蓄熱燃焼式脱臭装置『Deopo（デオポ）』

PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 ！生…

『Deopo（デオポ）』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルプラント

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

ターボ分子ポンプ排気ユニット YTP シリーズ

大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVA…

YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

差動排気系キット付四重極型質量分析計Qulee with YTP

豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しまし…

差動排気系キット付四重極型質量分析計（Qulee with YTP）は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセス管理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

油回転真空ポンプVD シリーズ

『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／…

VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。 蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。 真空ポンプには作業環境の向上のため「静かさ」が強く求められています。VDシリーズは、このようなご要望に応え開発した低騒音型のモータ直結油回転真空ポンプ（ロータリーポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ

水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック…

ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライ真空ポンプECO-SHOCK

消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【ア…

ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ

CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

【特徴】 ○低温領域で均熱化（LRシリーズ） →PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために 　排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適 ○高温領域で均熱化（HRシリーズ・URシリーズ） →CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を 　気体の状態で排出することが可能 →URシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

チタンゲッタポンプ GGT-3, PGT シリーズ

チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。…

ズ）は、チタン合金を真空中で直接通電してチタンを昇華させるためのユニットです。昇華したチタンは周囲の壁面に大量の活性金属表面を作り、化学的に活性なガス（H2、N2、O2、H2O、CO、CO2）を吸着排気します。チタンの活性金属表面は、不活性ガス（He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス）に対しては吸着能力を持たないので、ターボ分子ポンプやスパッタイオンポンプなどと組み合わせて使用します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/302

エッチング、CVD等の反応性プロセスに対応した差動排気系付プロセスモニ…

Qulee RGM-202/RGM-302は、Qulee シリーズのエッチング、CVD 等の反応性プロセスに対応した差動排気系付きプロセスモニタです。 アルバック独自のイオン源、排気系構造により、反応性のガスに対し耐蝕性に優れ、長時間安定した測定が可能です。 【仕様】 ○質量　排気系：57 kg ／制御系：38...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

メカニカルブースターポンプPMB シリーズ Ver. D

マルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。【…

メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10k ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PMB シリーズVer.D はマルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。 オプション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

リークディテクタ HELIOT 900シリーズ

排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。【アルバック／…

HELIOT900シリーズは排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。 漏れ検査のあらゆる場面で、常に最高のパフォーマンスをお約束します。 保守パネルは簡単に外す事ができ、各部へのアクセスも容易、作業手順解説画面...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

油回転真空ポンプPVD シリーズ

到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます…

転真空ポンプです。 2段式回転翼型ポンプで到達圧力に優れた真空ポンプとなっており、幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○ベルト駆動型の小型油回転真空ポンプ（ロータリーポンプ） ○排気特性が非常に優れている 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライ真空ポンプCRシリーズ

排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバ…

ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○C...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライポンプ省電力化アタッチメント　ECO-SHOCK ES4A

排気速度の低下なし！ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。【アル…

ECO-SHOCK（エコショック）は、ドライポンプに取り付けることによって、消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。 ES4Aは、仕込取出し室の頻繁な繰り返し排気に使用する用途や、ターボ分子ポンプのパックのように到達圧力運転時間の長いドライポンプの電量削減に最適です。 ドライポンプの発熱を抑える効果もあるため、空調機器の電力も削減します。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライ真空ポンプGRシリーズ

一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULV…

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVA…

理システムへの対応が可能 ○カップリングフリーシステムの搭載 →1台のパワーサプライで、 　機種切替により登録されているポンプ本体との組合せ運転が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載 →排気速度を25%〜100%の範囲で可変 ○優れた耐食表面処理を施しているため、さらなるハードプロセスに 　向けて特殊表面処理・内部昇温システムがオプションで対応可能 　(FWシリーズ) ○破壊エ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

油回転真空ポンプ　VDシリーズ Ver.C

強制給油方式採用！幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバ…

型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200～240V/380～460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 【特徴】 ○ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用 ○幅広い電圧を1台のモータ で対応可能 ○強...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

コンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ

高圧下での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実…

【特徴】 ○スパッタリング装置に最適 →各種スパッタリング装置のプロセスモニタリングに最適 ○差動排気系不要 →プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要 　（1Pa以下測定可能、省スペース化可能） ○表示部一体型の設計 →PCレスでも測定可能 ○簡単操作 →One Click機能（だ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

油回転真空ポンプVS シリーズ

小型、軽量、低振動を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。【アルバ…

を達成したモータ直結の油回転真空ポンプです。振動を大幅に低減したことで、工場建屋の基礎工事などのポンプ設置にともなう負担を軽減することができます。また、油循環系統と冷却系統の強化により、高吸入圧での排気性能が安定していますので、繰り返し排気の多いプロセスなどをはじめとして幅広い用途でご使用いただけます。 【特徴】 ○低振動・低騒音 ○軽量・コンパクト ○優れたメンテナンス性 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

油回転真空ポンプVS650A/VS750A

基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。【アルバッ…

VS650A/VS750A は、1段式ベーン型（回転翼型）の油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

油回転真空ポンプ PKSシリーズ

非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。【アルバック…

PKS シリーズは、非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。 金属・自動車産業をはじめ、化学・医薬・食品産業などの幅広い用途で使用いただけます。 分解、組立が極めて簡単。排気弁の点検も容易にできます。 【ラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

油拡散エゼクタポンプ PBLシリーズ

長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。【アルバ…

型は本体（シリンダ）にステンレス鋼を使用している ○アウトガスが少なく、高真空が得やすく、耐食性にすぐれている ○横型エゼクタポンプに比べ作動範囲は、約一桁低圧側にずれますが、 　同じ口径での排気速度ははるかに大きく、 　また排気速度特性もすぐれている ○油回転真空ポンプ、メカニカルブースタポンプと油拡散ポンプの 　中間圧力で使用するのに効率がよいうえ、据付面積も小さく、最適 ○PB...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

R&D用スパッタ装置 QAMシリーズ

各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…

1×10-4Pa　以下 ・対応基板サイズ：　Max.φ4インチ×1枚 ・膜厚分布：　±5％以内（Al成膜時、基板回転併用） ・基板加熱機構：　●ランプヒータ　常用400°C　※オプション ・排気系： 　1） ターボポンプ 　2） ロータリーポンプ 　● ドライポンプ　※オプション ・最大ガス導入量： 　1） Max.50sccm（Ar） 　2） Max.10sccm（O2） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B

メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニ…

【特徴】 ○取り付け方向自由 →取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がる ○オンボードコントローラ搭載 →コントローラはターボ本体に 　マウントされているため省配線と排気系の小型化に有効 ○高圧縮比・高背圧 →圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能のため補助ポンプの小型化が可能 ○3種類のフランジを用意 →VG100、ICF152、ISO100-Kの３種類の吸...

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ピボット軸受型ターボ分子ポンプ UTM シリーズ

高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。【ア…

グ交換、 　オイル交換が不要となり、軸受の長寿命化を実現 ○独自の翼列設計によるファインダイナミックバランスロータと 　高性能軸受により、高速回転を実現し、 　H2やHeなどの低分子量ガスの排気性能（高圧縮比）を実現 ○ピボット軸受とフッ素油（化学的に安定で飽和蒸気圧の低いオイル）を 　採用し、限りなくゼロに近いオイルフリーの環境を実現 →クリーンな超高真空の達成が可能 ○ファイン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ピラニ真空計GP-Gシリーズ

気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。【アルバック／ULVA…

度型ピラニ真空計です。 フィラメント材に白金（Pt）を使用しており大気圧でも壊れません。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。 また、セットポイント付では、各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。 【ラインナップ】 ○GP-1000G ○GP-2001G ○GP-2002G ○GP-1GRY（A） ○GP-1G　ほか 詳しくはお問...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

オイルミストトラップ TM/TMX シリーズ

室内の設備・雰囲気を油滴や油煙で汚すことなく清浄な作業環境が得られます…

油回転真空ポンプの始動時、あるいは低真空で作業する時、排気されるガスとともにポンプの油が油煙や油滴となって排出されます。 TM/TMXシリーズを使用することにより、室内の設備・雰囲気をこのような油滴や油煙で汚すことなく清浄な作業環境が得られます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

真空装置のプロが書く『真空基礎知識』技術資料進呈中！※展示会出展

用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に…

集」や「記号の使い方」など、 現場でスグに活用できる知識解説や資料が満載です！ 【資料の概要】 ■単位換算表 ■真空用語 ■真空関係シンボルマーク ■気体の性質 ■コンダクタンスと排気時間の計算 ■気体放出と表面処理 　★下記「ダウンロード」ボタンからスグにご覧頂けます！★ 　『アルバック　真空関連機器の総合カタログ』も同時進呈中です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライポンプ省電力化アタッチメント ECO-SHOCK

お手持ちのドライポンプの消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。※…

■ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。 　特に多段ルーツ型ポンプで効果があります。 　その他形式のポンプに関してはお問い合わせ下さい。 ■全圧力領域において排気速度の低下がありません。 　 ■設置が簡単です ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

真空装置のプロが作った技術資料『真空基礎知識』※ダウンロード進呈

用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に…

集」や「記号の使い方」など、 現場でスグに活用できる知識解説や資料が満載です！ 【資料の概要】 ■単位換算表 ■真空用語 ■真空関係シンボルマーク ■気体の性質 ■コンダクタンスと排気時間の計算 ■気体放出と表面処理 　★下記「ダウンロード」ボタンからスグにご覧頂けます！★ 　『アルバック　真空関連機器の総合カタログ』も同時進呈中です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.