食品工場・厨房向け「排水用フジGRPパイプ」

PR高温排水や業務用洗剤による割れ、漏れでお困りではありませんか？ その…

排水用GRPパイプは、食品排水・医療排水に適したプラスチック製パイプです。 〈製品特徴〉 【1】高温に強い　　：使用温度は－10℃～100℃ 【2】薬品に強い　　：業務用洗剤にも使用可能 【3】熱で伸びにくい：天井吊り配管やピット配管で使用可能 　　　　　　　　　　 屋外で長期間使用しても割れを起こさない 【4】簡単な施工方法：バーコード式電気融着工法で、どなたでも簡単・確実な施...

メーカー・取り扱い企業： 富士化工株式会社

自動ボールバルブ｜空圧式自動高圧『BKH/DANシリーズ』

PR31.5MPaまで対応、サイズは1/4〜2インチ、材質は炭素鋼とSUS…

『BKH/DANシリーズ』は最高使用圧力が31.5MPa（※１）まで対応した空圧式自動高圧ボールバルブです。（耐圧が31.5MPa以上の自動ボールバルブもあるのでご相談ください） 高圧での使用を目的とし、配管上にて永久圧力損失がないフルボア構造を採用。 リミットスイッチ、電磁弁（防爆仕様も可能）などのオプションをご用意し、バルブのシール材を選定することで、幅広い使用目的に適しています。 建設機械...

メーカー・取り扱い企業： フローテック株式会社

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ 　・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致 　・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

精密洗浄用ブラシガン

精密洗浄用ドライクリーニングガン！　パルスエアーとブラシ振動のダブル効…

◆特殊ノズルが回転しながら噴射することにより発生するパルスエアーと、パルスエアーの回転により振動するブラシのダブルの効果で基板を強力に除塵します。 ◆エアーだけでは取りきれなかった小さな穴の削りカスも、パルスとブラシの振動で掻き出します。 ◆ブラシは毛の１本１本まで細かく高速振動するので、力を入れて押しつけなくても汚れを落とします。 ◆バリエーションとして自動ラインに組み込めるユニットタイプ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ガリュー

フォトマスク洗浄装置｜簡易型マスク洗浄装置TWC-302

「スクラブ洗浄＋リンス」＆「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装…

■主な特長 ・ワークの【スクラブ洗浄・リンス・乾燥】を一台の装置でスピーディーに実施。 ・スクラブ洗浄用特殊ブラシにてワークに傷を付けず、洗浄ムラなく精密洗浄可能。 ・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない設計。 ・少量多品種、R&D用途の基板洗浄にも最適。 ・乾燥は、ホット純水乾燥。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

精密部品洗浄装置（脱脂）

HDD用モーター部品（HUB・ケース等）の脱脂洗浄装置　構成例：洗剤＋…

本装置はHDD用モーター部品（HUB・ケース等）を脱脂洗浄する装置です。 構成：洗剤＋US（脱脂洗浄）→純水リンス＋US→温風乾燥→真空乾燥　用途に合わせ製作致します...＜主な仕様＞ 1.被洗浄物 　：　HDD用モーター部品（HUB・ケース等） 2.処理方法　 ：　専用バスケットによるDip処理 3.処理速度 　：　2.5min（2kg×4バスケット） 4.パスライン　：　FL+...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

洗浄装置『ダイレクトパス』　【電子基板のフラックス洗浄】

電子基板、電子部品のフラックス洗浄で実績多数！　狭い隙間の汚れを効率的…

ダイレクトパス洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。 強制液流により洗い辛い狭い隙間の汚れを効果的に洗浄可能です。 大手半導体、電子部品メーカー様に多数採用頂いております。 数10μｍの狭ギャップのフリップチップパッケージ、カメラモジュール 等の各種電子部品のフラックス洗浄に最適です。 【特長】 ○洗浄性、乾燥性 　特殊な液流により狭隙間、袋穴、束ねた板状物等の洗浄、乾...

メーカー・取り扱い企業： 荒川化学工業株式会社 ファイン・エレクトロニクス事業部

液中ジェット洗浄装置PINE JET【電子基板のフラックス洗浄】

電子基板、電子部品のフラックス洗浄に広く利用されている洗浄装置です！

液中ジェット洗浄機は各種電子基板用のフラックス洗浄装置です。 ワークへの負荷を抑え、ジェット噴流による高い洗浄効果が得られます。 大手半導体、電子部品メーカー様に多数採用頂いております。 インターポーザー、ハイブリットIC、パワーデバイス、etc 等の各種電子部品のフラックス洗浄に最適です。 【特長】 ○洗浄性 　ジェット噴流により効果的案洗浄が可能！ 　独自の整流機構によりム...

メーカー・取り扱い企業： 荒川化学工業株式会社 ファイン・エレクトロニクス事業部

フォトマスク洗浄装置｜PDP・大判フォトマスク用 TW-1000

スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で…

テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TW-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています｡...■主な特長 ・ワークの スクラブ洗浄 ・ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

UV(紫外線)表面処理技術の用途例 -洗浄と改質- ・パネル・ディスプレイ 製品　フラットパネル、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機EL 用途・効果 ガラス表面の有機系皮膜の除去、ITOと絶縁膜との密着度向上、ガラスとITOの密着向上、各種塗布膜の親水化 ・光学部品 製品　ピックアップレンズ、センサー、半導体製造用レンズ、水晶振動子 用途・効果 レンズ表面の有機系...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

多用途に実績豊富なプラズマクリーニング装置に新タイプ登場。 従来のプラズマによる表面洗浄機能に加え、水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。 今まで以上に表面酸化層の除去能力が向上し、クリーニング後の基板の親水性も大きく向上。 従来と同じプラズマクリーニングにも当然対応。さらに従来のＡｒプラズマクリーニングとの複合クリーニングやＯ２（酸素）クリーニングとの2段階ステップクリーニングなど新たなク...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

半導体製造装置　自動石英管洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…

較的短い石英管を縦にして石英管内外をジェット洗浄する装置 ○本体：鉄製フレームにPVC張り ○回転テーブル：往復回転 ○扉：内ドア、外ドア　2重扉 ○シャワーノズル →石英管内部及び外部洗浄用 →ブース天井及び外部洗浄用 →純水リンス及びN2ブローも同じノズル使用 ○小物洗浄槽：Nonメタル　PVC ○PH計：但しオート切り替えドレンはオプション ○操作盤：液晶タッチパネル ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ジャイロ研磨機『GS-100』

光沢用研磨石でバリ取り～光沢仕上まで！打痕なく、高度な仕上が可能

『GS-100』は、光沢用研磨石でバリ取り、光沢仕上、面向上など 幅広い加工が可能なジャイロ研磨機です。 研磨能力に対して、研磨石の磨耗が非常に少なく、他バレル研磨機と違い、 タクト運転による自動化がし易いです。 また、治具付することで打痕なく、高度な仕上が可能なほか、クーラント液を 循環して使うため、排水量を極端に抑えられます。 【特長】 ■幅広い加工が可能 ■研磨能...

メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工

カセットレス洗浄装置（ウェハー洗浄用）

ファインソニックを使用しダメージを与えずにパーティクルの除去が可能

＜特長＞ ・カセット接触部の洗浄ムラも解消。 ・少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。 ・消費電力を大幅にカット。 ・ 槽間移動時の薬液量を少量化。 ・ファインソニック（高周波発振器／振動子）を使用。ダメージを与えることなくパーティクルの除去が可能。 ...ロボット搬送がスムーズでチッピングが生じない、大幅なランニングコストの低減が可能。 しかもファインソニック使用で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に柔軟に対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

テフロン フッ素樹脂　PTFE　PFAの違いとは？　

【資料進呈中】テフロン フッ素樹脂「PTFE」と「PFA」樹脂やコーテ…

・代表的なテフロン フッ素樹脂”PTFE”と”PFA”の特長の違い ■樹脂名 　PTFE（ポリテトラフルオロエチレン） ■特長 　フッ素樹脂の中で最初に発見されて開発された樹脂です。連続使用温度が 　260℃で耐熱性のほか、低摩擦特性、非粘着性に優れています。溶融粘度が 　高く、射出成形は難しい樹脂ですが、フライパンやホットプレートなどの 　コーティングとしても利用されています。 ■樹脂名 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…

● 大気圧作動であるため真空システムが不要 ● コンパクト設計 ● 操作が簡単、メンテナンスが容易 ● 低コスト...UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

大型基板用全自動フォトリソ処理装置

フォトリソプロセス一貫処理が可能

■G8.5世代の超大型重量基板に対応します。 　◎対応基板サイズ：1.3m X 1.5m X15mm t ■フォトリソ一プロセスの一貫処理に対応。 　◎処理工程：LD⇒現像⇒エッチング⇒剥離⇒洗浄⇒ULD ■国内の複数メーカーに複数台の実績がございます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 枚葉式洗浄装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

高周波超音波洗浄機（メガソニック）　UMCシリーズ

精密洗浄に適する高い周波数洗浄機（500kHz、1MHzHz）----…

高周波数超音波洗浄機UMCシリーズは、精密洗浄に適する高い周波数（500kHz、1MHzHz）を利用した洗浄機である。UMCシリーズでは、500kHz型、1MHzHz型それぞれ２機種が用意されている。 UMCシリーズの特徴は、 １、デジタル式超音波発振器で、照射時間、出力モードの設定、および超音波出力の調整が簡単にできる。 ２、共振周波数自動サーチ機能付き、常に安定した超音波出力と高洗浄力を...

メーカー・取り扱い企業： 新科産業有限会社

【総合カタログ無料プレゼント】ディップコーター、ナノインコーター

実験・開発用卓上ディップコーター(ディップコーティング装置)、ナノイン…

◆◆今なら総合カタログ無料プレゼント中です。◆◆ 簡易(速度の可変で)に、低コストで、薄膜を均一にコーティングするディップ コーターや、離型剤を定着させるナノインコーターなど、薄膜コーティング技術の ディップ方式を、豊富なラインアップで、多くの分野に展開し用途に応じて選択できます。 様々なプロセスに対応する3次元タイプのナノスピードディップコーター、 両面同時に薄膜を形成することがで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。 【特長】 ・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。 ・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。 ・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。 【仕様】 ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200まで クリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター 洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

OLED用処理装置

処理速度は0.6～5.0m/min（可変）！有機EL製造ラインの洗浄装…

当社が取り扱う、『OLED用処理装置』のご紹介です。 有機EL製造ラインの洗浄装置を提供。 基板サイズは370×470×1.1を処理致します。 装置としては、受入洗浄・純水洗浄・現像装置・ハクリ装置・ Crエッチング装置・ITOエッチング装置で構成しています。 【主な仕様】 ■被洗浄物：ガラス基板 370×470 厚み 0.6～1.1t ■処理方法：枚用処理 ■処理速度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学

【評価用パターンウェハー】小ロット～カスタマイズオーダーまで対応

数枚の試作加工でも問題無く受け付けており、マスクの設計から断面の寸法測…

株式会社アイテスが取り扱っている「評価用パターンウェハー」「シリコンウェハー販売」「化合物半導体」をご紹介します。「評価用パターンウェハー」は、CMP/成膜装置/洗浄装置/各種素材の評価用として、様々な構造のテスト用パターンウェハーを作成。 数枚の試作評価でも問題無く受け付けており、マスクの設計から断面の 寸法測定に至るまで、非常に柔軟な対応に定評があります。 【特長】 ＜評価用パ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器事例「小型実験用チャンバー」

真空容器製作事例 《フレキシブルな受注範囲》 チャンバーだけでなくプラズマ電源、スパッタターゲット、回転導入機構等を含む ユニットとしての対応が可能 《幅広い製作範囲》 材料(SUS,Al,Ti他)、形状(角型、筒型、水冷他) 《グレードに応じた表面処理》 1、酸洗浄：低コスト 2、電解研磨：SMC洗浄、サスピカ、アルピカの高グレード対応可能 3、バフ研磨、各種めっき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

フィルム洗浄装置（ロールtoロール）

機能性フィルム・有機ＥＬ用洗浄装置

低速搬送によるディップ処理で処理部をコンパクトにすることが可能。 純水使用量やフットプリントを大幅に低減できます。 ...【ユニット構成】 処理幅：200～400mm 厚み：75～150ミクロン エキシマUV 超音波洗浄 ブラシ洗浄 2流体シャワー エアーナイフ乾燥 IR乾燥 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス

有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。

当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な 『研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、 基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。 KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で 水分、酸素量が1ppm以下に保たれる...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

有機EL自動洗浄装置（フィルム洗浄処理）

スマートフォン用精密部品・半導体デバイス・有機EL・自動車部品向け洗浄…

防爆仕様・有機溶剤使用・精密部品・スマートフォン付帯部品の洗浄...【装置構成】 ・自動搬送機構 ・ディップ洗浄 ・減圧乾燥システム ・防爆仕様 ・自動消火システム...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

ポストＣＭＰ／スクラバー用ＰＶＡブラシ

ウエハのポストCMP洗浄に最適！特殊洗浄で高度なクリーン度を実現。

ＫＭ−ＰＶＡブラシはポストＣＭＰ，ホトマスク，ガラス/アルミ ハードディスク，ＬＣＤパネル基材等のスクラブ洗浄に最適な高度に洗浄された製品です。 国内外の装置に合わせて多種のスムースブラシ，イボ付ブラシ，パックブラシ，ペンタイプブラシを用意しております。 ＫＭ−ＰＶＡブラシは純度の高い日本製原材料を使用した成形品です。切削はしておりません。 成形後、酸・アルカリを使った特殊洗浄・純水リン...

メーカー・取り扱い企業： ＫＭジャパン株式会社

光学レンズ・ガラス基板の水洗浄と溶剤による乾燥システム

HFE/HFC溶剤による乾燥システムは素早く水分を除去し、水染みの発生…

光学レンズ等はアルカリ・酸・中性洗剤により洗浄され、その後、純水リンス工程を経て、HFE/HFC溶剤による乾燥システムに送られて来ます。乾燥システムに大量に持込まれる水は溶剤との比重差で簡単に装置外へと取り出す事が出来ます。洗浄後の水染み発生の原因は乾燥用溶剤中に徐々に溶け込んでいく微量の水分です。この水分を確実に低濃度に保つ事が水染み「０」に繋がるのです。弊社の開発した「水分除去装置（オプション...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

FPDウェットラインLCD/PDP用各種枚葉式ウェット処理装置

FPDウェットライン　LCD/PDP用　各種枚葉式ウェット処理装置

現像・エッチングのファイン化技術や高度な薄板搬送技術を駆使してお客様の付加価値向上に貢献します。...【特長】 ○エッチングマシン ITOエッチングマシン・Crエッチングマシン・AIエッチングマシン ○現像装置 各種レジスト・カラーフィルター ○洗浄装置 受入洗浄装置・成膜前洗浄装置・レジスト塗付前洗浄装置・配向後洗浄装置 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

超精密洗浄機　QUAVA（クオーバ）

半導体、HDD、FPDなどの超精密洗浄に完全対応

4種類の特殊発振モ−ド選択により 従来以上の高精度を実現した、超精密洗浄機...【特徴】 ○0.1Wパワー設定可能。高電力安定性実現 　ダメージレス洗浄のコントロールが容易に ○ミックス＆マッチ機能で組み合わせ調整不要 ○振動子を交換するだけで、違う周波数で作動できる ○用力はフリー電源方式方式のため工場の電源電圧に左右されない ○サイズは19インチラックに収納できる　規格化された...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カイジョー ODM事業部

IPA蒸気乾燥装置

IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、…

IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。 【特徴】 　・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置 　・ウォーターマークフリー 　・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 　・微細パターンへ対応可能 　・高スループット対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...IPA蒸気を使用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

キャリア＆キャリア収納BOX洗浄装置

キャリア＆キャリア収納BOX洗浄装置

キャリアやキャリアを収納するBOX等を 洗浄する装置です。 ...ウエハー処理用キャリア、搬送用キャリア、キャリア収納BOXの洗浄に対応。 キャリアサイズ、収納個数等、仕様に応じ製作致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エムテクノロジー 京都本社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

洗浄装置　小型簡易枚葉式洗浄装置

低価格、しかも高性能なWet処理装置のことなら、弊社にお任せください。

株式会社ＭＴＫより、LED・半導体・MEMS製造用『Wet処理装置』のご案内です。...【特徴】 ○高プロセス性能（パーティクル数など） ○低価格 ○オゾン水、水素水などの機能水にも対応。 ○2流体ジェットなど物理洗浄にも対応。 ○2インチなど小口径にも対応します。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＭＴＫ

株式会社エイブルジャパン　取扱製品 総合カタログ

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

株式会社エイブルジャパン　取扱製品 総合カタログでは、中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。 【掲...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイブルジャパン

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

全自動FOUP洗浄システム『UPC-12500 SORA』

高品質・高スループット・省エネ！SEMI規格はもちろん、ULやCE規格…

『UPC-12500 SORA』は現代の半導体製造には不可欠な高品質・ 高スループット・省エネをコンセプトに改良された全自動FOUP洗浄システムです。 SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠。 自動搬送システム（AMHS）対応、通信プロトコルはGEM300に 対応しており、オンライン管理にも相応しい装置です。 【特長】 ■スループットの向上 ■省エネ対策 ■省フットプ...

メーカー・取り扱い企業： ヒューグルエレクトロニクス株式会社

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

MB-2000 太陽電池用シリコンウエハセパレーター

2枚重ねが出ない構造になっています！

粗洗浄後の積み重なった、140μm～200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。 ...装置寸法 Size： W1100XD3550XH1500 　　ワーク　Works： 粗洗浄後の太陽電池用シリコンウエハ　156±0.5ｍｍ、156.5±0.5ｍｍ 125±0.5ｍｍ、...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー（ガリ砒素、ガラス、セラミック）等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

半導体洗浄装置用ラインヒーター

最高９０℃で利用可！ＮａＯＨ水溶液の加熱に適した循環用加熱ヒーター

本製品、PRH（Protect　High　Temp）ヒーターは、NaOH加熱時の 腐食減肉速度の上昇に伴うヒーター断線・タンクからの漏れなど、 様々な問題点の一つ一つに着目して開発されたものです。 ...　 【特　長】 ■耐久性に優れ、高濃度・高温度での使用が可能。 ■水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）水溶液の高濃度での使用を実現。 　（工業で一般的に使用される４８％以上の濃度で利用可能）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダステム

超音波発生器

半導体用ウェーハ洗浄から産業用部品洗浄まで幅広い分野の洗浄装置に応用で…

当社が販売している超音波発生器のメーカー、KYUNG　IL　MEGASONIC(韓国）は創業以来１０年の製造経験を持ち、国内の半導体メーカーはもとより、欧米にも輸出実績を持っています。 特に、三星電子、及びHYNIXには、過去3年間で約３００台以上の 実績を誇り、装置の完成度の高さと、安定性には定評が あります。 シリコンウェーハー、ガリウム砒素、ハードディスク、 液晶基板等の通常洗浄はも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリンク