高効率プリント基板搬送システム【GENIUS】

PR【GENIUS】は搬送、製品のバッファリング/アキュームレーション等様…

FlexLink が提供します【GENIUS】高効率プリント基板搬送システムは、製品範囲全体に標準アセンブリ機能を組み込んだ プリント基板ハンドリング ユニットの完全なラインを提供します。 すべてのモジュールは CE マークを取得しています。 【GENIUS】基板搬送システムには完全に独立したモジュール式のスタンドアロン ユニットが組み込まれています。 各モジュールにはオンボード制御システムが搭...

メーカー・取り扱い企業： ジーディー自動機械株式会社 フレックスリンク事業部

サーマルプリンタ新商品情報満載の2024年度カタログ無料配布中

PR組込み型タイプ、卓上タイプなど各種サーマルプリンタをラインナップ。

小型高性能、高信頼性プリンタを取り揃えた、総合カタログ2024年度版を進呈！ 【掲載例・新商品】 ■高品位チケット/ラベルプリンタ『NP-3B11U』 　300dpiの高精細印字に対応する、チケット/ラベルプリンタ ■高速印字レシート/チケットプリンタ『NP-3C11DK』 　最大350mm/秒の高速印字を実現する、レシート/チケットプリンタ ■高信頼性レシートプリンタ『NP-3911E』 　E...

メーカー・取り扱い企業： 日本プリメックス株式会社

標準バッチバッチタイプ蒸着装置（ＡＭＦシリーズ）

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…

半導体・ＭＥＭＳ・各種電子部品（センサー、水晶振動子等）の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。 蒸発源・加熱温度・基板機構（プラネタードーム・公...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセットアップ ■有機ELディスプレイにより高視認性 ■16種類のガスに対応 ■フィラメ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

ロック室間は手動の搬送機構で操作可能。 排気操作は前面のタッチパネル(PLC)により操作できます。 【特長】 ■排気シーケンスはPLCにて制御可能 ■金属の蒸着はボート式とルツボ式を標準搭載 ■膜厚計は3センサーを標準搭載 ■金属蒸着源はボート式とルツボ式を標準搭載 ■蒸着室はメンテナンスが容易な防着板を標準搭載 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

６連式電子銃と移動式多元抵抗加熱蒸発源を装備したバッチ式高真空蒸着装置 標準ウェハプロセス対応蒸着装置よりチャンバ径をコンパクト化し小径ウェハに対応。 リフトオフプロセスに対応した垂直蒸着用の公転ドームと大量処理用の３面プラネタリー自公転ドームの切替使用が可能。 基板加...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…

真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bitで、アナログ出力が標準装備されています。標準6MHzの水晶振動子に対応し、Webで使用可能なユニットを採用しています。 また、この蒸着用モニターに使用可能な「水晶振動子」も販売しております。 詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

直動形電磁弁

直動形電磁弁

小形４ポート３位置　直動形電磁弁 真空吸着、真空破壊制御に最適 応答時間　２ms 作動回数　５億回超 禁油仕様標準、安定作動、異物トラブル防止 真空・正圧の両用可能、大流量、インターロック回路標準...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

2次元抵抗加熱蒸着装置

蒸着源はボートタイプ！基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任…

系は、DPとRPを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。 【特長】 ■SUS製上チャンバーには、CF70ポートが2式、50φの窓が2式、 　又下チャンバーはCF70ポートが6式標準装備されている ■上チャンバーは電動にて上下する機構を有している ■標準で膜厚計を装備するとともに、ガス雰囲気にする事も可能 ■2元の材料を簡単に蒸着出来る ※詳しくは外部リンクページを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

『研究開発用真空蒸着装置』は、 大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。 コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を 基本構成とした簡易実験型の2機種をラインアップしています。 両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な 仕様対応が可能。デモ機を常設し、サン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」

シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。

が可能です。 シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。 【特徴】 ○シンプルな設計で簡便性を重視 ○フラックスレートモニタリング用電極付 ○手動式シャッター機構を標準装備 ○ロッド状材料とルツボのどちらも設置可能 ○材料は移動機構機構により位置調整が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

環境対応はんだ付材料『次世代表面実装ソルダーペースト』＋装置『鉛フリーはんだ対応エコリフロー炉』

保存・供給安定性、濡れ性、耐熱性等の問題点を解決！次世代環境対応！

高品質なはんだ付けを実現。 □特長 ・新開発ドラゴンブローシステムにより、超低ΔＴが実現 ・ヒーター毎の温度設定が可能で設定自由度が高いプロファイルが可能 ・最新式のフラックス回収機構を標準装備し、炉内のベト付きがほぼ無し ・気密性の高いマッフル構造で炉内酸素濃度５００ｐｐｍ以下を維持 ・高効率断熱構造により、省電力エネルギー ・高品質なはんだ付けを実現...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

転型、直線型 →ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまで ○電子銃電源及びアクセサリー →3kWから20kWまで計10機種の豊富な品揃え →スイープ電源を標準装備 ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー →蒸着コントローラ Model 880 　標準で2センサーの同時計測が可能、8センサーまで拡張可能 →膜厚/レートモニタ Model 855 ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを…

【その他の特長】 ■スキャニングRHEEDを標準装備 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■完全コンピュータ制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

成膜プログラム自動制御 ・30種類のレシピ登録 ・高精度ワイドレンジ真空ゲージ ◉豊富なオプション ・基板回転 ・上下昇降 300mmストローク ・基板シャッター ・ドライポンプ（RP標準） ・USBでWindows PCに接続、ログの保存管理...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

簡易実験用蒸着装置（ＥＭ－６４５型）

シンプル　コンパクト　高機能　実験、基礎研究に最適　ユーザーニーズに応…

標準２元の抵抗加熱蒸発源を装備した全手動型蒸着装置。 Φ２～３インチウェハから特殊基板まで柔軟に対応。 蒸発源追加、同時蒸着、基板冷却・高温加熱機構等豊富なオプション 社内デモ機にてサンプルテスト対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…

熱蒸着（最大2）、有機材料蒸着（最大4） ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール ◉ APC自動圧力コントロール ◉ MFC搭載高精度プロセス制御 ◉ Arガス1系統（標準） + N2, O2 最大3系統まで増設 ◉ USB端子付 Windows PCに接続し、最大1000layer, 50filmのレシピを作成・保存。PCでデータロギング ◉ 他、多彩なオプショ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

横型蒸着装置

両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…

小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績豊富な独自機構で対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

ec以下 構成部材 ハウジング：SUS316L(電解研磨処理)　　内面粗度：Rmax0.5μm以下 フィルターメディア：PTFE　　サポート：PFA 継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置　Sapio-DBR

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

【標準装備】 ○超高速排気系 ○EB-GUN　×2式 ○RFイオンソース ○ファイバー式光学式膜厚計 ○6連水晶式膜厚計 ○ハロゲンヒーター（120℃±5℃内） ●詳しくはお問い合わせ、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

1軸/2軸トランスファーロッド

UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトラ…

【仕様】 ■ストローク（XXXX） 　・500 　・750 　・1,000 　・1,250mm 　・特注⾧（最大：1250mm） ■リトラクト⾧（YYYY） 　・標準：30mm 　・特注⾧(10-200mm ) ■駆動軸径（内側軸/外側軸） 　・φ8g6 (先端部：M4ネジ) 　・φ12h6 ■直進力：70N ■回転トルク：5Nm ■取付フランジサ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

無料プレゼント！『蒸着装置の総合カタログ』

太陽電池や有機デバイス、バイオ系の用途に！蒸着装置の総合カタログプレゼ…

【ラインアップ】 ■E-80 ■E-100J ■E-100 ■E-110 ■E-120 ■E-150LL ■E-200（標準） ■E-200レボルバー仕様 ■クラスター　など ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

分子線エピタキシー（MBE）装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

蒸着源には、弊社製金属蒸着セル（KMD-Cell）を搭載しております。また、他社製蒸着セルの搭載も可能であり、ご指示頂きました蒸着セルをご選択可能な設計をしております。超高真空対応に、標準にて液体窒素用シュラウドを装着しております。基板加熱・回転機構を装備しております。窒化物半導体や酸化物半導体は、RFアトムソースを接続する事により、成長可能です。また、蒸着チャンバーを複数ドッキング...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

LUXEL社製　抵抗加熱蒸着源(エバポレータ)　RADAK

有機物蒸着にも対応。　コンパクトで取扱いが簡単な、抵抗加熱蒸着源

されており、既存の蒸着装置への導入が可能。コンパクトで取扱いが簡単なため、実験用に最適です。 また、用途にあわせて、ルツボ、ライナー、熱電対などのオプションをお選び頂けます。 ※アルミナルツボを標準でご提供しています。 ★ラインナップ★ ●RADAK１…　小型サイズ（1cc） ●RADAK２…　中型サイズ（10cc） ★特長★ - 高純度金属、セラミックで構成 - ...

メーカー・取り扱い企業： ラドデバイス株式会社

『真空機用導入機シリーズ 総合カタログ』※無料進呈中

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…

当社の「導入機シリーズ」は、完成度と自由度の高い標準規格品を多数取り揃えており、 組み合わせにより研究開発者の多様なニーズにお応えすることができます。 全ての製品はアウトガス低減対策を施しており、実験環境を妨げることなく高精度・高再現性を実現しま...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

有機材料（有機EL）成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

有機材料成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが同部屋に標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。また、グローブボックスへ接続可能なシステ...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

応。 ・最大基板サイズ：Φ10inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4源 ・有機蒸着源 x 最大4源 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4源 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ（標準500℃, Max1000℃） ・*プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング ・CVD（熱CVD, PECVD） *プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーいずれも...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『nanoPVD-T15A』

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

成膜プログラム自動制御 ・30種類のレシピ登録 ・高精度ワイドレンジ真空ゲージ ◉豊富なオプション ・基板回転 ・上下昇降 300mmストローク ・基板シャッター ・ドライポンプ（RP標準） ・USBでWindows PCに接続、ログの保存管理...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

応。 ・最大基板サイズ：Φ10inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4源 ・有機蒸着源 x 最大4源 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4源 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ（標準500℃, Max1000℃） ・*プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング *プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーいずれも設置可能...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

い。 ・最大基板サイズ：Φ10inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4源 ・有機蒸着源 x 最大4源 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4源 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ（標準500℃, Max1000℃） ・プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社