ワークに対する真空圧と大気圧の影響　卓上真空貼合装置

真空引きから大気開放までの間、ワークの状態変化を観察しました。

観察した結果、ワークの状態変化に顕著な違いが見られました。...卓上真空貼合装置は、研究開発（要素技術）に最適！です。 ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。 ・上下ステージをMax120℃のヒーター内蔵タイプに変更も可能。...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社