半導体用発熱体

半導体用発熱体

半導体製造に使われる拡散炉用ヒーター、CVD炉用ヒーターを提供 　...横型、縦型の既存半導体製造装置に使われているほとんどすべての 炉に対して提供が可能です。 またヒーター設計に関して数々の特許を有しており、長寿命化、均熱化 への提案もさせて頂きます。 □■ラインナップ■□ ■ヘビーゲージヒーター（太線） 主に、横型・縦型の拡散プロセスにて用いられるヒーターです。 独自技...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

クリーンプロセス向け高純度セラミックスヒーター

研究所や電子産業に最適！クリーンプロセスでの高温発熱体

特殊セラミックス部品、半導体製造プロセスにおいて求められる高純度な発熱体です。...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

インライン　ECE型フッ素樹脂製薬液ヒーター

接液部がPFA樹脂製で温調レスポンスが良い薬液インラインヒーター

接液部は全てＰＦＡのインラインヒーターです。 不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。 液流れの急変や停止に強い。 発熱体温度が低く、薬液の劣化を起こしません。 発熱体寿命１０年以上。 コンパクトで場所をとりません。 熱や機械的衝撃に強く丈夫です。 運転温度・圧力１５０℃×０．４ＭＰａ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

【金属エッチング事例】面状発熱体（ヒーターパターン）

デメリットを解決！特長は、パターン間を繋ぐブリッジ（ツナギ）が無いこと…

エッチングにより作成した面状発熱体（ヒーターパターン）の事例です。 このサンプルの特長は、パターン間を繋ぐブリッジ（ツナギ）が無いことです。 ブリッジが無い為、通常のプロセスでは加工途中にパターン部分が垂れ 下がって...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

電対策絶縁処理された端子部、超高温均一加熱が得られる様工夫された抵抗発熱式加熱ブロックを内蔵、ヒータープレート表面を短時間で高温まで加熱昇温することができます。 ◆ヒーター仕様◆ ◎ 使用発熱体 ・NiCr（SH-IN型）, W/BNコンポジット（SH-BN型） ◎ 最高使用温度 ・850℃（SH-IN型）, 1100℃SH-BN型 ◎ 対応基板サイズ ・1〜6inch（*1,...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用に ご使用いただけます。 発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。 （400℃以上のご希望の際はご相談ください。） また、サーモスタット、...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

工業用ヒーターとして多分野で活躍中！新熱工業製『シーズヒーター』

半導体、理化学機器、厨房機器など多分野で実績あり。弊社のヒーター曲げ技…

『シーズヒーター』とは、スパイラル状の発熱体を⾦属パイプの中央に挿⼊し、熱伝導の良い絶縁物（MgO）で⾼密度に満たした電気ヒーターです。 発熱線と金属パイプとの間に、電気絶縁材が封入されているので、通電中に万一ヒーターに触れても感電せず、...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

広田製作所　事業紹介

石英ヒーター、電気炉・制御装置、半導体用ヒーターはお任せください

【製品例】 ■石英ヒーター(二重管､4本組) ・概略寸法：250Wx430Lx360H ・発熱部：φ23x300L ・電源：200V ・ヒーター容量：8KW(2KWx 4) ・発熱体：カンタル ・ピンホールホール検知仕様 ■石英Z型ヒーター ・概略寸法：φ25x700Lx430H ・発熱部：φ18x650L ・電源：200V ・ヒーター容量：3KW ・発熱体：カ...

メーカー・取り扱い企業： 広田製作所

シリンダヒーター

シリンダヒーター

温度の均一性と安全対策に充分対処 ○表面温度のばらつきが少なく、温度劣化を起こす薬液の管理が容易になる ○安全を確保するため、アルミ鋳込みヒーターを採用し接液部に万一不具合が 　発生しても、発熱体に影響が及ばない構造 ○温度劣化をおこす薬液には、安全な表面温度になるように設計 ○端子函は安全増し防爆構造に準拠 ●薬液槽との取り合いは、サニタリーフェルールを標準としていますが 　ご要...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

【水冷ヒートシンク】 その空冷、水冷にしませんか？

空気より20倍以上の熱伝導率で発熱体の熱を取る！用途や形状・サイズ、材…

金属プレート内部に水を循環させプレート全体を冷やし、発熱体を取り付けて熱を奪います。 主にはIGBTといった半導体素子の冷却、またUV-LED、アンプ、ペルチェ素子の冷却など様々な用途、業界でご使用頂いております。 水冷ヒートシンクの性能は、流路...

メーカー・取り扱い企業： カワソーテクセル株式会社

高出力円筒形ヒーターモジュール　スパータルSMU

発熱体最高使用温度：1550℃！モジュールヒーター

■□特徴□■ ■発熱体最高使用温度：　1550℃ ■炉内　最高使用温度 ：　1500℃ ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、シリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■SMUが...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

高温高出力半円筒形ヒーターモジュール　スーパータルSHC-HT

スーパータル　HT （高温用半円筒型、最高炉内温度1675℃）

速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、ハーフシリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■タイプ：SHC　HT ■発熱部長さ：150mm ■全長：200mm ■発熱体温度：1700度 ■詳細は、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

まで昇温します。 ヒーター材質はC/C、SiC3、TIC3の３種類を用意。応用範囲は幅広く、装置側の様々な設置条件に対応、多数の製作実例よりご要求にマッチした製品を供給致します。 ◆◇使用発熱体◇◆ ・C/Cコンポジット Max1700℃ ・SiC3（炭化珪素）コーティンググラファイト Max1300℃ ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティンググラファイト Max1900℃C/...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

インライン　フッ素樹脂製超純水ヒーター

不純物の溶出やパーティクル発生のないフッ素樹脂製超純水ヒーター

い、不純物の溶出やパーティクル発生のない優れた特性を持っています。 ●オゾン水や機能水を流せます。 　接液部はＳＵＰＥＲ　ＰＦＡなので全く問題なし。設備のレイアウトの自由度が広がります。 ●発熱体寿命１０年以上 　ヒーターはメンテナンスの必要がないよう、劣化や故障の生じない低い温度条件になっています。 ●流量変動に強い 　純水の流量が急変したり止まっても大丈夫。素材はヒートショックに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

デンヒーターの一体型モジュール ■小スペースに大容量の出力が可能 ■精密な温度制御が可能 ■タイプ：SWR ■直径（インチ）：4・5・6・8・10 ■設置：縦もしくは横置き ■最高発熱体温度：1600度 ■出力：0.9W〜5.6ｋW ■少量からでも対応致します。詳細は、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

真空蒸着とは

ほぼ真空にした空間で薄膜を形成する成膜技術！真空蒸着の原理についてご紹…

『真空蒸着』とは、ほぼ真空にした空間で、金属などの蒸着素材を加熱し、 蒸発もしくは昇華した粒子を基板の表面に衝突・付着・堆積させて 薄膜を形成する成膜技術です。 当社では、発熱体の両端に電圧をかけ、流れる電流によるジュール熱で 加熱する抵抗加熱式の真空蒸着装置を採用しています。 【特長】 ■ほぼ真空にした空間で、金属などの蒸着素材を加熱 ■蒸発もしくは昇華した...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良原産業

【静電気対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！電磁波シールド、帯電防止、面状発熱体な…

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング加工』をご紹介します。 ・不織布・フィルター・繊維などにも対応。 また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。 薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富 　・材料：各...

メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社

CVD装置向けモジュールヒーター

CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

□■種類＆特徴■□ カンタルA-1銭を発熱体として使用した断熱材一体型のモジュールヒーターです。 ○CVD装置向けモジュールヒーター 　・既に超硬チップ用CVDコーティング装置に導入した実績がございます。 　・特に出力の高い５ゾー...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

水冷ヒートシンク

抜群の冷却効果！

○薄型タイプ ６から１０ミリの薄さで機器の軽量化に貢献します。 ○両面タイプ 両面に発熱体を取り付けることができ、省スペース化がはかれます。 ※ＩＧＢＴ用とペルチェ素子用には標準品もございます。その他のものにつきましてはオーダーメイドとなっておりますので、受熱ブロック寸法、素子取...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社高木製作所

カンタルカンパニー案内

カンタルは発熱体のトップメーカーでございます。

弊社の事業部案内でございます。 商品ラインナップの詳細は別記ご参照下さい。...弊社の事業部案内でございます。 商品ラインナップの詳細は別記ご参照下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

『石英異型管ヒータ』

ゾーン分割やユニット設計が可能！ワンランク上のクリーンな環境に対応しま…

『石英異型管ヒータ』は、金属発熱体を石英ガラスで封止することにより コンタミを防止するヒータです。 帯状発熱体を使用することで加熱面積が広く使え、さらにゾーン分割や ユニット設計ができます。 食品及び水の加熱に使用...

メーカー・取り扱い企業： 貞徳舎株式会社

高出力半円筒形ヒーターモジュール　スーパータルSHC

スーパータル　半円筒（ハーフシリンダー）型

■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、ハーフシリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■タイプ：SHC ■発熱部長さ：150mm ■全長：200mm ■発熱体温度：1600度 ■詳細は、お問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

水冷ヒートシンク シリーズ

均一冷却を実現する流路設計

金属プレート内部に水を循環させプレート全体を冷やし、発熱体を取り付けて熱を奪います。 主にはIGBTといった半導体素子の冷却、またUV-LED、アンプ、ペルチェ素子の冷却など様々な用途、業界でご使用頂いております。 水冷ヒートシンクの性能は、流路...

メーカー・取り扱い企業： カワソーテクセル株式会社

真空蒸着技術

製品の美しさはもちろんのこと、機能面もご満足いただける仕上がりにいたし…

奈良原産業の『真空蒸着技術』を紹介します。 当社では、発熱体の両端に電圧をかけ、流れる電流によるジュール熱で 加熱する抵抗加熱式の真空蒸着装置を採用。 金属を蒸発させて、プラスチック製品などの非金属の表面を金属化する メタライジングにより、製品に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良原産業