【最新モデル】Druck ハンドヘルド圧力校正器 DPI610E

PR圧力校正器が「６月28日まで」期間限定の特価キャンペーン！現場校正作業…

ドラック伝説の校正器 DPI600シリーズからの待望の最新モデルのキャンペーンを実施します。 現場校正作業の効率アップに欠かせない一台です。 【４月１日～６月28日まで期間限定特価キャンペーン中】 この機会に、使いやすい最新モデルにアップデートしませんか？ 【特長】 ◆簡単操作の圧力測定と圧力発生、信号測定、ループ電源機能を一台に統合 ◆前モデルより大幅に改善されたポンプ機能と...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

油圧装置・発電機の見える化・省人化＝リアルタイム遠隔監視システム

PR圧力、温度、流量、オイル清浄度管理を備えた、ICT遠隔監視クラウド型（…

圧力、温度、流量、オイル清浄度管理を備えた、ICT遠隔監視クラウド型 Watchlog PRO 油圧システム モニタリング ユニットを油圧システムに設置することで、流量、圧力、温度、およびオプションでオイルの清浄度が継続的に、4G (SIM カード)または Wi-Fi 経由で専用クラウドに送信されるか、貴社ウェブサーバーに送信されます。センサーの測定値は、殆どのウェブブラウザからアクセスできるオ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チヒロ 東京営業所

Druck 半導体製造装置向け圧力計測ソリューション

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…

【SEMICON JAPAN2022 Hall2 総合ゾーン＃2134に出展決定】 流体制御に欠かせないPACE圧力コントローラの校正デモが体験できます！高速圧力制御を実感しませんか？ 【生産ラインの圧力校正試験に圧力コントローラ PACE】 ■高精度、長期安定性、高速反応性と３拍子そろっています ■圧...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

Druck 半導体アプリケーション用圧力センサ

半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…

スにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。 【注目製品】 新製品：温度変化に強いADROITシリーズ！ 半導体製造装置、空調システム、自動車等に適したデジタル温度補...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に

半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…

【MEMS圧力センサの校正検査工程の自動化に】 現在高需要の車載圧力センサ。ドラックの圧力コントローラPACEでエンド・ライン検査を効率化しませんか？試験を自動化することで生産コストが各段に削減できます。生産ラ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 　モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。...センサチャンバは３１６Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプション...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

エッチング装置（2）

搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応！薬液温度・圧力…

続にて エッチングを行います。 装置は、巻出（基板投入）～ラミネート～エッチング～水洗～ 酸洗～水洗～巻取（基板剥がし）～水洗～乾燥～基板積載の構成。 また搬送機構以外にも薬液温度・圧力を精度よくコントロールを行います。 【仕様】 ■Lane構成：1Lane ■搬送速度：1.5m/min ■材料幅：MAX350mm ■材料厚み:50μm～ ■加工面：片面 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

ICPエッチング装置　RIE-800iPC/RIE-400iPC

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…

性を 誇るICPエッチング装置です。 高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。 また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・ 低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。 【特長】 <RIE-800iPC> ■最大Φ8”ウエハ対応 ■放電形式に誘導結合プラズマを採用 ■真空カセット室を備...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ■接ガス部にインコネルを採用 ■CEマーク対応／RoHS準拠 ■接続継手の選択が可能 ※『730シリーズ』のカタログは...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

【デモ実施中！】小型実験用イオンビームエッチング装置

【デモ実施中！】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭…

【仕様】 ●エッチング用イオンソース 　DC 11cm イオンソース 　SOLUS　POWER　SUPPLY ●真空チャンバー 　到達圧力　6.0×10-5Pa台 　動作圧力　3.0×10-2Pa台 ●シングルステージ 　水冷機構 　3軸動作　自転・入射角度・円弧移動 　不定形基板からMax 6inchiまで選択可能 ●排...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

小型イオンビームエッチング装置

イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…

【装置仕様概略】 ○エッチング用イオンソース →DC 11cm ION SOURCE →SOLUS POWER SUPPLY ○真空チャンバー →到達圧力：6.0×10-5Pa台 →動作圧力：3.0×10-2Pa台 ○シングルステージ →水冷機構 →3軸動作 自転・入射角度・円弧移動 →不定形基板～Max 6inchまで選択可能 ○排気系...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

インライン　ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

ありません。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命１０年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力１５０℃×０．４ＭＰａ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

ルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

フォトエッチング技術／拡散接合

幅広い金属に対応可能！フォトエッチング技術の利点や拡散接合についてご紹…

べて様々なメリットがあります。 また当社は金属同士を貼り合わせる手法として、『拡散接合（固相接合）』 をお勧めしています。接合に接着剤やロウ材を使用しない接合方法で、 母材表面の原子を熱や圧力を用いて原子間接合させて高い接合強度が 得られます。 【フォトエッチング技術　特長】 ■ミクロン単位の複雑で微細な加工が可能 ■加工によるバリや歪みなどがなく仕上がりが綺麗 ■幅広い金...

メーカー・取り扱い企業： ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力

＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

iO2エッチング（*『フッ化ガス供給モジュール』オプション, CHF3ガス系統要） 【仕様】 ◉ 対応基板：〜Φ6inch ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動シーケンス ◉ APC自動圧力制御 ◉ Arガス1系統（標準） + N2, O2 増設可能 ◉ Windows PCソフトウエア付属：自動エッチングレシピ作成・保存・保存、データロギング 【寸法・ユーティリティ】 寸法：...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

【カスタマイズ可な機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム（有機用） ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス（有機用） ○爆圧ハッチ（有機用） ○各種インターロック 等 ※装置によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ドライエッチング装置

RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコン…

【仕様（抜粋）】 ■基板サイズ：最大φ12インチ ■プラズマソース：CCP型 ■真空排気 　・低真空プロセス：MBP+DP 　・高真空プロセス：TMP+DP ■圧力制御：APC制御 ■プロセスガス：F系、Cl2、Ar、O2、他 ■制御操作 　・制御：PLC 　・操作：タッチパネルまたはPC ■データロギング：外部メモリまたはPC ■基板搬送：大気ま...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

アッシング装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた…

【仕様】 ■基板サイズ：最大φ12インチ ■プラズマソース：CCP型 ■真空排気 ・低真空プロセス：MBP+DP ・高真空プロセス：TMP+DP ■圧力制御：APC制御 ■プロセスガス：F系、Cl2、Ar、O2、他 ※PDF資料も合わせてご覧ください。 ※お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

エッチングマシン『YCE-500WA』

当社独自のノズル配置とオシレーション機構により高精度にムラなくエッチン…

可能な エッチングマシンです。 本体およびその他の箇所も酸、アルカリの両エッチャントに対応できる 完全耐蝕性材料を採用しております。 また、作業の安全性を保証する大きな点検窓や丈夫な圧力バルブ類を 使用しています。 【特長】 ■ボタンひとつで準備運転からエッチング、水洗まで全自動で処理 ■オールデイタイマ（オプション）で毎朝すぐにエッチング可能 ■デジタル温調器、液循...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山縣機械 ＦＴＰ事業部

レジスト剥離洗浄装置　※テスト可能機種あり

循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置

で、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス ○爆圧ハッチ ○各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合も...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

フロロパワーシリーズ【高機能フッ素ゴム材質】

Oリングの桜シールは、過酷な温度条件や強力な薬品にも耐えることが出来る…

Oリングの使用環境に適合する材質の選定は、温度条件と圧力条件、そして接触流体の条件を勘案して行います。尚、条件次第によってはフロロパワーシリーズがオーバースペックである場合もあります。条件と照らし合わせて、無駄なく最適なOリングを選定して下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

6in・8inウエハ両用非接触ピンセット

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

非接触にて吸着し、脱着を行います。 「6in・8inウエハ両用型非接触ピンセット」は、空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、ウエハを非接触にて懸垂保持する機能を有しております。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

【資料】精密スクリーン(EDS)について

エッチング加工と金属拡散接合技術にて製作したスクリーン！写真付きでご紹…

【その他掲載内容】 ■EDS 圧力損失 ■EDS 微生物検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マグネテックジャパン 本社

SUSエッチング装置

当社独自で開発した搬送部品（ロール）の配置設計！角折れ、打痕なく安定し…

』は、パターニングされたSUS箔をエッチングする 製品です。 当社独自で開発した搬送部品（ロール）の配置設計により、極薄製品でも シワ、角折れ、打痕なく安定した搬送が可能。 スプレー圧力、薬液濃度・温度、薬液比重等の自動管理システムにより、 適したエッチングバランスを持続的に生み出すことで、製品品質を一定に 保ちます。 【特長】 ■パターニングされたSUS箔をエッチング...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子