真空ポンプに捕捉フィルターをつけてポンプトラブルを事前に防止！

PR捕捉フィルターがカギ！樹脂・化学業界にもドライポンプが使用可能に。ドラ…

当社がご提供する「HSコレクター」は、パーティクルを98%以上捕捉する高性能・コンパクトな捕捉フィルターシステムです。 ポンプトラブルを事前に防ぐ方法はないかと多々ご相談を頂くことが多くあったので、真空ライン中のオイルミスト・溶剤・モノマー・オリゴマー等を最も効率よく捕捉し、メンテナンス性・耐薬品性にも考慮して開発しました。 また、ドライ真空ポンプとセットでご提供も可能です。 省エネ・低...

メーカー・取り扱い企業： エイチアールディー株式会社 本社・大阪第一支店・大阪第二支店・名古屋支店・豊田支店・東京支店・HRD-THAI

電流導入端子

PR高真空、超高真空へ の電流導入端子です！

米国MPFプロダクト社の電流導入端子のご紹介です。 ■MIL丸型、C-Sub型のマルチピン、熱電対、高電流・高電圧タイプ、同軸タイプ等各種電流導入端子を取り扱っております。 ■電流導入端子と併せて使用するコネクタ、ケーブル等もお取り扱いがございます。 ■標準品のカスタマイズ（フランジの変更、ピン長さの変更等）にも対応しております。まずはお問い合わせ下さいませ。 ※詳しくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

Hepco Motion社　高低温/真空対応ベアリング

Hepcoの極限温度範囲/真空対応ベアリングは、最も困難な環境に対応す…

許容負荷範囲：0〜8,000N 速度　　　　：0〜8m / s Hepcoの極端な温度と真空の範囲は、最も困難な環境に標準化されたリューションを提供することにより、設計エンジニアが直面する課題に対応します。 •半導体、ウェーハ処理、LCD＆有機ELパネル製造、蒸着装置などの産業および...

メーカー・取り扱い企業： ミワ株式会社

真空UV硬化装置『ＫＮＵＶ－１』

真空環境下でのＵＶ照射により硬化処理効率ＵＰ！ 最大８インチまでのウ…

★ 真空環境下でのＵＶ照射により硬化処理効率ＵＰ！ ★ 最大８インチまでのウェハリング対応！ ★ 窒素パージ不要でランニングコスト削減！ ★ 工程ウエハ処理に最適！ ・酸素濃度を真空環境にして Ｕ...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

真空熱加圧装置 3Dタイプ

3D形状へ真空熱加圧を行う装置です。 曲面貼りや凹凸封止、段差への追…

加圧膜を用い、異形状への等方向加圧を可能にしました。 曲面や異形状への真空加圧で貼合等を行います。 《特徴》 〇曲面や段差などに等方向加圧が可能なミカド特許技術です。 〇異形状なワークのどの面にも金型なしで加圧を行う事が可能です。 〇ミカド独自のチャンバー構造...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

サファイアウエハー及びインゴット

研究用や真空装置のビューイングポートでの使用に最適！少量販売も可能です

Hansol社は、韓 国で多くの実績があるウエハメーカーです。 ◆Ingot内製化を通じた資材の安定的確保 ◆高 い価格競争力 ◆少量でも販売します ◆研究用や真空装置のビューイングポートでの使用に最適 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

【カタログ無料進呈】『半導体ウェハー・ガラス基板搬送用ロボット』

＜高精度・高速性・高剛性＞大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えて…

当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテック

ウェハー表面改質・精密接合装置

超高真空～加圧雰囲気に任意対応！均一な加熱、加圧機能を備えた接合システ…

当製品は、ウェハーレベルのシリコン、金属、石英、ガラス等を 真空～任意雰囲気で表面改質処理後精密接合する装置です。 4～6インチのウェハーレベル各種ボンディングに対応。 陽極接合、拡散・共晶接合、直接接合、熱圧着接合など、接合材料に適した 表面改質...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

ウエハ吸着テーブル用クリーニング材『クリーニングウエハ 』

簡便・確実にウエハ裏面に接する部位の微小異物を捕集できるウエハ

するだけでトラブルの原因となる微小異物を 捕集できるので、装置稼働率が大幅に向上します。 【特長】 ■ダミーウエハの片面に異物捕集性と自動搬送性とを兼備えた 　クリーニング層を装備 ■真空チャンバの異物によるトラブルの解消では、 　従来法と比べ大幅な時間短縮が期待可能 ■従来の人手によるクリーニングに比べ、 　簡便で頻度・確度・対応性にすぐれる　など ※詳しくはPDFをダ...

メーカー・取り扱い企業： 日東電工株式会社 東京支店

プラズマＣＶＤ成膜

ガスを化学反応させることで緻密な薄膜を形成！低温加工も可能です。

ガスを、プラズマにより励起や分解をさせて、 基板表面で吸着、反応等を経て膜を形成する方法です。 プラズマを用いるため熱ＣＶＤに比べて低温での製膜が可能です。 また、イオンプレーティング法、真空蒸着法、スパッタリング法と比べて凹凸への付きまわりがよいのも特徴です。 弊社では、イオンプレーティング法、真空蒸着法に加え、 プラズマＣＶＤ法によるコーティングサービスも行っております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

アル株式会社　会社案内

グロバールなネットワークでお客様をサポート！ALUがお届けします

フレンドリーな カスタマーサポート・サービスを提供し続けて参りたいと考えております。 【事業内容】 ■各種ウェーハープロセス装置用部品・材料の設計・製造・輸入・販売 ■スパッタリング・真空蒸着装置の輸入・販売(米国CHA社) ■高純度水素精製装置(ジョンソンマッセイ社)の輸入・販売 ■サファイア基板・部品の輸入 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： アル株式会社 本社

ヤマトマテリアル株式会社 事業紹介

消費者の動向から地球環境を考えたビジネス！企画・開発・提案力を重視！

防水試験装置（スマホ・タブレットなど） ■荷重試験機（押す・引く・ねじる力を定量測定） ■オシロスコープ（テレダイン・レクロイ）　他 〔梱包資材〕 ■JEDECトレイ ■チップトレイ ■真空成型トレイ ■初期確認用モデリング製作（トレイなど） ■低発塵・RoHS規制対応　結束バンド　他 〔その他〕 ■光学ガラス加工 ■ガラス非球面レンズ ■各種薄膜加工（真空蒸着、スパッタ）...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

高速ハンドラー装置　部品移載機『BITA-1,2』

最大25,000UPHの高速移載 高精度/ ダメージレス収納 様々…

に優しい、ダメージレス吸着・収納 吸着時と収納時に部品に与えるダメージをなくすため、微細 な「すきま」を維持した高さへノズルを位置決めする高精度 な高さ（ Z 軸）制御を行います。また、高度な真空圧制御を行 い、すきまを維持した状態での吸着・収納品質を安定させて います。 4 ．更なる自動化、高品質化のための、様々なオプション機能 部品の寸法に応じて選択可能なノズルラインナップ、複数...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

超細1.4ｍｍｘ長55ｍｍの極細・長尺ワーク用ベルヌーイチャック

幅1.4ｍｍｘ長さ55ｍｍの極細・長尺ワークを 非接触にて搬送するベ…

作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

12インチリング付きウェハ処理が可能！ 表面改質、無機物/有機物汚染…

常停止、 USB ポート 1 ヶ RF 電源 最大 1kW : 13.56MHz 総合通信局への申請が必要です ガス源 Ar1 系統標準： 0.1 0.15MPa ※O2 ［追加オプション］ 真空ポンプ 最大排気速度： 500 L/min...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

スパッタリング成膜

高エネルギーを利用して材料そのものを叩き出す、再現性に優れた成膜技術！

ン）を成膜材料（ターゲット）に衝突させ、 その衝撃で材料成分をたたき出し、ガラスやシリコンウエハーなどの基板上に堆積させることで、薄膜を形成する方法です。 弊社では、イオンプレーティング法、真空蒸着法に加え、 スパッタリング法によるコーティングサービスも行っております。 現在、スパッタリング法での対応膜種は、Ti、TiN、TiCの３膜種とさせていただいております。...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

非接触チャック

ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック

を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　作動面とワークとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とワークとの間隙はそれぞれエゼクターのノズル、真空室およびデフューザの機能をはたします。そのためクッション室には負圧が生じワークを引き寄せることになります。ワークが引き寄せられ作動面との間隙が小さくなると、クッション室は圧力室型エアクッション（ホバ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

日本機能材料株式会社　会社案内

日本機能材料株式会社は、SiGeのエピタキシャル成長膜を提供します。

【業務内容】 ○SiGeおよびSi エピタキシャル膜成長サービス ○各種ウェーハ販売 ○石英、SiC部品販売 ○LED、電子部品材料販売 ○各種真空機器販売 ○レーザーおよび部品販売 ○新機能材料販売 ○新機能材料コンサルティング ○その他 【主な仕入先】 ○ローレンス半導体研究所（米国） ○シリコンクエストインターナショナル...

メーカー・取り扱い企業： 日本機能材料株式会社

【事業紹介】モジュール式プロセスシステム

システムがモジュール式設計！テクノロジーや生産性に応じた長期的な変更に…

当社は工業生産および研究開発のためのシステムの構築で50年以上の経験を もっています。 この専門ノウハウを活かして、顧客に比較的小さな基板の真空成膜用システムを 数百台も供給してきました。 当社のモジュール式システムにより、ウェハーをベースにした製品、3次元 形状製品、バッチで成膜幅が1,000mm以下の基板、ドラム式成膜装置、 ...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

IC部の業務紹介

微少チップの品質安定に寄与すべくESD対策の取り組みを強化しています！

【その他の業務内容】 ■チップトレイ真空梱包 ■クリーン環境に対する活動 ■ESD対策活動 ■品質保証、環境活動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニチワ工業

サファイヤウエハ販売

ＬＥＤ用、光学用パーツなど幅広く使用される単結晶サファイヤウエハです。…

【仕様例】 ●直径は、２インチ、３インチ、４インチの３種類 ●厚さは、各直系サイズ毎に３種類の厚みをご用意 ※洗浄・梱包はクラス100クリーンルーム内にて真空・N2封入梱包...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＭＴＫ