成形ベローズ製品カタログ｜中日技研工業

PR真空配管用成形ベローズをご紹介！これできる？に親切対応、いつものあれ！…

当社、中日技研工業株式会社は、ステンレス製フレキシブルチューブ製造メーカーです。 当カタログは、中日技研工業株式会社が取り扱う真空配管用成形ベローズをご紹介しています。 真空用の柔軟なベローズにJIS規格の真空フランジ（VG･VF）が付いた「CEV-10000」をはじめ、 パイプエンドが付いた「CEV-30000」等、多数ラインアップを掲載。 真空配管の選定に、是非ご活用くださ...

メーカー・取り扱い企業： 中日技研工業株式会社

【真空成形のマメ知識・基礎知識資料進呈】真空成形の基礎用語集

PR知っておくと便利！基本の用語や、トレーの仕様打ち合わせで役立つ用語をご…

当資料は、知っておくと便利なサイデックの真空成形用語集です。 「あ行」では、アウトガス(揮発ガス)や圧空成形、印刷導電シート、 「か行」では、金型やミニスカート形状(外周形状)、カーボンブラック 等の用語と詳細を掲載。 当社内で使われる専門用語もご紹介しておりますので、ぜひご一読ください。 【掲載内容】 ■真空成形の基本の用語 ■サイデックの社内で使われる専門用語 ■ト...

メーカー・取り扱い企業： サイデック株式会社

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空チャンバー内壁からのガス放出を大幅低減！新しい「真空構造材」

0.2％BeCu合金製で低ガス放出化を実現！ステンレススチールの代替え…

『魔法のニップル／キューブ／チャンバー』は素材にBeCu合金を使用することで従来の真空系を構成するステンレススチールに代わり、内壁からのガス放出を大幅に低減する新たな真空構造材です。 BeCu合金は、輻射率が低く、熱伝導率に優れるため、わずかに吸収した熱も速やかに拡散し、温度上...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

近年、真空の応用分野は各産業界で飛躍的に広がってまいりました。 まさに基幹技術を支えるといっても過言ではありません。 真空排気セットも同様に各分野で使われています。 お客様のニーズに合わせた排気セットの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

APIEZON アピエゾン 真空グリース

Apiezon(アピエゾン)製品の正規代理店です。高性能真空グリースの…

分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。 このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広く使用されています。 使用温度によって対応する各...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空プレス機

売り上げ実績No.1　ミカド真空プレス機シリーズ

カスタムメイド、オーダーメイドながら累計300台以上の販売実績を持つミカド式真空プレス機 創業65年以上の社歴をもつミカドテクノスの安心と安全。きめ細やかなサービスと数々の経験に裏付けされた機械仕様。 リピートオーダー率の高さがその技術評価の実証です。...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

可動真空チャンバー ＜ボディフレーム＞

ご使用の開放プレス機に装着、低コストで真空プレス機に転用します。

■コスト 　低コスト（ハウス型の約1/20）で真空加熱成形を実現します。プレス機は改造不要です。 　既存の加熱プレス機に取り付けるだけで、真空プレス機に転用できます。 ■気密性 　確実な気密性で133〜1.33Pa（1.0〜0.01Tor...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タンケンシールセーコウ

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下 ）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【用途】 極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装置 • クリーンルーム内の製造装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

高真空・耐熱グリースLOGENEST LAMBDA TKM-03

半導体製造装置内で発生するコンタミを低減する高真空・耐熱用グリース …

高温環境下にて、優れた耐熱性能を示します。 また、真空環境下でも、優れた低アウトガス性能を示します。 実績ございます。 詳細情報はお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

真空フィルム貼付装置｜LP・テープマウンター

真空フィルム貼付装置のご紹介！ローラーでの破損問題を解決します

『真空マウンター』は、ストレスを与えたくないワークに対応したモデルの真空フィルム貼付装置です。 ローラーでの破損問題を解決。 真空で貼り付けることでワークに気泡が入らず、貼り付け条件（真空度、着圧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

真空ラミネーター

空気いらず手間いらずラミネーター

真空中でラミネートすることでワークに気泡が入りにくい。 ファインパターンなど気泡が入りやすいワークへのフィルムの貼り合わせ に最適。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・シー・ケー 東京 電子事業本部

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）

窓材の交換が簡単にできます！

Oリングを使用した、窓交換式高真空用ビューイングポート（ビューポート）です。窓材がフランジから取り外せるため、窓材の交換やクリーニングなどを簡単に行うことが可能です。 窓材はホウケイ酸グラスまたは溶融石英から選択できます。溶融石英...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

超高真空用ビューイングポート　Glass 7056

最新のグラス-メタル接合技術を使用した、超高真空用ビューイングポート

。 ■コーニング社の Glass 7056（コバール封着用ホウケイ酸ガラス） を使用 ■最新のグラス - メタル接合技術を使用しています。 ■ハウジングはICF・NWフランジから選べます（真空度・耐熱温度は異なります）。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

真空対応ピエゾステージ

高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ

Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FI...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

前工程の歩留まり改善が期待できる真空・耐熱用 グリース

LOGENEST LAMBDA AEP-4は真空かつ150℃以上の高温…

「LOGENEST LAMBDA AEP-4」は 下記のような特徴があり、コンタミ改善に取り組まれている方や 大切な機械をメンテナンスしている方へ推奨しております ■ 特殊フィルム製造の前工程（成膜、エッチング等）の搬送部（ベアリング等）やシール部（Oリング等）に最適なグリースです ■ 特徴は、従来のフッ素グリースより劣化を抑え、ロングライフが期待されます 【用途】 各種下記前...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

アーク放電型イオンプレーティング装置 「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

【仕様】 ○真空槽／φ400×D450 ○到達圧力／10^-3Pa台以下 ○排気速度／6.7×10^-3Paまで15分 ○排気操作方法／自動 ○基板加熱／MAX350℃ ○成膜方法／自動 ○成膜速度／2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

真空熱処理装置

真空～大気環境でパーティクルレスでの熱処理を実現します。

有機EL等新しいパネル技術関連における真空・熱関連装置の設計、製造、販売を行っています。 大気・真空を繰り返す際に発生するパーティクルを対策した幸和独自の技術の真空ホットプレートの提案をいたします。 “目に見えない熱や圧力をコントロール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社幸和

クリーンルーム・真空用アルミホイル

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタ…

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタミフリーなアルミホイルです。 アルミ箔はプラスチック製の芯棒に巻かれており、ビニールでラップされております。 ケースもプラスチック製なので紙類は一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

真空熱加圧装置　2Dタイプ

大面積へ真空中で均一に加熱加圧することが可能な汎用機です。 ボイドレ…

プレス押し型内部に真空隔室をつけ、クイックに真空減圧させて空気泡（マイクロボイド）を取り除き均一な真空貼り合せを行なうことができます。 《特徴》 〇ミカド独自の加圧方法と推力制御を用い、熱板にて大面積への均等加圧が可...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

小型回転式真空プラズマ装置 『MUG-80』

一括処理で時間短縮&コスト削減！　少量の粉体・微小な部材の表面改質に！

た、回転式卓上プラズマ装置の小型版がついに登場！ 『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！ 通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。 本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全面に均一なプラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

イオンプレーティング装置 「SIP-1600」

装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向け

　　　　 8軸（Φ360mm×H1650mm/軸：ワーク搭載エリア） ○自公転数　6 軸：自転11～33rpm/公転1～3rpm 　　　　　　8 軸：自転13～37rpm/公転1～3rpm ○真空槽　Φ1600mm×H2300mm（SS400 製） ○フットプリント　W4700mm×D7000mm×H3100mm 【所要諸元】 ○所要電力 本機：Φ3　200V 約12KVA、抵抗蒸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

卓上真空プラズマ装置YHS-G(ガス導入タイプ)

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪ チャンバーサイズはφ250mm×高さ150mm。...プラズマ装置国産メーカー『魁...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

超高真空用ビューイングポート＆電流導入端子※総合カタログ進呈中

官公庁、研究機関、大学の方必見！当社が扱っているビューイングポート（ビ…

本カタログには、超高真空で使用できる各種ビューイングポート（ビューポート）、各種電流導入端子、セラミックグラスを使用した超高真空用ハーメチックコネクタ、PEEK、マコールセラミック材質のコネクタ、カプトン被覆、超高真空用圧...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

真空装置受託製造

真空装置の受託開発承ります！

【受託製造事例】 ◆300Φメタライゼーション装置 ◆凍結真空乾燥装置 ◆有機ELディスプレイ製造装置 ◆銅配管スパッタ装置 ◆ドライエッチャー ◆有機薄膜形成装置 ◆真空排気装置 ※詳細はお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

弊社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

自公転式真空撹拌脱泡ミキサー　UFO-36

高性能で特大量生産に最適な　真空撹拌（攪拌）脱泡ミキサーです。

特大量生産に最適な真空撹拌脱泡ミキサー ●プロペラレスの遊星式ミキサー、数分で撹拌脱泡が可能 ●真空式により完璧な脱泡が可能 ●EMEシリンジ容器で撹拌脱泡後、即ディスペンスが可能（別途治具要） ●シリンジへ泡の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

真空プレス式ラミネーター　MV-302

エム・シー・ケー社が取り扱う、

真空プレス式ラミネーターのご紹介です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・シー・ケー 東京 電子事業本部

中低真空用LMガイド

大気圧〜真空の環境下で安定した転がり抵抗を実現

新開発の中低真空専用ラビリンスエンドシールや中低真空用グリースの採用により、安定した転がり抵抗を実現しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

ができ、10ステップ100パターンのプログラム（事前連絡で、20ステップ50パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

熱処理加工技術『真空熱処理』

真空中で熱処理を行うため、光輝仕上がり可能です。

光輝仕上がりが可能な真空熱処理技術の紹介です。 焼入れ、焼鈍、固溶化、時効、析出硬化、焼ならし、安定化処理、 ベーキング、ろう付けなどあらゆる熱処理に対応可能です。 【真空熱処理営業品目】 ■焼入れ・焼戻し ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東都冶金 本社工場

真空熱加圧装置 3Dタイプ

3D形状へ真空熱加圧を行う装置です。 曲面貼りや凹凸封止、段差への追…

加圧膜を用い、異形状への等方向加圧を可能にしました。 曲面や異形状への真空加圧で貼合等を行います。 《特徴》 〇曲面や段差などに等方向加圧が可能なミカド特許技術です。 〇異形状なワークのどの面にも金型なしで加圧を行う事が可能です。 〇ミカド独自のチャンバー構造...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）

基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）

オーダーメイド品を製造・販売している ケニックス社の『真空封止・接合装置』のご案内です。 ■□■特徴■□■ ■陽極接合・直接接合・熱圧着接合に任意対応 ■ウェハーレベルからチップレベル接合に任意対応 ■加熱エリア・温度：φ6cm・Max1,...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-700AII』

□360mm、20インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-70…

0パターン、50ステップ20パターンも可能）で求める条件をだしやすいのも特徴です。 キャスター付きで移動も楽な自立型で、使いやすい作業高さとなります。 インターロックセンサー付で基板への真空吸着圧力を感知しないと回転せず、回転中も安全カバーが開くと自動で即回転停止、と安全面にも配慮しています。また、フリーランで止まる仕様の非常停止ボタンも装備しております。 操作パネルがシンプルで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

真空関連製品、その他保守パーツの販売、サービス

真空関連製品、その他保守パーツの販売、サービス

・半導体装置及び各種真空装置の排気系ポンプの再生技術 ・真空配管系の設計・製作 ・真空関連部品の特殊洗浄・再生技術 ・真空関連製品、その他保守パーツの販売 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

瞬間真空高温ヒータープレス

ハイテク・ナノテク・新素材の研究試験機として高精度・手頃な価格で

■研究・実験・開発用向け瞬時高温真空プレス コンパクトサイズで場所をとらない為研究室などに容易に設置できます。 ■最大400℃ 常用温度350℃（最大400℃） ■瞬時真空 1kPaを10〜30秒の短時間で真空引きできます。...

メーカー・取り扱い企業： ミカド機器販売株式会社

真空用オゾン除害器

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。

PARAM社製、真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。従来製品に比べ、分解効率が数倍高いマテリアルを開発したことにより、処理能力が非常に高く、発塵の無いオゾン除害器となっております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

自公転式真空撹拌脱泡ミキサー　V-mini300

小さなボディに「撹拌」「脱泡」「充填」の３機能

小型・軽量の卓上型で研究・開発から少量生産に最適な １台で３つの高機能を有する自公転式真空撹拌脱泡ミキサー １．高粘度や高チクソなど、撹拌が難しい材料も短時間で均一に撹拌 ２．サブミクロン以下の泡も完全脱泡 ３．泡が再混入しないシリンジへの充填 更に メインテナンスフリー(ドラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社EME

真空チャンバー制作技術紹介

真空容器製作等にお困りの方は是非弊社まで！！

真空容器製作事例を紹介。真空設計製造ならお任せください！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン