高速5軸ミリングマシン「RXU」+オートメーション「RCS」

PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…

ドイツ レダース社製の高速 ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。 掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゴーショー

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

に対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

ウエハサイズ 後工程 投影露光装置 MRS

ウエハサイズ 後工程 投影露光装置 MRS

■ ８インチ以下は「一括露光方式」、 　 12インチは「ステップ＆リピート露光方式」の選択が可能 ■ 露光エリアが広い為、高生産性を実現 ■ 焦点深度が深い為、MEMS、RFフィルター業界に多数の 　 実績あり ■ TAIKOウエハにも対応 ■ グローバルアライメント方式 ■ 高剛性フレームにより、高精度アライメント露光が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマプレシジョン

非空転式プリセット形トルクドライバーLTDシリーズ

設定トルクに達すると約15度の空転感覚で締付け完了をお知らせ。衝撃・振…

レンジと灰色の2色を用意。締付け部位や工程ごとに工具の色分け管理が行えます。 ■樹脂グリップの色は単にカラフルなだけでなく、設定トルク・締め付け部位・作業者などに合わせて管理すれば、『ポカヨケ』が実現できます。 ■受注生産品で逆ねじ用もあります。 ■ISO6789-2003の校正手順に準拠。精度±３％。校正証明書付き。 ■安心の日本製。ISO9001認証取得の自社工場で生産されます。 □...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東日製作所

マルチスペクトルＬＥＤ光源装置　ALE/2

同一波長のモジュールを複数搭載可能な高出力・高安定のLED光源装置。ハ…

ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線光源装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。また兄弟機のALE1と大きく異なる点は同一波長のモジュールを複数搭載可能なのでI線もしくはG線のみを高強度で出力す...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

式の高倍率タイプで､照明はレジストにより色の選択が可能なLED照明を搭載しています｡ 4.作業のタクトを高めるために､ランプハウスとアライメント顕微鏡が自動で挿入､退避することから､生産性アップを実現します｡...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

生産の領域では既に標準となっているマスクレスアライナーの工業生産バージョンです。MLA300は、生産工場で期待される高スループットと高可用性を維持しながら、2 µmのラインアンドスペースの高解像度を実現します。 ワークフローを簡素化するための自動化に対応するために、ウェーハロボットとロードポート、および生産環境用に特別に設計されたソフトウェアを備えています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

Batch Type Sputtering System

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

Batch Type Sputtering Systemは一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式で多くのコスト削減が実現できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

半導体製造装置移設・立ち上げ・機能改善サービス

半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

の約半額のコストで時間も従来の３０〜４０％を削減し、お客様の環境の変化に対し高い効率でサービスを提供致します。使用する部品は純正、セカンド品を使用し、増設の際は装置本体も在庫しているので迅速な対応を実現できます。担当するメンバーは装置メーカーやデバイスメーカーの元エンジニア経験１０年以上の熟練者が実施するので安心してご利用頂けます。...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社