フッ素膜【フッ素薄膜処理における真空蒸着法とスプレー法の違い】

PR各処理方法のメリット・デメリットを分かりやすく紹介した資料進呈。受託加…

本資料では、ガラスや金属に撥水性・撥油性・防汚性・離型性などを付与できる フッ素薄膜処理について、真空蒸着法とスプレー法の違いを説明しています。 フッ素薄膜処理は、基材の形状やコストなどの条件に応じた 処理方法の選定が求められます。 フッ素薄膜処理をご検討中の方は、ぜひ本資料をご覧ください。 【掲載内容】 ・フッ素薄膜処理とは ・真空蒸着法、スプレー法とは ・真空蒸着法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カツラヤマテクノロジー T&K事業部

公自転式撹拌脱泡装置『カクハンター SK-1100TV III』

PR中型量産モデルがパワーアップして新登場。真空減圧機能を搭載し、微細な気…

『カクハンター SK-1100TV III』は、材料の撹拌・脱泡を同時に行える装置です。 真空減圧機能を搭載しており、真空引きをしながら遠心脱泡が行えるため 除去が困難なサブミクロンレベルの泡まで脱泡処理することが可能。 高粘度材料にも対応できるほか、公転・自転の比率を 可変することができ、材料や条件に合わせた処理が行えます。 【特長】 ■回転数大幅UPによる強力撹拌 　当社従来機との比較で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社写真化学 草津事業所

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

Model 1200 真空・加圧リフロー装置

Model 1200卓上リフロー装置は、プロセス開発、マイクロエレクト…

SST社はマイクロエレクトロニクス組立工程に対するソリューションと装置を提供するグローバルリーダーです。　真空及び処理ガスによる加圧を含めた高精度な圧力管理を行い、ボイドレスはんだ付け、ろう付、ガラス封止、高気密封止、水分ゲッター活性化処理、ウェハーボンディングなどの工程にソリューションを提供します。...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

TMPタイプ　真空蒸着装置

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。 排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。 シンプルかつイージーオペレーションで、将来...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

8００ｍｍ□×8００ｍｍＨ／バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。 高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替え…

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

高真空アニール装置 「SAF-52T-II」

生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。

高真空アニール装置 「SAF-52T-II」は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 W460×D350×H35...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

サンユー電子　真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ

スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子

1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け用途としてのスパッタ装置、真空蒸...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置　Sapio-DBR

LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適！

Sapio-DBR（SGC-S1550i/S1300iシリーズ）は、LED用光学多層DBR膜用に特化した真空蒸着装置で、ドーム内の均一性が良く、生産効率の向上を図ることが可能です。 LED用光学多層DBR膜の成膜に最適です。 【特徴】 ○優れた量産性能 →基板搭載数：φ2inchウェハー約40...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

真空はんだ付け装置（真空リフロー装置）

インターネプコンにも出展！大型製品にも対応した新製品のご紹介 ＜サン…

真空はんだ付け装置は真空中ではんだを溶融させることにより、 はんだ中のボイドを除去します。 予備加熱を水素雰囲気または蟻酸雰囲気で行うことにより、 フラックスレスはんだ付けを実現します。 パワーデバイス製造工程のスタンダード機として国内実績No.1クラスを 誇ります。 上部ランプヒータ仕様採用により、重量物を含む大型製品/異形基板にも対応しています。 【展示会出展情報】 インター...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。 特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎デー...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

近年、真空の応用分野は各産業界で飛躍的に広がってまいりました。 まさに基幹技術を支えるといっても過言ではありません。 真空排気セットも同様に各分野で使われています。 お客様のニーズに合わせた排気セットの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

VP型ドライルーツ式　真空ポンプ　VPシリーズ

独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ

【特徴】 ○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で 　運転を実現し、使い易さを追求 ○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能 　その他の特殊材質についても対応可能 ○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。 ○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える ○高温ガス130℃を直接吸引することが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

スな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D395mmサイズで卓上型 ■お...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

APIEZON アピエゾン 真空グリース

Apiezon(アピエゾン)製品の正規代理店です。高性能真空グリースの…

分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。 このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広く使用されています。 使用温度によって対応する各...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空プレス機

売り上げ実績No.1　ミカド真空プレス機シリーズ

カスタムメイド、オーダーメイドながら累計300台以上の販売実績を持つミカド式真空プレス機 創業65年以上の社歴をもつミカドテクノスの安心と安全。きめ細やかなサービスと数々の経験に裏付けされた機械仕様。 リピートオーダー率の高さがその技術評価の実証です。...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

可動真空チャンバー ＜ボディフレーム＞

ご使用の開放プレス機に装着、低コストで真空プレス機に転用します。

■コスト 　低コスト（ハウス型の約1/20）で真空加熱成形を実現します。プレス機は改造不要です。 　既存の加熱プレス機に取り付けるだけで、真空プレス機に転用できます。 ■気密性 　確実な気密性で133〜1.33Pa（1.0〜0.01Tor...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タンケンシールセーコウ

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲…

◆装置構成◆ ご予算・目的に応じてご要望の構成をご提案致します。 (A)最小構成：チャンバー + コントロールボックス (B)上記最小構成(A) + 真空排気系（ポンプ、ゲージ、バルブ・真空配管類） ◆基本仕様◆ ・ヒーター：C/Cコンポジット(カーボン炉）, タングステン(メタル炉) ・断熱材：グラファイトフェルト材(カーボン炉）, タン...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、…

◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール 卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種 「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保 冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製 堅牢な水冷チャンバー、最高温...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空成膜装置・高真空装置

お客様のニーズに合わせた形でカスタマイズ可能な高性能真空装置

高真空装置で定評のあったMECA2000社の技術を引き継いだ高真空度を実現...

メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社

縦型真空アニール装置

ウェハプロセス対応　本格量産システム　アニール・シンター・ポリイミドキ…

クリーンな真空中で均一加熱。高いクリーンネスや低酸素濃度を求められるプロセスに最適。縦型石英管型アニール装置。 最大８インチ相当のウェハや各種基板に対応。ＣｔｏＣシステム採用による自動化＆クリーンシステム。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【事業紹介】真空蒸着加工、および塗装

金属表面処理や真空蒸着加工、および塗装のことならお任せ下さい！

【機械・設備・ライン状況】 ○真空蒸着装着　5台 ○スピンドル塗装機　2台 ○乾燥機　5台 ○ロボット塗装機　4台 ○ＵＶ乾燥機　4ライン その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社横浜真空

真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

・最大基板サイズ：Φ10inch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model. LTEC-1cc/5cc) ・EB電子ビーム蒸着源：7ccるつぼ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下 ）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【用途】 極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装置 • クリーンルーム内の製造装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。 また、蒸着装置の水分...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

高真空・耐熱グリースLOGENEST LAMBDA TKM-03

半導体製造装置内で発生するコンタミを低減する高真空・耐熱用グリース …

高温環境下にて、優れた耐熱性能を示します。 また、真空環境下でも、優れた低アウトガス性能を示します。 実績ございます。 詳細情報はお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

真空チャンバーの受託製造

10 -10torrの真空度も対応実績あり。お客様のご要望に沿った真空…

日揚科技にて製造した真空チャンバーは欧米、日本及世界各地のお客様に販売しています。お客様から高い評価を頂き、今後も一層に真空技術の向上を目指し続けており、良い品質の製品をお客様に提供します。過去の実績はお問合わせいただくか...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、 それぞれのカソードに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空フィルム貼付装置｜LP・テープマウンター

真空フィルム貼付装置のご紹介！ローラーでの破損問題を解決します

『真空マウンター』は、ストレスを与えたくないワークに対応したモデルの真空フィルム貼付装置です。 ローラーでの破損問題を解決。 真空で貼り付けることでワークに気泡が入らず、貼り付け条件（真空度、着圧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

真空ラミネーター

空気いらず手間いらずラミネーター

真空中でラミネートすることでワークに気泡が入りにくい。 ファインパターンなど気泡が入りやすいワークへのフィルムの貼り合わせ に最適。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・シー・ケー 東京 電子事業本部

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）

窓材の交換が簡単にできます！

Oリングを使用した、窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）です。窓材がフランジから取り外せるため、窓材の交換やクリーニングなどを簡単に行うことが可能です。 窓材はホウケイ酸グラスまたは溶融石英から選択できます。溶融石英...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を 主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や 安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

超高真空用ビューイングポート　Glass 7056

最新のグラス-メタル接合技術を使用した、超高真空用ビューイングポート

。 ■コーニング社の Glass 7056（コバール封着用ホウケイ酸ガラス） を使用 ■最新のグラス - メタル接合技術を使用しています。 ■ハウジングはICF・NWフランジから選べます（真空度・耐熱温度は異なります）。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

真空対応ピエゾステージ

高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ

Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FI...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

前工程の歩留まり改善が期待できる真空・耐熱用 グリース

LOGENEST LAMBDA AEP-4は真空かつ150℃以上の高温…

「LOGENEST LAMBDA AEP-4」は 下記のような特徴があり、コンタミ改善に取り組まれている方や 大切な機械をメンテナンスしている方へ推奨しております ■ 特殊フィルム製造の前工程（成膜、エッチング等）の搬送部（ベアリング等）やシール部（Oリング等）に最適なグリースです ■ 特徴は、従来のフッ素グリースより劣化を抑え、ロングライフが期待されます 【用途】 各種下記前...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

【仕様】 ○真空槽／φ400×D450 ○到達圧力／10^-3Pa台以下 ○排気速度／6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

金属ナノペースト焼結接合対応真空半田付装置

神港精機の真空半田付装置に新型登場　優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制…

パワーデバイスモジュールの生産を支える神港精機の真空半田付装置がアップグレード。昇降温特性と均熱性能を向上させ処理寸法も拡大。従来通りの雰囲気制御性能と処理温度の高温化によって金属ペーストの焼結接合に対応。 低酸素濃度の実現と１００％水素雰囲気によ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空チャンバー（アルミハニカムパネル製）

従来のアルミやステンレスの加工品の真空チャンバーと比較して、剛性を保ち…

従来のアルミやステンレスの加工品の真空チャンバーでは、コストダウンに限界がきていました。アルミハニカムパネル化することで同等の剛性や許容たわみ量をたもちながら、大幅な軽量化を実現し、約20％ものコストダウンに成功しました。真空時の10ト...

メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社