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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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PR臭気成分などを熱分解して排気!廃液処理のコスト削減を可能に!
本装置は、電気ヒーターで廃液中の水分を蒸発させて濃縮し、 蒸発時に発生する臭気成分などを熱分解して排気する、廃液減容化装置です。 水溶性切削液、水溶性研削液などの含油廃液の場合は濃縮油を有価物にする事も可能です。 【特徴】 ■廃液処理のコスト削減可能 ■高温、高粘度、スラッジ含有濃縮液の自動排出機構 ■排熱利用の省エネ機構 ■脱臭触媒を標準設置して排気ガスに臭気・煙が出ない ...
メーカー・取り扱い企業: プリテクノジャパン株式会社
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30kV対応かつコンパクトな制御電源!1Pa台まで使用可能な差動排気設…
に加えて、オプション追加により高圧条件下での 測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。 【特長】 ■30kV対応かつコンパクトな制御電源 ■1Pa台まで使用可能な差動排気設計 ■2段差動排気(オプション)により100Pa台でのモニター可能 ■スキャンコイル(オプション)による電子線スキャニングで、 同一条件での多数回折が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社パスカル
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EDS(EDX)・EPMA・XMA用導電処理・FIB用保護膜作成・カー…
VC-300シリーズはロータリポンプ排気、ピラニゲージで真空度を監視しながら行うので確実なカーボン蒸着ができます。カーボンはφ0.5の替え芯タイプなので、削る必要がなく周囲はいつも清潔です。また、電極部が高温にならないので、連続蒸着時に火...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社真空デバイス
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プロセスガスの濃度管理・環境測定に最適な、ガス濃度測定モジュール
各種ガス特有の赤外線吸光度を計測するNDIR方式を用いた、ガス濃度測定モジュール。環境をモニタリングする目的や、ガスを使用する生産ラインに最適。周辺環境の雰囲気ガスを測定する「拡散タイプ」と、供給や排気の配管からバイパスして使用する「通気タイプ」をご用意。 CO2やCH4だけでなく、絶縁ガスや冷媒ガスといった豊富なガス種ラインナップが特徴です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイ・アール・システム
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