【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

まで昇温します。 ヒーター材質はC/C、SiC3、TIC3の３種類を用意。応用範囲は幅広く、装置側の様々な設置条件に対応、多数の製作実例よりご要求にマッチした製品を供給致します。 ◆◇使用発熱体◇◆ ・C/Cコンポジット Max1700℃ ・SiC3（炭化珪素）コーティンググラファイト Max1300℃ ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティンググラファイト Max1900℃C/...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

デンヒーターの一体型モジュール ■小スペースに大容量の出力が可能 ■精密な温度制御が可能 ■タイプ：SWR ■直径（インチ）：4・5・6・8・10 ■設置：縦もしくは横置き ■最高発熱体温度：1600度 ■出力：0.9W〜5.6ｋW ■少量からでも対応致します。詳細は、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

CVD装置向けモジュールヒーター

CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

□■種類＆特徴■□ カンタルA-1銭を発熱体として使用した断熱材一体型のモジュールヒーターです。 ○CVD装置向けモジュールヒーター 　・既に超硬チップ用CVDコーティング装置に導入した実績がございます。 　・特に出力の高い５ゾー...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー