真空ポンプに捕捉フィルターをつけてポンプトラブルを事前に防止！

PR捕捉フィルターがカギ！樹脂・化学業界にもドライポンプが使用可能に。ドラ…

当社がご提供する「HSコレクター」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムです。 ポンプトラブルを事前に防ぐ方法はないかと多々ご相談を頂くことが多くあったので、真空ライン中のオイルミスト・溶剤・モノマー・オリゴマー等を最も効率よく捕捉し、メンテナンス性・耐薬品性にも考慮して開発しました。 また、ドライ真空ポンプとセットでご提供も可能です。 省エネ・低...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

電流導入端子

PR高真空、超高真空へ の電流導入端子です！

米国MPFプロダクト社の電流導入端子のご紹介です。 ■MIL丸型、C-Sub型のマルチピン、熱電対、高電流・高電圧タイプ、同軸タイプ等各種電流導入端子を取り扱っております。 ■電流導入端子と併せて使用するコネクタ、ケーブル等もお取り扱いがございます。 ■標準品のカスタマイズ（フランジの変更、ピン長さの変更等）にも対応しております。まずはお問い合わせ下さいませ。 ※詳しくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

サンユー電子　真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ

スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子

1976年の創業以来一貫して、“使いやすい、簡単、便利”にこだわったものづくりを通じ、多くの方々に、スパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器をお使いいただいております。 SEM用前処理用としてのスパッタ装置(スパッタコーター)、真空蒸着装置、各種デバイスの電極付け用途としてのスパッタ装置、真空蒸...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 タ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル レシピ設定…10プログラム×50パターン オプション…試料台、真空ポンプ ユーティリティー…電源、真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

小型塗工機

小型サイズの塗工機です。

小型サイズの塗工機です。 平らな真空チャック内蔵のため、シートを固定し、薄膜の塗工時には非常に便利、一定の膜厚で塗工します。 100ｍｍ幅のマイクロメーター付フィルムアプリケーターが付属します。...

メーカー・取り扱い企業： AAポータブルパワー株式会社

水中不純物・重金属除去装置　『SPM-300シリーズ』

薬液処理や汚物処理の蒸発が可能な環境改善に適した装置

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

Smart film Vacuum Conditioner

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続…

縮Filmを生産 • 均一な基板温度に加熱可能 (基材の平坦化) • プラズマ区間（Treatment）がRewinding Chamberに位置してProcess Chamber•の高真空を維持 • Squeeze Valveを利用してProcess Chamberの真空を維持したまま、Winding Chamber Vent 及びFilmを交替 * 委託加工可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

メタルプラズマコーター「AT-ET」【導電性薄膜を作製！】

省スペース&低コストで導電性薄膜を作製！電子顕微鏡観察時に金属被膜のコ…

電子顕微鏡観察時における試料の帯電を防止するためのAu（金）、Ag（銀）、Pt（白金）等の導電性薄膜を作製する装置です。ロータリーポンプを本体に内蔵したことで、省スペースでの設置が可能となりました。真空度の表示は読み易いデジタル表示で、ボタン1つで排気～コーティング～終了（標準処理時間約5分）までを自動で行える簡単操作のコンパクトなメタル薄膜作製専用コーターです。 【特長】 ■ロータリーポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーティーエー

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

ーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。 チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。 即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

フィルム受託テスト（塗布・洗浄）

短納期・小ロットでも対応可能。 経験豊富な技術者による対応。 50…

　　スプレーコーター ・表面処理 　　大気圧プラズマ処理 　　エキシマUV照射 　　UV硬化装置 ・ラミネート、貼合せ 　　ラミネーター 　　貼合せ装置 　　ホットプレス 　　真空プレス ・付帯設備・測定器材 　　非接触式膜厚計、光学顕微鏡、分光エリプソメーター、接触式段差計 　　SEM・EDX、接触角計、その他 ※その他の設備によるテストご希望が御座いましたら何なり...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

インナーカップ式スピンコーター

インナーカップ方式による面内分布の向上と塗布液の軽減 安価な価格設定…

m ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX２０００rpm （基板サイズ、厚...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

○テンションコントロール →巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける →トルクはフィードバック制御にて行う →10N～150N/m巾に対する値を自動計算し、設定 ○真空槽系 →材質：SUS304 →サイズ：W700×H1030×D800　前面開閉扉 ○機材送り機構 →回転速度可変用サーボモーター →巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター →真...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

ーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。 塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。 また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。 トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。 【特長】 ■塗布材料や真空設備のコストを大幅削減 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤を使用可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒットコーポレーション

ミニスピンコーター（卓上タイプ）

業界初！小型コーター 回転数MAX8,000rpm！

1.小型・軽量　W180×D210×H200mm　約3.5Kg　 2.主軸回転数　Max8000rpm　 3.ワーク寸法　１インチ・2インチ・50mm□　 4.ワーク固定　内蔵真空ポンプによる真空吸引　 5.ユーティリティー　AC１００V　2.0A コンセント ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

エキシマUV受託テスト

実験可能サイズ：600×700mm（最大） ランプ照度：50～140…

A、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【無電極照射ユニット・N2スリッド...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

エキシマUV装置（ハンディタイプ）

超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W3…

A、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【主な用途】 ・ガラス、フィルム...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコータ…

グを可能にします。 【特長】 ■多種類のターゲット材が選択可能 ■正確な膜厚コントロール ■多試料ステージの移動機構 ■ターゲットおよび試料間の距離可変のチェンバージオメトリ ■操作真空度の広い調整範囲 ■ベンチトップタイプの省スペースと省エネルギー設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： エルミネット株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

オプション） ○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○インナーカップ：φ270アルミ削り出し、表面処理 ○外カップ：SUS304　φ360絞り加工 ○排気/廃液：廃棄はオプション、廃液はカップ止め ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

薄膜形成装置 エレクトロスプレー SLEF-100

室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成！電着による塗布とX-Yロボットで高…

薄膜を形成致します 『電着による塗布』＋『X-Yロボット』＝ムダのない効率的な塗布！ マスク板を汚しにくく『お手入れも簡単』！ 【特徴】 ・小型な装置でスプレーコーティング ・高温・高真空下ではなく、室温・大気圧下で塗布 ・電着による塗布により塗液を効率的に塗布！ ・X-Yロボットを使用した正確なコーティング ・マスク板を汚しにくいので簡単お手入れ 【用途】 ・ディスプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

円形塗布装置『RSコータ』

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新…

テム提案も対応いたします。 プロセスフロー例： ロードポート（EFEM） → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート（EFEM) 乾燥プロセス Option：VCD（真空乾燥装置） 焼成プロセス Option：Cure Oven等との組合せも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

浄実行 ○スピン乾燥実行 【仕様】 ○外形寸法：W900×D645×H500 ○構造：鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋：透明 PVC　手動開閉 ○ウエハー受台：材質 PVC　真空吸着又は外周ピン受け ○流し：PVC ○ノズルアーム：1本　モーター駆動　スイング動作 ○メガソニック：950kHz　60W ○スピンモーター：ACサーボモーター　400W ○回転数 →...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンコーター ACT-300A2 レンタル

株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか…

325(扉開640)mm 電源：1Φ 100V-10A　50 / 60Hz 回転制御速度：0～6000rpm 回転精度：±1rpm以下 (負荷時) 基板吸着圧力：-70 ～ -80kPa 真空ポンプ排気量：12L/min以上 プログラムステップ数：10ステップ パターン数：100パターン（プログラムメモリ機能標準） 本体外装カバー・カップ材質：SUS304 電解研磨 安全対策：イ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リブテラステクノロジーズ

スピン洗浄装置　スピナー MSC-200型

小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

5,000rpm オプション　10,000rpm ○回転表示：アナログメーター ○回転数ステップ：2ステップ ○付帯設備 →電源：AC100V　500VA　50/60Hz　±10％以内 →真空：-50Kpa.10L/min以上　φ6mm　200torr以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

成膜装置『ロールコーター』

ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を実現！成膜…

ラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に 表面処理をする装置です。 ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を可能にし、 成膜は、プラズマCDV法、スパッタリング法、真空蒸着法等のプロセス を組み合わせたマルチプロセスが可能です。 また、素材ロールの脱ガス対策にTMP＋CRT排気システムの採用しました。 【特長】 ■ドラムレスのフラットWeb搬送が可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社C&Vテクニクス

【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター

省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方…

【製品の特長】 ■ディペンサーユニット付属可能 ■吸着用真空ポンプは別見積 ■φ300以上のものも製作OK ■フィルム用吸着台やピン受け方式の試料台もご用意可能 ■自動式スピンコーター応相談...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

フィルム塗布受託テスト

10mm□～G8基板の受託が可能 小ロットの特注対応 多彩なニーズ…

ー 　　卓上スピンコーター 　　ロールコーター ・印刷 　　フレキソ印刷機 　　インクジェット印刷機 　　グラビアオフセット印刷機 　　精密印刷機 ・貼り合せ、ラミネート加工 　　真空ラミネーター 　　ロールtoロールラミネーター　 　　卓上ラミネーター 【付帯設備・測定器材】 　バッチ式洗浄装置 　UV表面改質装置　 　ホットプレート 　非接触式膜厚計 　光学顕...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

コンパクトコーター　SVC-700TMSG/Adexcel

小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。

マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 タ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

タ…AC サーボモーター 回転表示…デジタル 回転数設定…液晶タッチパネル 薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式） レシピ設定…10プログラム ×50 パターン オプション…試料台、真空ポンプ、加圧タンク ユーティリティー…電源、真空、ドライエアー ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

乾燥機能付き小型塗工機

塗工後に最大100℃で薄膜を乾燥できるヒートカバー付き塗工機です。

MSK-AFA-IIIは、塗工後に最大100℃で薄膜を乾燥できるヒートカバー付き塗工機です。 平らな真空チャック内蔵のため、シートを固定し、薄膜の塗工時には非常に便利、一定の膜厚で塗工します。 100ｍｍ幅のマイクロメーター付フィルムアプリケーターが付属します。...

メーカー・取り扱い企業： AAポータブルパワー株式会社

メッキ塗装に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

膜厚均一、自動車ボディカラーなど実績多数の成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

燃料電池に好適な成膜コーター『SPM-300シリーズ』

燃料電池の電極など実績多数の成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

プリント基板の成膜に好適　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

銅膜形成、レジスト、埋め込み、平坦化など実績多数の成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

MEMSのレジスト膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

MEMSのレジスト膜など実績多数の成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

防曇膜など多数実績あり　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レンズ表面のハードコートや防曇膜に好適な成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

成膜コーター『SPM-300シリーズ』

塗布材料の塗着効率が高く、微少流量での成膜に適した成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

食品医療などの粉体化に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

特殊ノズルによる気化性が上がるため、有機・無機を問わず粉体化が可能な装…

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

有機ELの好適な　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

有機ELの高分子膜など実績多数の成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

液晶レジスト　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レジストやハードコートなど実績多数の成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

化合物半導体の成膜等に　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

高輝度LEDや半導体レーザー用成膜など実績多数の成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

太陽電池のハードコート等　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

太陽電池のTiO2やハードコート等実績多数の成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

自動車ランプの膜処理など　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

自動車ランプの着色や、フロントガラスの防曇膜に好適な成膜コーター

の成膜に適した 成膜コーターです。 塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。 常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で 高価な真空設備コストを大幅に削減します。 粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。 排気、廃液処理が従来システムに比べ最小システムで対応できます。 弱酸...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピンコーター（MAX200mm□）

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

m ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX６０００rpm （基板サイズ、厚...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

卓上スピンコーター

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途…

m ・ カップ材質 ：SUS＋ミガキ#400 ・ カップ処理 ：オプション　テフロンコーティング 　　　　　　　　　（カップ＆インナーカップ内面） ・ 基板固定方法：真空吸着方式 ・ テーブル　　： オプション ※別途サイズ・材質をご相談下さい ・ スピンモータ： ＡＣサーボモータ ・ 回転数 ： MAX９０００rpm （基板サイズ、厚...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型

φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○塗布アーム：2本、ステッピングモーター駆動 ○塗布数：耐圧タンクによりN2圧送 ○プログラム数：10プログラム50ステップ ○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション） ○カップ：SUS304　φ300絞り加工 ○排気／廃液：排気はオプション、廃液はカップ止め ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くだ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社