SDGs貢献と循環型社会の実現へ！　リサイクル樹脂材料

PR環境配慮型製品の開発にお役立ていただけるプラスチック材料各種をはじめと…

我が国は資源小国であり他国に資源を依存しています。また、人類80億人時代にたった1度の使用で物を廃棄することは資源効率が不十分であると思います。 そうした考えのもと、当社ではリサイクル材料を各種開発・販売しております。これらのリサイクル材料等を活用した製品を設計・開発していただくことで、循環型社会の実現やSDGsの達成に貢献することが可能です。 【リサイクル材料のご紹介】 ・エコマー...

メーカー・取り扱い企業： 緑川化成工業株式会社 本社

クーラント廃液 超省エネ減容化装置【産廃量1/20に削減！】

PRクーラント（水溶性加工油）廃液の95％以上減容化を実現！産業廃棄物処理…

NC旋盤やMCなどを用いた金属加工工程をお持ちの製造業様でのクーラント （水溶性加工油）廃液の削減事例になります。クーラント廃液を産業廃棄物 処理しているため、環境負荷およびコスト削減を実現したいという課題を 抱えていました。ヒートポンプサイクルを利用した超省エネ減容化装置を 利用する事で大幅に廃液を削減しました。 【事例概要】 ■課題 ・クーラント廃液を産業廃棄物処理しているた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンアップ

小型実験機で高精度を実現　スリット式塗布装置　リサーチコータ

様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパク…

しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一性を実現し、実験・試作・少量生産など様々なシーンでご活用いただけます。 【当製品が選ばれるポイント】 ■コンパクトで導入しやすい ■企業や大学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

ナノスピードディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

ディップ速度、超低速度の1ナノm/sec、3次元制御を実現!！ 　現…

す。 生体医学研究者にとっては、細胞培養基板や生体適合性コーティングの制御が可能で、生体材料の研究や細胞培養に大いに貢献します。 光学およびフォトニクス分野では、高精度で均一な光学コーティングを実現し、光学デバイスの性能向上をサポートします。 さらに、材料科学の研究者には、異なる速度でのコーティングと薄膜の成長が可能で、新しい材料や触媒の開発を加速します。 このディップコーターは、研究、開...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

小型で高精度！スリットコータ『リサーチコータ』LC-R400G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一性を実現し、実験・試作・少量生産など様々なシーンでご活用いただけます。 【当製品が選ばれるポイント】 ■小型で導入しやすい ■企業や大学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討を視野...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…

【特長】 ■ベルト搬送で高スループット（処理能力が高い） ■反りウェハの搬送も可能！ ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ロボットを使わず、高スループットを実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

グで塗布ができる回転カップ式塗布装置です（特許取得済み） マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップをご用意しています。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■特許取得済みの回転カップ方式塗布 ■多彩な薬液に実績あり ■フッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ラボ用、高精度スリットコータ『リサーチコータ』LC-R300G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一性を実現し、実験・試作・少量生産など様々なシーンでご活用いただけます。 【当製品が選ばれるポイント】 ■コンパクトで導入しやすい ■企業や大学研究室等での実績多数 ■量産装置と同様のプロセスで、生産機検討...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

ーク、クーリング機能を標準で搭載。 お客様のご要望や生産量に応じて、ユニット数の調整やマニュアル機～フルオート機までご提案できます。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■薄ウェーハ対応ロボット ■薄ウェーハ対応チャック ■低価格を実現 ■ウェーハサイズを自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジスト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、Si...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…

コーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を標準搭載しています。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 【特長】 ■複数インチサイズウエハの兼用（段取り替えなし） ■自動ウエハサイズ認識での自動運転 ■低価格を実現 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■レジス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置　コーター

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

ガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■ウェハサイズを自動認識して処理 ■多彩な薬液に実績あり ■フット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

研究・開発実験用　RFスパッタ装置

実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

INT　＜実験目的にあわせたカスタマイズ!!＞ 1．試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意 2．カソードサイズは2〜6インチに対応 3．2インチカソードタイプは3源式にも対応　＝　薄膜の積層を実現 4．多彩なオプションをご用意 　　基板加熱ユニット/基板冷却ユニット/MFCユニット etc....

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

高出力紫外線照射装置『UVflasher TX2000』

瞬時の硬化を実現！パルス発光による環境配慮型高出力紫外線照射装置！自動…

『UVflasher TX2000』は、紫外線を強力なパルス発光により照射し、 連続発光方式と比べて熱の発生が少なく、遥かに短い時間で 樹脂の硬化を実現した紫外線照射装置です。 キセノンガスを使用しているので、環境負荷が少なく、発光電圧、 発光パルス数などを目的に合わせて容易に設定変更が可能。 専用ソフトが標準で付属されているので、導入...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクト

ナノスピードディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

ディップ速度、超低速度の1ナノm/sec、3次元制御を実現!！

++++++++++++++++++++ 　現在、HPで動画紹介中です。 ++++++++++++++++++++ 「新しい超低速度ディップコーター、未体験の仕上がりを実現します。革新的な塗布装置は、極めてゆっくりと均一にコーティングを行い、製品に卓越した品質を提供します。この製品は、厳密な品質管理が必要な業界に革命をもたらし、美しさと一貫性を求めるプロフェッショナル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

フォトレジスト量削減！回転カップ式塗布装置（スピンコーター）

ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコータ…

量3割～7割の削減実績があります。 生産量に合わせて、マニュアル機～フルオート機までのラインアップを揃えています。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、カスタム性の向上と低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 デモ設備は常設しておりますので、気になる方はデモ依頼やお問い合わせください。 【特長】 ■低...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンパクト！装置幅300mm自動レジスト塗布装置（コーター）

装置「幅」が300mm！ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、フルカスタマイズ・低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

『超高精度誘導発熱ジャケットロール』

250℃のロール表面温度で±0.5℃以内の温度分布を実現するジャケット…

ため、作業環境の省スペース化にも貢献します。 【特長】 ■機械精度は250℃の高温下で円筒度・真円度ともに0.003mm以内 ■常温下の円筒度・真円度・振れは究極ともいえる0.002mmを実現 ■カレンダやコーティング時の微小な変形を防止 ■ロール表面温度250℃での温度分布は±0.5℃以内の高精度 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： トクデン株式会社

デモ機貸出中！　高精度スプレーコーター『API-40RD』

吐出精度１％以下！成膜プロセスを効率化する卓上型スプレーコーター！デモ…

PI-40RD』はタッチパネル、燃料電池等の各種ナノ材料や 成膜プロセス開発のために最適化された高精度スプレーコーターです。　 卓上に置ける超小型ながら、吐出再現性は1％以下という超高精度を実現！ 薬液は1実験あたり3ml～10mlという少量で済み、コストを大幅抑制できます。 【特長】 ■使い捨ての着脱式スプレーヘッドで、取付カンタン ■使用前後のメンテナンスがほぼ不要 ■塗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

れたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能です。塗布膜厚は、スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応します。AZエレクトロニックマテリアル社AZ－P4000シリーズ、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

置です。 円形以外にも四角形、八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能（数100μmの厚塗りも1回で塗布可能） ■パターンへの埋め込み性に優れる（ボイドも少ない） ■EBR（Edge Back Rinse）不要...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

JASC-150型は、現像液温度精度±1℃のフルオートスピンナーです。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応します。高精度のロボット採用により、高スループット化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

塗工装置『多層ダイコーター』

多段化したスロットル構造！単層～多層の同時塗工を実現するコーター

『多層ダイコーター』は、多段化したスロットル構造により、単層～多層の同時塗工を実現する塗工装置です。 バキューム機構により、ギャップクリアランスを確保します。 特殊機能フィルム及び機能性材料等に最適です。 【特徴】 ○高精度なダイ加工技術 ○塗工液流動特性を反映した...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

実績もあります。 GaAs（厚み150um）、InP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！ 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【特長】 ■スピンプロセスによる膜厚分布の高均一性 ■2～12インチまで対応可能 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■自動ウェハサイズ検知機能 ■多...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

厚膜塗布に高粘度専用スピンコーター！自動ポリイミド塗布装置

～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…

【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式） ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション） ・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

軽量卓上ダイコーター

省液塗工を実現！１回の塗工で最少5ccを実現 軽量化卓上コンパクトタ…

１．機械サイズがコンパクトで軽量 ２．塗工液の粘度幅が広い　 　　　　1cps～100,000cps ３．膜厚範囲　1μ～1.5mmt ４．ロールtoロールタイプ、自動機など 　　　　カスタマイズ仕様に対応 ５．ストライプ塗工（最小塗工幅2mmまで） ６．ダイリップの自動洗浄ユニット ７．２層３層同時塗工ダイ製作可能 ８．Wet on Wet塗工が可能 ...１．機械サイズがコ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

ディップコーター　Ｍシリーズ（精度　1マイクロ／毎秒）

ディップコーター　Ｍシリーズ（精度　1マイクロ／毎秒）

１秒間に１マイクロメートルの超低速の引き上げ速度を実現したモデルです。 操作は、タッチパネルを基本とし、初めての方でも簡単に操作が可能です。 最高速度は、４０ｍｍ／SEC。 幅広いレンジの設定が可能なエントリーモデルです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

小サイズ用卓上ディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

"幅広い速度と可動域、革新的なディップコーター" +++++++++…

ルの合成、高精度なパターン形成、生体適合性のコーティング、光学デバイスの性能向上、新材料の研究、さらには触媒の開発まで、無限の可能性を開きます。 このディップコーターは柔軟で効率的な製造プロセスを実現し、未来への技術進化をサポートします。業界をリードし、イノベーションと生産性を追求するなら、この製品が不可欠です。" 小サイズ(300mm以下)のガラス、アクリル、銅箔、チューブ状の物質等にミリ単...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII

Ni／Cr／Wなどに対応！ ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

「SC-701HMCII」は、W(タングステン)/Ni(ニッケル)/Cr(クロム)/Ti(チタン)等の薄膜作製に適したマグネトロンタイプのプログラマグルスパッタコーターです。 フルオートとマニュアルの2通りの操作が可能で、ビギナーユースからプロフェッショナルユースまであらゆるニーズに応えます。ソフトウェアにるシステム制御により、成膜条件をより細かに、かつ格段に高い精度でコントロールすることができ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

ディップコーター　Nシリーズ（精度　1ナノ／毎秒）

ディップコーター　Nシリーズ（精度　1ナノ／毎秒）

１秒間に１ナノメートルの超低速の引き上げ速度を実現したモデルです。 操作は、タッチパネルを基本とし、初めての方でも簡単に操作が可能です。 最高速度は、30ｍｍ／SEC。 風防、角度調整機能を標準一体化し、ナノ粒子配列等の研究に適したモデル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板もご安心ください！ 【特長・強み】 ■お手頃価格を実現 ■ウェハサイズ自動検知機能 ■自動ウェハ検知機能（マッピング）搭載 ■2～12インチまで対応可能 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■多彩な薬液に実績あり ■フッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ナノスピードディップコーター　ND-0407-S5

ディップ速度、超低速度の1ナノm/sec、3次元制御を実現!！

ワークの2軸、θ角制御で、ワークの角度調整、斜め引上げを可能にした超低速ディップコート(ディップコーティング)装置です。ガラス、アクリル、銅箔、チューブ状の物質に超低速のナノ単位の速度 (1nmごとの可変)にてディップコート(ディップコーティング)が可能なディップコーターです。 ナノレベルの膜厚形成、オパール膜、粒子配列、結晶生成等に適しています。 操作はタッチパネル方式を採用。2軸同期、1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

薄膜形成装置 エレクトロスプレー SLEF-100

室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成！電着による塗布とX-Yロボットで高…

『室温・大気圧』下であるにも関わらず、均一な薄膜を形成致します 『電着による塗布』＋『X-Yロボット』＝ムダのない効率的な塗布！ マスク板を汚しにくく『お手入れも簡単』！ 【特徴】 ・小型な装置でスプレーコーティング ・高温・高真空下ではなく、室温・大気圧下で塗布 ・電着による塗布により塗液を効率的に塗布！ ・X-Yロボットを使用した正確なコーティング ・マスク板を汚しにくいの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

株式会社康井精機　製品カタログ

好適なコストと品質を両立した装置をご提案！生産用コータやマイクログラビ…

紹介しています。 性能と低コストを両立するオーダーメイドマシン「生産用コータ」をはじめ、 様々な用途で長く使える設計の「開発用テストコータ」、既存設備を活用しながら マイクログラビア塗工を実現する「マイクログラビアユニット」などを掲載。 製品の選定にご活用ください。 【掲載製品（一部）】 ■生産用コータ ■開発用テストコータ ■マイクログラビアユニット ■高精度シート...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社康井精機

半導体製造装置『スリットコーター』

独自のスリット技術を駆使した高品質なスリットコーター！

～10,000cps） ■0.1μmの薄膜から10μmの厚膜まで対応（10μm以上の厚膜も対応可能） ■塗布均一性：±3％以内（当社条件による） ■レジスト使用効率95％以上、省液、低コストを実現 ■操作性、メンテナンス性に優れる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンドー 横浜工場

成膜装置『ロールコーター』

ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を実現！成膜…

『ロールコーター』は、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に 表面処理をする装置です。 ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を可能にし、 成膜は、プラズマCDV法、スパッタリング法、真空蒸着法等のプロセス を組み合わせたマルチプロセスが可能です。 また、素材ロールの脱ガス対策にTMP＋CRT排気システムの採用しました。 【特長】 ■ドラムレス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社C&Vテクニクス

MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工できるコータです。 高粘度液や厚膜などスピンコータでは難しい塗工が可能です。 【精密スプレー塗布装置】 多様な基板へのコーティングをスプレー方式で簡単に実現できます。 少ない材料で簡単にスプレーコーティングサンプルが製作できます。 凹凸基板、厚膜、有機材料など多彩なワーク、材料、プロセスに対応。 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

Batch Type Sputtering System

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

Batch Type Sputtering Systemは一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式で多くのコスト削減が実現できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

液晶マスク用スピンコーター

Ｇ２～Ｇ6までの液晶用フォトマスク自動スピンコーター

多種多様なフォトマスクサイズ対応。 幅広い膜形成に対応し、膜厚均一性と安定性に優れ、高い歩留まりを実現したインナーカップ方式の自動マスクスピンコーターです。...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スプレーコーター　ACingTec　IS-8型

立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター

から数100μmの広い範囲の応用が可能 　●コーティング液の利用効率が高い（従来スピンコートの数十倍程度） 　●エッジカバーの良好な薄膜コーティングが可能 　●高メンテナンスを実現 【仕様】 　●4インチ、6インチ、8インチウエハーサイズ　（他形状にも対応） 　●ロボット搬送方式 　●特殊スプレー方式 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

半導体製造装置移設・立ち上げ・機能改善サービス

半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

の約半額のコストで時間も従来の３０〜４０％を削減し、お客様の環境の変化に対し高い効率でサービスを提供致します。使用する部品は純正、セカンド品を使用し、増設の際は装置本体も在庫しているので迅速な対応を実現できます。担当するメンバーは装置メーカーやデバイスメーカーの元エンジニア経験１０年以上の熟練者が実施するので安心してご利用頂けます。...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…

製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、Si...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…

機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために半自動（セミオート機）の製作を低価格で実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、Si...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

10000cP！高粘度対応自動レジスト塗布装置（スピンコーター）

10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス…

製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ検知機能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ