低圧複合水流洗浄機

PR水と空気で洗う！洗浄の自動化や設備との一体化を実現します

『低圧複合水流洗浄機』は、化学薬品を一切使用しない水だけで 配管洗浄できる製品です。 洗い流された汚れはフィルタがキャッチし、洗浄水をリサイクル。 どこまでも環境に配慮した設計。 また、洗浄の自動化や設備との一体化を実現し、様々なメリットを実現します。 【特長】 ■水だけで洗浄し洗浄水はリサイクル ■水だけで洗浄するため、機材が傷まない ■対象物を分解組立する必要なし ■対象物の容量サイズに...

メーカー・取り扱い企業： 五幸商事株式会社

2D/3DCAD資産を活用したシステム開発

PR文字情報の抽出、自動作図など、「できない」と諦めていたご要望を実現

当社では『2D/3DCAD資産を活用したシステム開発』を行っております。 CADのカスタマイズ、独自システム構築、OEMなど幅広く対応可能。 市販CADソフトをベースにお客様専用のシステムを開発し、 「できない」と諦めていたご要望を実現いたします。 【市販CADソフトを活用した専用ソフト開発のメリット】 ■安定品質 ■柔軟なライセンス ■フルカスタマイズ ※「PDFダウ...

メーカー・取り扱い企業： アンドール株式会社 ITプラットフォーム営業部　

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

多用途に実績豊富なプラズマクリーニング装置に新タイプ登場。 従来のプラズマによる表面洗浄機能に加え、水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。 今まで以上に表面酸化層の除去能力が向上し、クリーニング後の基板の親水性も大きく向上。 従来と同じプラズマクリーニングにも当然対応。さらに従来のＡｒプラズマクリーニングとの複合クリーニングやＯ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチタイプＳＷＰアッシング装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

Wave excited plasma)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。 ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・ＭＥＭＳデバイスに対応 ＭＥＭＳ製造プロセスの有機膜犠牲層除去に優れた効果を発揮。 ハイエンドＭ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…

２５０ｍｍ□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。 従来機「ＰＯＥＭ」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とＯ２イオンでＤＬＣを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

新開発プラズマ源HCｄ（ホローカソード放電）型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。 独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

アルミ精密プレート加工／単品／大阪

A5056加工品・単品・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会…

　フィリール株式会社　本社 ベトナム(ホーチミン)　フィリールベトナム工場 【特長】 ■国内工場での徹底した検査、品質管理 ■表面処理は、国内での対応 ■安定品質をリーズナブルな価格で実現 ■各週航空便使用により短納期の対応 ■各種証明書の発行もOK ■１個から量産まで対応 ◆熱処理 高周波、パーカー、窒化 タフトライド、焼入全般 ◆表面処理 無電解ニッケル、各種...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社

UV装置

【ランプ寿命は長寿命】低ランニングコストで経済的！

。 【特長】 ■自社製低圧水銀ランプにより発生する185nm、254nm波長の紫外線効果により 　基板表面の有機性汚れを除去します。 ■ランプ寿命は6000時間保証。低ランニングコストを実現。 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社

バッチ式プラズマアッシング装置　ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…

・低価格・省スペースを実現 （4インチウエハ、5インチウエハはオプション対応） ・低ダメージでアッシング及び表面改質が可能 ・多様なプロセスに使用可能な50枚一括バッチ式のプラズマアッシング装置。 ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜTSPなのか

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

【TSP（The Second POWER）の特長】 ◎ 高速スイッチング 0.002秒（2msec）で電圧をバックアップ ◎ 電気二重層キャパシター採用で10～15年長寿命を実現 ◎ バッテリー・レス、ファン・レスで小型・軽量・無騒音を達成 ◎ 液晶ディスプレイ搭載で瞬低履歴や運転電流が目視確認可能 ◎ Sag Viewerソフトウェアで瞬低発生状況の確認可能 ◎ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【切削加工・五軸加工】

切削加工/金属加工

　フィリール株式会社　本社 ベトナム(ホーチミン)　フィリールベトナム工場 【特長】 ■国内工場での徹底した検査、品質管理 ■表面処理は、国内での対応 ■安定品質をリーズナブルな価格で実現 ■各週航空便使用により短納期の対応 ■各種証明書の発行もOK ■１個から量産まで対応 ◆熱処理 高周波、パーカー、窒化 タフトライド、焼入全般 ◆表面処理 無電解ニッケル、各種...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社

【ステンレスブロック加工・SUSマシニング加工】

SUS304削り／SUS304切削

　フィリール株式会社　本社 ベトナム(ホーチミン)　フィリールベトナム工場 【特長】 ■国内工場での徹底した検査、品質管理 ■表面処理は、国内での対応 ■安定品質をリーズナブルな価格で実現 ■各週航空便使用により短納期の対応 ■各種証明書の発行もOK ■１個から量産まで対応 ◆熱処理 高周波、パーカー、窒化 タフトライド、焼入全般 ◆表面処理 無電解ニッケル、各種...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

【TSP（The Second POWER）の特長】 ◎ 高速スイッチング 0.002秒（2msec）で電圧をバックアップ ◎ 電気二重層キャパシター採用で10～15年長寿命を実現 ◎ バッテリー・レス、ファン・レスで小型・軽量・無騒音を達成 ◎ 液晶ディスプレイ搭載で瞬低履歴や運転電流が目視確認可能 ◎ Sag Viewerソフトウェアで瞬低発生状況の確認可能 ◎ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】瞬時電圧低下とは？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

【TSP（The Second POWER）の特長】 ◎ 高速スイッチング 0.002秒（2msec）で電圧をバックアップ ◎ 電気二重層キャパシター採用で10～15年長寿命を実現 ◎ バッテリー・レス、ファン・レスで小型・軽量・無騒音を達成 ◎ 液晶ディスプレイ搭載で瞬低履歴や運転電流が目視確認可能 ◎ Sag Viewerソフトウェアで瞬低発生状況の確認可能 ◎ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】瞬時電圧低下の年間発生数

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

【TSP（The Second POWER）の特長】 ◎ 高速スイッチング 0.002秒（2msec）で電圧をバックアップ ◎ 電気二重層キャパシター採用で10～15年長寿命を実現 ◎ バッテリー・レス、ファン・レスで小型・軽量・無騒音を達成 ◎ 液晶ディスプレイ搭載で瞬低履歴や運転電流が目視確認可能 ◎ Sag Viewerソフトウェアで瞬低発生状況の確認可能 ◎ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー

【瞬時電圧低下補償装置TSP】TSPとは

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

【TSP（The Second POWER）の特長】 ◎ 高速スイッチング 0.002秒（2msec）で電圧をバックアップ ◎ 電気二重層キャパシター採用で10～15年長寿命を実現 ◎ バッテリー・レス、ファン・レスで小型・軽量・無騒音を達成 ◎ 液晶ディスプレイ搭載で瞬低履歴や運転電流が目視確認可能 ◎ Sag Viewerソフトウェアで瞬低発生状況の確認可能 ◎ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シナジー