度調節機能付

室温～60度まで送風温度が調整可能な試料乾燥機。電源ON/OFFはフッ…

しなければヒーターの加温・加熱はできない仕様 ■仕様電　源　　：100V AC 15A モータ　　：単相100V　0.25kW　ヒーター　：100V　1kW（通常は目盛の6～7を使用）ノズル口径：13mm（下方向角度移動）機体寸法　：W280×L450×H430mm 機体重量　：35kg ※詳しくは、カタログをダウンロード頂くかどうぞお気軽にご連絡ください。オンライン打合せ対応してお...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マルトー本社

『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラ…

"貴重な設計時間をレイアウト検討に取られていませんか？メイン配管の大口径化に伴ないレイアウト設計は複雑化しています。また各種要件が厳しくなっており、施工性やメンテナンス性を考慮した配管設計が難しくなっています。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩み...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

イオンプレーティング装置「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

Φ1　200V 40KVA ○所要水量 0.2MPa 以上（差圧）、4.8 ㎥/h、20～25℃ 　※冷却水入口の最大圧0.4MPa 以下、水質は市水相当 ○所要圧空 0.5MPa 以上、接続口径 8A(Rp3/4)、70NL/min ○ガス圧力 0.03MPa（設定圧0.02MPa）、接続口径 SWL1/4 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

【半導体業界向け】金属イオン溶出の無い自動着脱装置

金属イオン溶出の無い自動着脱用コネクタ（特許技術）を用いてウェハ洗浄液…

口径や仕様：お客様ごとにオーダーメイドします。 ...

メーカー・取り扱い企業：ナブテスコサービス株式会社産業機械部　

【資料】『半導体製造装置における現状の課題と対策』※実例掲載

半導体製造装置開発におけるそのお困りごと、コネクタで解決できるかもしれ…

の確保市場において、このような背景があります。 ■半導体の微細化・多種開発、立上げ時間の短縮 ■スループットの向上、装置の小型化、カスタム対応 ■歩留り改善、プロセスユニットの増加、大口径化こういった背景で、装置のヒーターは拡大しつつも装置自体は小型化させる傾向にあります。装置内のスペースが限られることによりコネクタやケーブルは以前よりヒーターに近づき配置する必要があ...

メーカー・取り扱い企業：レモジャパン株式会社

はんだペースト印刷機【多彩な印刷形態を実現！】

圧入方式だからできる多彩な印刷形態を実現した、はんだペースト印刷機！ …

安定した高品質印刷を実現することだけを追求した印刷機です。独自開発の圧入型スキージユニットを搭載し、高密度パターンから大口径厚膜印刷まで様々な印刷ニーズに対応可能です。（主な特長） ●外気と遮蔽された構造のカートリッジ内にはんだペーストを収納しているので酸化等の劣化を抑止できます。 ●カートリッジ...

メーカー・取り扱い企業：谷電機工業株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

　・　メガソニックスポットシャワー　・　スピン乾燥＜　洗浄対象物　＞　各種ウェハ　・　Si(シリコン）　・　石英　・　酸化物　・　化合物等＜　対応ウエハ口径　＞　・　φ2”～φ4” 　・　φ6”～φ8”　＜　その他　＞　　　　　　　単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、　ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

切削用フッ化ビニリデンPVDFプレートＦ2/丸棒

耐熱性・耐薬品性を必要とする用途に優れたした特性の切削用PVDFプレー…

プレート製品厚み　15、30、50ミリ製品サイズ　５００ミリ×1.000ミリ　色相　ナチュラル丸棒呼称(口径)10ミリ～150ミリ長さ　1.000ミリ色相　ナチュラル ...

メーカー・取り扱い企業：タキロンシーアイグループタキロンシーアイ株式会社

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

適しています。単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ4”　φ6”～φ8” ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

ランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応【Y...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

スーパーバブラーWAC

先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制！！

・制御精度：Set resistivity±0.03MΩ・m ・最大入口水圧：0.5MPa ・最大CO2圧力：0.7MPa ・圧力損失：0.06MPa at 3,000L/h ・純水接続口径：3/4”メスネジ・電源：AC100-130V、AC220-240V、50/60Hz, 単相/single phase 　　　　50VA ・オプション：CO2ボンベ自動切換装置、シグナル表示灯...

メーカー・取り扱い企業：日東機器ファインテック株式会社

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

を生産設備および研究開発向けに提供します。主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。【特長】 ■生産設備・研究開発向けの高温処理炉 ■半導体製造や...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社

低価格Ｗｅｔ処理装置

○2インチ等小口径にも対応○　1枚あたり0.5リッタの純水で洗浄可能！

～高性能はいいな。でも、手が届かないと思っている方へ～ＭＴＫのＷｅｔ処理装置は、わずかな隙間でも設置できるコンパクト設計でありながら、わずかな薬液・純水で洗浄できる高性能な洗浄装置です。【特徴】・パーティクル数が極めて少ない（ウエハ表面上）・純水・薬液の使用量が少ない ※純水…0.5 リッタ（１枚当り）、薬液…20 リッタ（１日当り）・コンパクトな装置サイズ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＭＴＫ

ウェハ用移載装置『Sicホルダー移載機』

コンパクトな小口径薄物ウェハ用移載装置

『Sicホルダー移載機』は、横型酸化/拡散炉用のウェハーボートからプロセスカセットへの移し替え装置です。受注後3ヶ月と立上調整3日でご提供いたします。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...【仕様】 ■ウェハスペック：5インチ　210～600μm ■カセット：50枚　ピッチ：2.38mm　PFA ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ECP

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ4”　厚みについては応相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

切削用大径PP丸棒　PPマルボー301　タキロンポリマー

加工後の反りを低減し、切削加工性を向上させた国内最大級のポリプロピレン…

製品口径　320ミリ、445ミリ製品長さ　1.000ミリ、2.000ミリ...

メーカー・取り扱い企業：タキロンシーアイグループタキロンシーアイ株式会社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

　・　メガソニックスポットシャワー　・　スピン乾燥＜　洗浄対象物　＞　各種ウェハ　・　Si(シリコン）　・　石英　・　酸化物　・　化合物等＜　対応ウエハ口径　＞　・　φ2”～φ4” 　・　φ6”～φ8”　＜　その他　＞　　　　　　　単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、　ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

適しています。単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ■被洗浄対象ウエハ：シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ4”　φ6”～φ8” ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

φ450mmウェーハ厚さ測定機（FTM-01型）

大口径のシリコーンウェーハ測定機

・シリコンウェーハの厚さ測定を非接触にて行います。・測定器はレーザ測長器を使用して厚さを測定します。・厚さ測定データはPCに保存されます。...測定データは以下の表示が可能です。 1.多点測定表示 2.断面厚さ測定表示 3.厚さ測定マップ表示...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ【ASAPのコーター・デベロッパ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

成形ベローズ VG-VF 『CEV-10000』

真空配管用成形ベローズです。JIS規格真空フランジ付きです。

ローズにJIS規格の真空フランジ（VG･VF）が付いた製品です。真空配管の寸法調整や誤差吸収、及び振動吸収用として使用できます。【特長】 ■バネ定数の小さい柔軟なベローズ ■製作口径：20A～300A ■製作全長（ L ）はご指示ください。 ■繰り返し耐久寿命が長い製品です。 ■VG-VG型・VF-VF型も製作可能です。 ■呼び径350A以上も製作可能です。 ■フラン...

メーカー・取り扱い企業：中日技研工業株式会社

小径ウェハ（LT・SiC等2〜6インチ）両面同時スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れずに搬送・乾燥が可能なスクラブ洗浄装置！独自機構の表…

装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（量産型）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

ウエハ洗浄装置「両面スクラブ洗浄装置（研究開発用）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

ウエハ洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（研究開発用）」

ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。

装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ8”　厚みについては要相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット