光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』

PR輝度回復と歩留まり改善。光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』な…

＼非接触で洗浄！／ 光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』は、デリケートな光学部材用の金型に付着した汚れをノーダメージで完璧に除去します。ガス焼け、樹脂汚れに対応。ナノ、ミクロレベルの汚れも逃さず除去します。 【従来の光学部材の金型メンテナンス】 ●綿棒やスワブなどを使って手作業で行う ●キズがつきやすいため細心の注意が必要 ●充分に汚れが取れないことも ●有機溶剤を使用する...

メーカー・取り扱い企業： ソマックス株式会社

工業用空気清浄機『粉じんやホコリによる生産現場の歩留まりを改善』

PR独自メンテで空気品質を長期保証！コンタミ対策やクリーンルーム相当の環境…

きれいな空気は健康、生産効率、品質に大きな影響を与える大事なものです。 当社の工業用空気清浄機（エアクリーナー）は 自動車工場、フォークリフトが動く物流倉庫、清潔な環境が求められる食品工場など 室内空気の品質管理が必要なエリアに向けて開発されました。 【このようなお悩みはありませんか？】 ◆研磨やブラストなどで発生する粉じんによる製品の歩留まりを改善したい ◆粉じんが流入しやすい環境近くの詰所、...

メーカー・取り扱い企業： クリーンエア・スカンジナビア株式会社

熱流体解析サービス

貴社業務推進を解析技術でご支援します

、様々な設備の設計やトラブル対応を 解析技術で支援してまいりました。 流体解析の豊富な経験を活かし、貴社の生産性向上をご支援いたします。 例えば・・・ ・焼成炉の温度ムラ改善による歩留まりの向上 ・撹拌槽スケールアップ検討における混合性の確認 ・熱媒のショートパス、滞留改善によるエネルギー効率改善 ・装置追加に伴うクリーンルーム内気流の確認 ・VOC排気方案の変更による作業...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇部情報システム

【分析事例】液晶パネルの異物・汚れ成分の同定・推定

ミクロンからセンチオーダーの異物・汚れをイメージとして捉えます

液晶パネルの量産化において、欠陥（異物・汚れ)を除去することが求められています。そこで、原因となる異物・汚れが何に起因するか調査することは、歩留まり向上に有効です。 液晶パネルの異物・汚れを評価した事例を紹介します。TOF-SIMSではμm～cmオーダーの洗浄残渣をイメージとして捉えることが可能です。また、標準スペクトルとの比較により、成分...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】成膜成分のウエハ裏面への回り込み評価

ベベル部近傍にて金属成分の定量的な評価が可能

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点からウエハ裏面に残留する金属を除去することが求められており、金属成分の残留量を定量的に把握することが重要です。 ベベル部から500umの範囲で裏面に残留する金属濃度分布を調査するため、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価

金属成分と有機成分を同時に評価可能です

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点から、ウエハの裏面の清浄度向上に加え、ウエハのベベル部に残留する物質を除去することが求められています。今回、ベベル傾斜面のTOF-SIMS分析を行い、汚染の分布を評価しました（図2）。ま...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST