解説動画公開中『エマソンVanessaトリプルオフセットバルブ』

PRメタルシートでありながらゼロリークを実現。極低温から高温まで対応し、ア…

『エマソンVanessaトリプルオフセットバルブ』は、 世界中で30万台以上使われている高性能バルブです。 「Vanessa シリーズ30000」は、三軸偏芯構造と トルクシーティング型弾性メタルシートを使用し、 メタルシートでありながらゼロリークを実現しています。 ただいま、本製品の概要を分かりやすくご紹介した動画を公開中です。 カタログと併せてご覧ください。 【製品特...

メーカー・取り扱い企業： エマソンバルブアンドコントロールジャパン株式会社

バリ取り機AUDEBU IQNOIA(オーデブイクノイア)

PR特許出願中の吸着システム！高い生産性と環境性能を両立させた新しいバリ取…

『AUDEBU IQNOIA(オーデブイクノイア)』は、独自開発した新吸着構造を搭載し、これまで加工困難であった小物ワークの吸着固定は可能にし、さらに消費電力30％減を実現した、革新的なバリ取り機です。 また、ブラシ回転部にマグネットシステムを採用し、オイルレスかつ非接触のためメンテナンスフリーを実現しました。 デュアルコンベアは、左右のコンベアは駆動方向や速度が独立した設定も可能。異...

メーカー・取り扱い企業： オーセンテック株式会社

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

気体加熱器『クリーンホット』は、特殊ヒーターおよび特殊構造の採用に より加熱効率がよく、加熱対象ガスをすばやく昇温し、正確な温度制御が 可能な電気ヒーターです。 内部特殊構造により、断熱材を使用しなくても外装パイプ表面温度の 低温化を実現。断熱...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替え…

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上昇を抑えることでガス放出スピードを1/10以下に低減することが出来ます。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

設計技術者のための大型精密構造体　設計・製造の技術資料進呈！

高精度・大型・高減衰の溶接構造体フレームを設計・製造する横河ブリッジの…

設計技術者のための、設計・製造における重要ポイントを押さえた技術資料を進呈。 FPD製造装置、半導体製造装置などの精密機器の骨格となる溶接構造体フレームをご提供いたします。 横河ブリッジは「設計提案力」「技術開発力」「一貫生産体制・高品質保証」の強みを活かし、お客様のご要望にお応えいたします。 【設計製造のポイント紹介】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社横河ブリッジ アドバンストエンジニアリング事業部

【資料】大型精密構造体設計始める前に知っておくべき知識※基礎編

大型精密構造体のコストダウン設計・製造のポイントなどをイラスト付きでご…

当資料は、大型精密構造体設計始める前に知っておくべき知識・基礎編の 技術ハンドブックです。 「大型精密構造体の設計とは」をはじめ、「大型精密構造体の製造とは」や 「大型精密構造体の製造・品質管理に必要な設備」な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社横河ブリッジ アドバンストエンジニアリング事業部

アルミフレーム 高剛性アルミ構造材 ZFシリーズ

剛性を極めた アルミフレームの新境地 ZF

度高さを生かしつつ、鉄同等の剛性で大型の装置に最適です。 また、ロボット架台としても世界的産業用ロボットメーカーにも高く評価され、標準パッケージへの採用も次々と実現！ ロボットの挙動などを含めた構造解析提案サービス（無料）により、最適なフレームや構成をご提案します。 ...

メーカー・取り扱い企業： SUS株式会社

エナパック圧力トランスデューサー

高精度±0.2％R.C.。

センサー部は切削加工によるダイアフラム一体構造のため頑丈、長寿命です。...

メーカー・取り扱い企業： エナパック株式会社 本社　営業部

セラミックス製 構造部品【ミクロンオーダーにも対応可能】

新東独自の成形技術「浸透Vプロセス」で大型形状品や複雑形状部品の一体成…

浸透Ｖプロセスは、鋳造で用いられている「Vプロセス法」をセラミックスの成形に応用した技術で、 大型で複雑形状の部品をセラミックスで高品質に製作できる鋳込み成形技術です。 セラミックスの特性を活かし、半導体、FPD、電子部品をはじめとした製造／検査装置の部品から 超精密測定器具など、様々な分野で高い評価を得ています。 お客様の用途や課題に合わせ、材質選定からご提案いたします。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 新東Vセラックス株式会社

【製作事例】アングル構造のフレームを板金で【SPCC】

【半自動溶接】設計提案により板金曲げ構造に変更【t3.2】

3.2mmの板金「SPCC」を加工し、白の塗装で仕上げた製品です。 元々はアングル構造のフレームだったものを、当社の設計提案により板金曲げ構造に変更しました。設計変更により、材料費および溶接時間の大幅な短縮を実現しました。製作に時間やコストがかかる製缶製品を短納期かつ低コストで製作し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社小林製作所

超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ

アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロパーツ，サブ…

LIGAプロセスは，高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つメタル構造，レジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ASICON

セトラ社　腐食性ガス対応　微圧センサ　２０１

接ガス部はインコネル６００シリーズとＳＵＳ３１６を採用し全溶接構造で堅…

モデル２０１は耐食性の微差圧トランスミッタです。 接ガス部は全溶接構造でリークの心配がない構造になっています。 接ガス部の材質はインコネル６００シリーズを採用、継手部はＳＵＳ３１６を採用して耐腐食性に優れます。ローコストで微圧の計測を行う事が出来ます。 補償温度範...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

継手緩み防止『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』

当社独自の構造による確実な締結力！配管施工後でも脱着が可能な使いやすさ…

『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』は、ボルト1本で締結する構造 となっており、配管施工後でも脱着が可能な継手です。 ボルト締結時、継手が締まる方向に回転する当社独自の構造により、 取付方による継手の緩みは発生しません。 半導体用材料容器搬送時の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高硬度フラッシュめっき『クロアモール』

硬質クロムめっきの約２倍の硬度(HV1800)を実現した、世界初のアモ…

世界初のアモルファスクロム「クロアモール」は2〜4%の炭素を含むクロム系合金めっきで、膜厚3～4μと薄いながらも高硬度と優れた耐摩耗性を兼ね備えています。 【特徴】 ●アモルファス構造を有し、通常の結晶構造のめっきとは異なる特性を有する。 ●熱処理により、硬度が硬質クロムめっきの約倍の最大Ｈｖ１，８００にまで達する。 ●400℃で急激に軟化し600℃ではHv200ほどの硬さし...

メーカー・取り扱い企業： オテック株式会社

はんだペースト印刷機【多彩な印刷形態を実現！】

圧入方式だからできる多彩な印刷形態を実現した、はんだペースト印刷機！ …

実現することだけを追求した印刷機です。 独自開発の圧入型スキージユニットを搭載し、高密度パターンから大口径 厚膜印刷まで様々な印刷ニーズに対応可能です。 （主な特長） ●外気と遮蔽された構造のカートリッジ内にはんだペーストを収納している ので酸化等の劣化を抑止できます。 ●カートリッジ内のローラーシャフトの回転圧力ではんだペーストをマスク 開口内に確実に充填します。 ●...

メーカー・取り扱い企業： 谷電機工業株式会社

ホース用継手「カンタッチ」

漏れない、抜けない、外れないホース用継手。２０年以上の信頼と実績があり…

【特長】 ・独自の密着構造でホースをしっかりホールドし、圧力や振動による緩み、水漏れ、ホースの抜けを防ぎます。 ・継手本体とホース差込部が分離している為、ホースの付け替えや他のラインとの入れ替えもカンタン。 ・ホースバン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

ロータリー式ベーキング装置

ロータリー式ベーキング装置

当社が開発したロータリー式ベーキング装置、ムーブ・スカイは縦型炉構造のため設置面積を大幅に縮小しました。各ステージの仕切り壁により昇温時間の短縮、温度分布の向上、熱効率の改善を実現できました。また従来型タイプよりも搬送トラブルが減り、投入・取出しはラインとの組合せが...

メーカー・取り扱い企業： 木田精工株式会社

薬液供給装置

装置組込み式制御盤を搭載！薬品メーカーの原液ポリタンク又は、CCSSか…

、薬液と純水を自動調合します。 また、調合されたHFは供給タンクに貯蔵され、供給要求信号にて、 ユースポイントへ自動供給します。 【主な仕様】 ■本体フレーム：軽量型鋼溶接組立、一体構造焼付塗装仕上げ ■外装色：アイボリーホワイト ■外装被膜：PVC ■構造：本体ドラフト構造、前面、背面、PVC透明パネル ■供給薬品：HF（収納部クリーンエア供給機能付） ■制御部：装置組...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学

マイクロヒーター

マイクロヒーターは配管などに容易に巻きつけ可能で、真空中でも使用可能で…

マイクロヒーター（細管ヒータ）は、液体や気体などの被加熱物に直接触れる構造で加熱することが可能です。 主に配管巻き付け、溝に埋め込み、熱板、真空中の加熱などに使われています。 形状は、取付装置や部品に合わせて自由に設計可能です。 新日電熱工業株式会社では、熱効...

メーカー・取り扱い企業： 新日電熱工業株式会社

横河ブリッジ独自の制振技術

装置の振動でお困りなら横河ブリッジにご相談下さい！

様々な装置に振動が発生しますが、精密装置においては 振動が精度やスループットに悪影響をおよぼします。 当社は、このような振動問題を解決する方策として 一般的な溶接構造よりも高い減衰性能を持つ「高減衰構造体」を提供しております。 装置の振動でお困りの方は、当社に一度ご相談ください。 ※高減衰構造体の詳細は、下記リンクをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社横河ブリッジ アドバンストエンジニアリング事業部

量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』

サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有し…

当社が取り扱う量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』を ご紹介します。 シンプル構造で低価格を実現。 〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております。 4inサイズの「ALA410」と、8inサイズの「ALA810」をご用意しています。 【特長】 ■高い汎用性（〇...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

気体加熱用特殊ヒーター「クリーンホットヒーター」

特殊な内部構造により断熱材不要！高効率、高速昇温！クリーン加熱 (特…

ジング外面の低温化を実現したことにより公害の原因となる断熱材が不要となりました。 同時に、熱効率が良くなった結果、気体加熱時間が短縮され短時間昇温を実現しました。さらに、ヒーターハウジング内の特殊構造により、ガスの流速を大きくとることができるので、ヒーター電力の密度を高く設定することが可能となり、大容量のシーズヒーターを組み込むことができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク

ASMPT製マルチレーザダイシング　ICA1205

ICA1205は､マルチビーム構造を採用したマルチレーザーダイシング装…

マルチレーザー構造により、以下を実現 ・より細く切断が可能 ・切断時の温度を抑える ・基盤にかかる衝撃を抑える アプリケーション：RFIC、ディスクリート、Thin Wafer、LED、MEMS、 ...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

精密スピンコーター

進行状況をグラフで表示する事のできる機能「グラフィックファンクション」…

特徴 ●小型で安価、ラボ用途に最適 ●回転数の変化をリアルタイム表示「グラフィック・ファンクション」 ●回転数最速8000rpm ●内部構造はユニット化され、メンテナンスが容易 ●100ステップ/プログラムを任意に設定...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

程」を「超臨界二酸化炭素で置換する工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるめ、処理時間の短縮が可能です。 ●ヒーター・自動圧力調整...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レクザム 香川工場

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

す。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫 ・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます ・半導体装置用のクリーンルーム用途を目的とした低発塵性タイプを用意 ・フレキシブルで脱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

小型圧力ゲージ　ＰＧ−２０

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ

LEDデジタル圧力表示 ■配管の方向に合わせて表示部の回転が可能 ■スイッチ出力（NPN／PNP）、電圧出力、電流出力の選択が可能 ■センサ素子と継ぎ手は電子ビーム（EB）溶接による一体構造 ■RoHS指令に対応・CEマーキング適合、UL認証取得予定 ＜主な仕様＞ 1.定格圧力レンジ：0.5MPa、1MPa(正圧／連成圧) 2.使用温度範囲　：-10〜50℃(動作...

メーカー・取り扱い企業： ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

・ハウジング として一体化されており、ケーブル配線の煩わしさやスペースの問題からから解放されます。 インペラの回転数を電子回路により精密に制御されますので脈動がありません。 脈動の無いバルブレス構造ですので、インラインの昇圧が可能です。 制御システムはPI機能を有しており、各種センサー類を用いて、クローズドループの流量或は圧力一定制御をより簡単に構築できます。...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

UV完全カット防虫LED蛍光灯『X-powerシリーズ』

食品工場や半導体製造装置工場向けLED照明。交流用仕様と直流用仕様両方…

ーで防水仕様　 取付簡単でコンパクトな形　 機械の中に採用すると見た目も性能も抜群 大手機械メーカー採用事績 10型、20型、40型三種類の長さで様々な機械に対応できる。 埃の溜まりにくい構造で、錆も発生いたしません。 防虫効果　紫外線カットで防虫効果があります。 低温で即時点灯　低温空間で即時点灯可能です。本体には耐気体性があり、製薬工場、化学薬品・化学物質工場等にも使用可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電費半分 本社、埼玉営業所

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

医薬、半導体プロセスに適しています。 ■バイアス圧力を加えると、高圧仕様で使用できます。流体圧力が０．２５Mpa以上の場合は、バイアス圧をかけてください。 ■ディスク部は、ネジ込み・キャップ構造で簡単に交換ができ、シールは安心・長寿命です。 ■ディスクはシート面であるためダストが発生しません。 ■常温タイプの駆動部は硬質PVCでカバーされている為、雰囲気の良くない場所に設置可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

ついて、 最高クラスの性能を有しています。 【特長】 ■SEMI Standard E154 ■可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、 　パーティクル性能を向上させた構造 ■マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能 ■FOUP ドック時の障害物検出機能を搭載 ■FOUP 在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載 ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

エアーナイフ（エアーノズル）

切れ目のない均一エアー吐出ノズル。長さはミリメートル単位で自由自在

●シンプルな構造で優れたエアー吐出性を確保しています ●長さはミリメートル単位で自由自在 ●短納期、低価格で提供します 【特長】 ◆コンプレッサー工場エアー用、および送風機ブロワー用等、 　各種ノズル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒートテック

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

磁場型マイクロ波励起イオン源 【特徴】 ○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる ○プラズマ室は高純度アルミナ製で 　金属汚染の少ないイオンが得られる ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高真空装置に使用可能 ○加速用高圧電源（オプション）の使用により、イオン加速が可能 　（ラジカル源、プラズマ源としての使用も可能） ○マイクロ波は同軸ケー...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

Parker 計装用ボールバルブ

パーカー製 2 方 B シリーズのボール・バルブ

• 自由浮動のボール・デザインによりシートの耐摩耗性を補強 • 316 ステンレス鋼および真ちゅう構造が利用可能。合金 N24135 および N30002 構造もご要請に応じて利用できます。 • 精密仕上げのボールによる高い密閉性 • 直線の流路で圧力低下が最少 • 両方向使用可能 • 様...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。 半導体デバイスの不良解析...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

オートモールディング装置「Across R2-60」

オールビュー＆簡単アクセス！サーボクランプ60tonのオートモールド装…

0」は、オールビュー＆簡単アクセスのオートモールディング装置です。 対応リードフレームは幅80mm×長さ280mmで様々な成型品に対応、コンバージョン時間30分/1人です。 大型カバー＆シンプル構造＆簡単メンテナンスです。 【特徴】 ○サーボクランプ：60ton ○異種パッケージへの対応（コンバージョン） ○斬新なデザインと回転テーブル構造 →プレヒータと下ゲートブレーク盤をテー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ.エフ.ティ

パネルマウント用継手「パネルタッチ・トップタッチ」

パネル面に穴を空け、ビス留めするだけで簡単に取付けができるパネルマウン…

ねじ込み継手などの配管部品をパネルに取り付けることが出来るフランジ付きソケットです。 溶接不要で配管したいパネルに穴を開けるだけで取り付けが可能。ボルトによる取り付ける構造のため取り付けや取り外しが簡単でメンテナンスもスムーズに行えます。 サイズ（インチ）：1/4, 3/8, 1/2, 1 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 　従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

比抵抗率計

取付時間の短縮によるコスト低減につながります。

(株)ピュアロンジャパン製 比抵抗率計です。 セル本体はケーブルとコネクタ接続方式になっており配管などへの取付作業時にケーブルが邪魔になりません。セル部の構造はボディと外極部とが一体構造になっており内部への液侵入などの心配もございません。トランスミッター部は従来品と比較し小型・軽量化を実現しており、セル部とはコネクタ中継による接続方式になっておりますので...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

薄型XY軸ステージ（石定盤）

薄型XY軸ステージ（石定盤）

リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 　上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

空気作動式ＰＴＦＥバルブ

空気作動式ＰＴＦＥバルブ

オープンボール構造により、流体の停滞と溜まりをなくす自己排出デザイン。バルブからのパーティクル発生を最小化。改良された流動体力学による圧力降下を少なくし、低い上流圧に対応。 1/4〜1-1/4の豊富なサイズ。手動バ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

高精度リニヤステージ　透過型ステージ

高精度リニヤステージ　透過型ステージ

ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成 ○裏面のスペースも十分確保 ○高剛性ながら、安価 ○軽量化が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

千住金属工業　リフロー炉 SNR-850MB

マイクロボール専用微風循環式N２リフロー炉

【特徴】 ○遠赤外線＋微風熱風循環方式により効率の良い加熱を実現 ○加熱部フラックス回収機構搭載でクリーンな炉内状態を保つ ○さらに効率を上げた新断熱構造により低消費電力・CO２削減 ○機密性の高いマッフル構造で炉内酸素濃度全ゾーン100ppm以下に管理可能 ○冷却部には冷却用チラーユニットを標準内蔵 ○300mmシリコンウェハーの搬送治具に対...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

ウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ガス加熱用高効率ヒータ『WEXシリーズ』

小型・軽量で高効率！熱電対、サーモスタットを標準装備し、IN/OUTの…

準装備しており、結線も簡単です。 標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズで、 1/4～1/2サイズまでの入口/出口サイズに 対応します。 【特長】 ■WEP菅のみ使用したクリーンな構造 ■小型・軽量で高効率 ■熱電対、サーモスタットを標準装備 ■IN/OUTの継ぎ手は変更可能 ■SS / S / M / L の4サイズを展開 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

【真空加圧装置シリーズ】様々なシーンで活躍中

積層・貼付、接着・接合、含浸など様々な用途に！カスタマイズ可能な加圧装…

扱う『ミカド真空加圧装置シリーズ』は、独自の均圧システムを 用いることにより、高精度な2D加圧（平板加圧）が実現しました。 体積を小さくすることにより、素早い真空引きが可能。また、放熱ポスト構造 （国際特許）を採用し、熱の影響範囲を限定させることにより、均一温度及び 昇温冷却時間の短縮、省電力を可能にしました。 積層・貼付をはじめ、接着・接合、転写、封止・ラミネート、成形、含浸な...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社