【空冷式】高性能シリーズ 空冷リモートコンデンサータイプ

PRヒートショック試験装置の排熱や、冷却水トラブルでお困りではありませんか…

[こんな事でお悩みはありませんか？] ■装置の排熱で設置環境の室内温度が上昇してしまう。 ■装置を導入したいが冷却水設備が無く、イニシャルコストが高く導入できない。 ■冷却水設備のメンテナンスコスト低減や水質管理の手間を省きたい。 ■冷却水の水質に問題がありトラブルが多発し、稼働率が低下している。 日立なら空冷リモートコンデンサー（室外機）を外に設置する事で ・冷却水設備が不要！ ...

メーカー・取り扱い企業： 日立グローバルライフソリューションズ株式会社

トリミングマシン『AD-CS600シリーズ』

PRフルカット・ハーフカット両方に対応した高精度トムソン（ビク）打抜き機

トリミングマシン『AD-CS600シリーズ』は、ワンショット（1回抜き）と多段（順送打抜き）両用の耐久性に優れたハイパワーモデルです。 トムソン型・ピナクル型どちらも全機種対応。 幅広いサイズや厚みに対応できる製品をラインアップしております。 材料・型を持ち込んでいただき、デモ機で試し抜きをすることも可能です。 【特長】 ■タッチパネルで送り移動量・ドブを設定でき、パターン登録は...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社若宮エンジニアリング

化合物半導体用電極膜アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

横型石英管タイプを標準とし４００～１０００℃程度の加熱に対応しています。 ４～６インチウェハの本格量産用途に対応した縦型タイプ（ウェハ自動搬送機構付）と４インチ以下のウェハに対応した横型タイプの２機種をラインナップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉2000℃

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用超高温ウエハーアニール炉。 ◆主な特徴◆ ・セミオート：真空・パージ（3 cycle）〜 ベントまでを自動シーケンス制御（標準） ・手動プロセス圧力制御（標準）：手動ベローズバルブ調整 ・有効加熱範囲：φ4-φ8inch（その他サイズ可能） ・高真空対応（ターボ分子ポンプ） ◆オプション◆ ・フルオート自動プロセ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

６インチウェハ対応の石英管の横型炉を標準とし、8インチ、縦型炉がオプション対応 高真空排気系も装備可能で、より純度の高い還元雰囲気熱処理が可能。 実績豊富な機器構成に加えボートローダーやデータロギング機構などの周辺機器も豊富にラインア...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品　高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わせて小型からラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用真空半田付装置（蟻酸対応タイプ）

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…

誇るバッチ式真空半田付装置を本格量産用に展開。 従来のＨ２雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。 車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。 社内デモ機によるプロセスサポートと柔軟なハード対応で要求に対応。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…

◉ キャパシタンスマノメータ（バラトロンゲージ）による高精度APC圧力制御 ◉ Lab Viewソフトウエア（オプション）によるリモート制御, データ解析 【主仕様】 ◉ Φ2.5inch（標準）Φ4inch x12inch石英反応管内 ◉ 最高使用温度1100℃ ◉ 試料サイズ：10x10mm, （Φ2.5inch）100 x 100mm（Φ4inch） ◉ PID温度コントロール...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…

熱蒸着（最大2）、有機材料蒸着（最大4） ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール ◉ APC自動圧力コントロール ◉ MFC搭載高精度プロセス制御 ◉ Arガス1系統（標準） + N2, O2 最大3系統まで増設 ◉ USB端子付 Windows PCに接続し、最大1000layer, 50filmのレシピを作成・保存。PCでデータロギング ◉ 他、多彩なオプショ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標準装備。短タクト処理を実現。 拡張機能により６インチウェハまで対応。 水素雰囲気還元熱処理に加え高真空アニールや減圧中ガスフロー熱処理等各種モードの処理が可能。 社内実験機で大気圧水素アニールに...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。 長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した加熱プロセスを提供。 標準バッチタイプの評価を基にインラインタイプへのシステムアップが容易 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高真空アニール装置 「SAF-52T-II」

生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。

振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 W460×D350×H35mm の加熱棚が左右計10段、170×134mmの標準トレーを最大60枚収納可能です。 【特徴】 ○独立して稼動可能な処理室を2室有している ○生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れる ○効率的なサイクルタイム/全自動による省力化 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

高温工業炉　タングステン・モリブデン部品

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

1000℃以上の工業炉に於ける長い経験とノウハウを持つプランゼーは、 ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供いたします。 【製品】 ●標準素材製品（板、箔、棒、ワイヤ） ●レーザー、ウォータージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

活性化アニール炉『VF-3000H』

R&D～量産まで使用可能！3～6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉

ミニバッチ、50枚処理、R&Dから量産ラインに対応 ■3～6インチまで幅広いウェーハサイズに対応 ■炉内は当社独自のメタルフリー構造 ■ウェーハ近傍の温度モニターが可能 ■N2ロードロックを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

金属ナノペースト焼結接合対応真空半田付装置

神港精機の真空半田付装置に新型登場　優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制…

実績豊富な標準バッチタイプ真空半田付装置の性能・処理能力を一段と向上 処理寸法３５％以上拡大。常用処理温度も１００℃以上アップ。 量産に対応した新型真空半田付装置。 真空置換＋水素還元雰囲気処理で低温・焼結...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応…

安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用超高温ウエハーアニール炉。 ◆主な特徴◆ ・セミオート：真空・パージ（3 cycle）〜 ベントまでを自動シーケンス制御（標準） ・手動プロセス圧力制御（標準）：手動ベローズバルブ調整 ・有効加熱範囲：φ4-φ8inch（その他サイズ可能） ・高真空対応（ターボ分子ポンプ） ◆オプション◆ ・フルオート自動プロセ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

熱処理炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

1000℃以上の工業炉に於ける長い経験とノウハウを持つプランゼーは、 ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供いたします。 【製品】 ●標準素材製品（板、箔、棒、ワイヤ） ●レーザー、ウォータージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

電気炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

1000℃以上の工業炉に於ける長い経験とノウハウを持つプランゼーは、 ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供いたします。 【製品】 ●標準素材製品（板、箔、棒、ワイヤ） ●レーザー、ウォータージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

焼鈍炉　『ヒーター　リフレクター　シールド　キャリア』

タングステン・モリブデン製ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータ…

1000℃以上の工業炉に於ける長い経験とノウハウを持つプランゼーは、 ホットゾーンの設計からメンテナンスまでトータルサービスを提供いたします。 【製品】 ●標準素材製品（板、箔、棒、ワイヤ） ●レーザー、ウォータージェット、ワイヤー放電によるカット品 ●炉体ホットゾーン、ヒーター、輻射熱遮蔽シールド、炉床、HIPシリンダー ●チャージキャリア、トレー...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社