フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。 【掲載内容】 ・フッ素薄膜処理とは ・真空蒸着法、スプレー法とは ・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

食品衛生法適合『AVS Romerフィッティング　総合カタログ』

PR食品衛生法適合の高品質・高性能のワンタッチ継手 流体の性質や使用温度…

当カタログでは、ドイツ・AVS Romer社製の高品質な継手製品群 『AVSフィッティング』の特長や仕様を分かりやすく紹介しています。 『AVSフィッティング』は欧州の食品機械内分野（特にコーヒーマシーンなど高温の流体を使用する機械）での採用実績が豊富です。 NSFやFDAの認証はもちろんのこと、日本の食品衛生法にも適合しています。 ワンタッチ（プッシュ・イン）型、フェルレス型から...

メーカー・取り扱い企業： サンワ・エンタープライズ株式会社

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

つばさ真空理研株式会社の『高耐食性Y2O3（酸化イットリウム）膜』についてご紹介します。 「Y2O3」を独自のイオンアシスト蒸着法でアルミナ基板上では15μm、石英ガラス上では10μmの密着性が高く、緻密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜を...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

回路形成材料　アデカエイフェススーパーシステム

自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理

回路形成材料「アデカエイフェススーパーシステム」は、専用エッチング液「アデカケルミカＴＦＥ－３０００シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現します。ピッチ２５μｍ以下ＣＯＦにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にします。自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により、安定したファインエッチングを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

イオンアシスト蒸着法によるYOF膜（酸フッ化イットリウム膜）は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることがで...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

エッチング加工

精密写真と写真腐食法の応用から生まれた技法！極小極薄・複雑形状の製品に…

は、マスキングによる防食処理を施した上で、 腐食液によって不要部分を除去するものです。 プレス打ち抜き加工では不可能だった超精密な要求にも対応できる、 極小極薄・複雑形状の製品に好適な加工法。 また「フォトエッチング加工」は、エッチング加工技術に 精密な写真技術・ 精密画像技術を組み合わせた精密加工技術です。 精密写真と腐食加工の応用により、エレクトロニクス製品などにおけ...

メーカー・取り扱い企業： 平井精密工業株式会社

優れた耐蝕性を発揮し、色鮮やかな表現が可能なアルマイト染色銘板

色鮮やかな表現が可能で安価なアルミ銘板！陽極酸化被膜（アルマイト処理）…

アルミニウムの平板の表面にアルマイト（陽極酸化被膜）処理を施し、写真焼付法で文字や線・図柄を表現する方法です。これにより、アルマイト層の中に染料が密封されるので、シンナーなどの溶剤にも侵されることなく、優れた耐蝕性を発揮します。 工作機械のＰＬ銘板、操作パネル、機械の説...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社

フォトエッチング技術／拡散接合

幅広い金属に対応可能！フォトエッチング技術の利点や拡散接合についてご紹…

エッチング』とは写真の原理を応用して、金属などの材質を 化学的に腐食させることで複雑・微細な形状を作り出す精密加工技術です。 極小・極薄・極細部品や特殊な形状の製品の製造に好適。その他の加工法 （レーザー、プレス、切削、電鋳など）に比べて様々なメリットがあります。 また当社は金属同士を貼り合わせる手法として、『拡散接合（固相接合）』 をお勧めしています。接合に接着剤やロウ材を使...

メーカー・取り扱い企業： ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社 本社

Ti系、Cr系コーティング膜選択エッチング液　チタピールシリーズ

切削工具、治具、金型の再コーティングの前処理として浸漬処理を施すことで…

ティング剥離剤です。 ＜チタピールCR＞ HSS(高速度鋼)切削工具等に使用される窒化クロム(CrN)、窒化クロムアルミ(CrAlN)等 のクロム系コーティングの 除去液です。従来の電解剥離法とは異なり、薬液に浸漬するだけで容易に除膜が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

アルミナ溶射材『SURPREX AW・AHP』

耐摩耗性、化学的安定性、絶縁性など優れた皮膜特性が得られるアルミナ溶射…

溶融-粉砕法で作製されたアルミナ溶射材料です。 耐摩耗、絶縁部品に使用されるホワイトアルミナ(AW)と、半導体、FPD製造装置などに使用される高純度アルミナ(AHP)を用意しております。 高純度アルミナ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド

高純度イットリア溶射材

耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末…

造粒焼結粉法で作製された純度99.99%以上の高純度イットリア溶射材料です。 イットリア溶射材は主に半導体、FPD製造装置に使用されるため高い純度が要求されます。 これに応えるためフジミでは厳密な品質管...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド

【加工事例】板バネをフォトエッチングで加工

低コストにて対応するために、エッチングで必要不可欠な原版も友取り・共用…

板バネの加工についてご相談をいただきましたので、ご紹介いたします。 お客様のご要望は、「低コスト対応が可能な加工法、エッチングでお願いしたい」 とのことでした。 お客様の抱えていらっしゃった問題点、小ロット対応などの他、小ロット試作の 短納期対応などにも対応。 製品の材質については、ステンレス（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピーワン

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

とにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似ウェハを処理して堆積物をコーティングすることによってチャンバ内表面状態を安定させる手法（エージング）が適用されていました。Y5O4 F7膜はY2O3膜に比べてプラズマ処理前後の表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージング時間を大幅に短縮し、装置稼働時間を上げることに寄与しま...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800

レーザーの温度制御に最適！

性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） 冷却能力：700～900W＠20℃(周囲温度20℃) タンク：0.8L 接液部材質：アルミニウムまたは銅・真鍮、ステンレススチール、ポリマー 外寸法：L480×W510×H270(mm) ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

アルマイトエッチング銘板 [レジストエッチング]

装飾性と耐久性を兼ね備えた銘板！！ シャープな表現が可能！！

アルマイトエッチング銘板とは、ネーミングの通りアルマイトとエッチングの技法を合わせた銘板です。エッチング部分（凹部）や素地部分（凸部）にアルマイト処理を施し、文字や図柄を表現する製品です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーホー 本社

サファイア製部品　Scube（エスキューブ）

広い透過特性、硬い、化学的に安定、熱に強い、熱伝導が良い サファイア製…

＊サファイア 　育成法：TSMG法・ベルヌーイ法など 　純度：≧99.99% 　サイズ：～300mm程度 　結晶系：三方晶系　（コランダム構造） 　格子定数：a=0.47588nm　c=1.2992 　融点...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信光社

低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） 冷却能力：420W＠20℃(周囲温度20℃) タンク：1.0L 接液部材質：アルミニウムまたは銅・真鍮、ステンレススチール、ポリマー 外寸法：L480×W530×H180(mm) ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

レーザー装置に最適！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！ 消…

温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） 冷却能力：420W＠20℃(周囲温度20℃) タンク：1.0L 接液部材質：アルミニウムまたは銅・真鍮、ステンレススチール、ポリマー 外寸法：L480×W530×H180(mm) ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

消費電力大幅削減！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

温度安定性：±0.05℃（無負荷または負荷一定時） 冷却能力：420W＠20℃(周囲温度20℃) タンク：1.0L 接液部材質：アルミニウムまたは銅・真鍮、ステンレススチール、ポリマー 外寸法：L480×W530×H180(mm) ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社