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高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置
・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持 ・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ ゾン吸着フィルターを通して一括排気 ・サーボモーターと自動式ピンチローラーによる定速度搬送 ・ピンチローラーの表面接触は端面10mm ・WD/UWDにはフィードバックセンサー付きイ...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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