小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

ロボット向けハンドリング機器選定ガイド

PR電気でつかむ・エアでつかむ・真空で吸着する！圧倒的なバリエーションをご…

当カタログは、ロボット向けハンドリング機器ガイドです。 グリッパ 2フィンガタイプの「電動グリッパ」をはじめ、様々な形状、 多彩な機能、46モデルをラインアップした「エアハンド・エアチャック」を掲載。 電動グリッパ・エアハンド・エアチャックベストセレクションでは、 多彩な機種の中から代表的なものをご紹介いたします。 製品の選定にご活用ください。 【掲載製品】 ■電動グ...

メーカー・取り扱い企業： 新光電機株式会社

フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製…

当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および 真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。 フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、 ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格な...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ

多目的、実験用全自動成膜装置。マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ型…

型試料台で試料損傷回避 ○高速排気・簡易操作で能率的成膜 ○イオンボンバードで親水性処理機能 ○小形卓上型・小スペース ○強磁場による多種金属成膜可能 ○TMP+ダイヤフラムポンプで清浄高真空 ○低価格・コストパフォーマンスの良い機能 【その他の特徴】 ○スパッタし易い貴金属の他､Mo,W,等の重金属からTi､Al等軽金属をターゲットとし､強磁場マグネトロン方式の電極により成膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

真空対応5nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により5nm分…

光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

油拡散ポンプ用省電力ユニット 「ECO-22」

環境対策・電気代削減に役立ちます。

「ECO-22」は昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(22インチ)に簡単に取り付けられる省電力ユニットと断熱ジャケットです。ECO-22を用いることで、排気性能を実用上低下させずに、環境対策、電気代削減が可能になります。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

液体２００Ｌ用懸垂式真空容器

世界に先駆けた画期的真空容器

◆製品特徴◆ 〜世界に先駆けた画期的真空容器〜 〜最後の１滴まで真空のまま内部液体を全量吐出〜 ・酸化防止 ・合成保存料、防腐剤の削減 ・胴膨しない特殊構造 ・ウォーターハンマー（水撃作用）現象を回避 ・野外放置仕様は耐爆性防...

メーカー・取り扱い企業： IMARI株式会社

真空仕様エンコーダ

真空環境で使用可能エンコーダ。150℃で48時間のベーキングが可能

■真空環境下でも、高性能を発揮。 　10(-8乗)torr、150℃で48時間のベーキングが可能。 Ｖシリーズは、真空環境用として設計された非接触のエンコーダです。真空仕様のガス発生が少ない材質を...

メーカー・取り扱い企業： ノヴァンタ・ジャパン株式会社 セレラモーション事業部

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ

ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な４インチサイズ。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１Ｓ

SEM試料のために。試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１Ｓは低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。 ○試料に優しいマグネト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

真空対応10nmフィードバックステージ　微小回転タイプ

【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵…

光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 回転方向の調整用に適しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージ 昇降タイプ

真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置…

解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチ

φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチはマグネトロンターゲット電極で、φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。膜厚ムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【主な特徴】 ○マグネトロンターゲット電極で、φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

真空対応サブミクロンフィードバックステージ 微小回転タイプ

真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ　

ーズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。 分解能はコントローラによって「0.00005」または「0.0001」分解能で 動作させることができます。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空蒸着用ボート

真空蒸着用フィラメント・ボートです。

◆真空蒸着用ボート(タングステン、モリブデン、タンタル) 0.1t、0.15t、0.2t、0.3t、0.5t　その他の板厚もご相談ください。 ◆真空蒸着用フィラメント(タングステン) 0.4φ〜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クラフト

真空対応10nmフィードバックステージ　50mm動作

【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージ 100mm動作

真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…

内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって 「50nm」または「100nm」になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空固定式緩衝材『ハジーフレックスモールド（ＨＦＭ）』

製品の仕様変更に合わせて形状変化が可能なリターナブル緩衝材

『ハジーフレックスモールド（ＨＦＭ）』は、製品の仕様変更に合わせて形状変化が可能なリターナブル緩衝材です。 ●製品ごとの設計・製作の手間が省けて経済的 　ワークにあわせて自分で型を作ることが可能です。 ●成型品なみの安定性と緩衝性能を実現 ●外箱（ケース）の省スペース化も実現 ●断熱性も併せ持つ ●繰り返し使えるので中のワークを代えて再型取りが可能 ◆詳細は、資料請求もしくは...

メーカー・取り扱い企業： IMARI株式会社

XYZステージ　XYZシリーズ

XYZステージ　XYZシリーズ

や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 　各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 　クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

Zステージ　LMTシリーズ

Zステージ　LMTシリーズ

コンポーネントを取り付け 大気側から直接移動調整が可能な中空Zステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により 　MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ34CF〜φ114CFまで対応 ○各種センサー・蒸着源と組み合わせることにより 　真空内への移動が容易に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

圧力コントローラ『AP-100Rシリーズ』

独立した圧力モニター及びコントロールが可能な、ダウンストリーム圧力制御…

『AP-100Rシリーズ』は、製造装置における真空チャンバーを真空排気 する際バルブコンダクタンスを変化させることにより、真空排気速度を 制御する為のダウンストリーム圧力制御装置として使用します。 2個のキャパシタンスマノメーターを接続し...

メーカー・取り扱い企業： メガトール株式会社

『ピエゾステージ』研究・産業用途にも！

研究・産業用途にも！超小型超高真空極低温対応可能『ピエゾステージ』

オーテックス株式会社が取り扱っている『ピエゾステージ』は、超小型で 超高真空極低温でもスタンダードで購入しやすい価格の製品です。 極小ピエゾステージ「MS15」などの各種小型ピエゾステージの他、 「SMファイバーカプラー」や「XYZポジショナー」等も取り扱っております。...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

シグマテック株式会社　会社案内

正確性・安全性を考慮し、常に安定したサービスを提供いたします

置決め機器の製造および販売等を行っている会社です。 光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、独自のフィードバック 回路を搭載した「高分解能フィードバックステージシステム」をはじめ、 「真空対応フィードバックステージシステム」などを取り扱っております。 【事業内容】 ■精密位置検出器の製造および販売 ■精密位置測定器の製造および販売 ■精密位置決め機器の製造および販売 ■...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

コンタクタ『DILシリーズ』【Push-in技術採用！】

DILコンタクタ（電磁接触器）のPush-in技術の採用により、配線作…

DILコンタクター（電磁接触器）は、パワフル且つ効率的で、汎用性が高く、当社の全製品と組み合わせることができます。ミニコンタクタリレー（最大7A）から真空コンタクタ（最大3,180A）まで、すべての出力範囲をカバーしており、グローバルな使用に適しています。 製品ラインアップの拡充とPush-in技術の採用により、配線作業をより簡単に、より早く、...

メーカー・取り扱い企業： イートン・エレクトリック・ジャパン株式会社

【自動着脱装置】配管・配線の接続作業を自動化します！

油圧、エア、電気は勿論、練り歯磨き粉、粉体ペレット、チョコレート、真空…

■オートコネクタ（オートカプラ）を使うと 生産性の向上…自動化/段取り時間の短縮で生産効率が上がります。 ＦＭＳ化の実現…遠隔操作が可能になります。 安全性の向上…危険な場所へ近付くことがなくなります。 安全性の向上２…危険物（高温水や塩酸等）配管ラインの切換を自動化が計れ、作業者の安全性向上に繋がります。危険作業がなくなります。 環境改善…高温・多湿や汚れる場所での作業がなくなります。...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

【無償デモ受付中】長寿命な帯電装置『コロナ帯電バー』※動画あり

電流値が低く安全性が高い！【高電圧ケーブル不要】

固定（テープを使いたくない現場での使用） ■フィルター等のエレクトレット化 ■スリッター機巻取部の蛇行運転防止 【特長】 ■昇圧部を直接帯電バーに取り付ける構造で高圧ケーブルが不要 ■真空注形により、信頼性が高く、長寿命 ■電極要所に保護抵抗を入れることにより、安全性を重視 ■電流の均一分布 ■周辺装置へのノイズ等の影響が少ない 　　　　　　　　　＜無償デモ 受付中＞ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテクノ

GIMATIC総合カタログ＆CADデータCD【無料プレゼント！】

GIMATIC（ジマテック）全製品の総合カタログとCADデータを収録し…

取出しチャックに使用されるアルミフレームやツールチェンジャーなどの取付部品から、平行開閉タイプやスプルー用などのエアーグリッパー・真空パッド・吸着金具など直接ワークに触れる先端部品まで、ワンストップで提供する北イタリアのメーカーです。 ≪ 第9回　国際プラスチックフェア（IPF2017）出展のお知らせ≫ 会期：10月24日...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

インクリメンタル角度エンコーダ RIK 4

NUMERIK JENA社製－コンパクトサイズのインクリメンタル角度エ…

■特長 ・小型形状 ・アルミ製目盛ディスクの採用による低慣性モーメントの実現 ・ディスク径や目盛線本数の種類が豊富 ・出力信号補正機能搭載 ・真空対応バージョンも用意 ■仕様 ・目盛線本数: ～24000 ・ディスク外径: φ19mm～φ192mm ・最高回転速度: 22000rpm ・インターフェース: 1Vpp、TTL...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ LIK 41

NUMERIK JENA社製－コンパクトサイズのインクリメンタルリニア…

■特長 ・限られた設置スペースに対応する超小型寸法 ・大きな取付け公差 ・出力信号補正機能搭載 ・真空対応バージョンも用意 ■仕様 ・目盛間隔: 20μm ・推奨分解能: 5μm～0.05μm ・精度等級: ±5μm ・原点: 中央に1箇所 ・インターフェース: 1Vpp、TTL...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

アドフォスNIR ： 超近赤外線加熱装置

樹脂・フィルムから金属まで、幅広い業界における加熱処理を劇的に短縮しま…

で、塗膜を瞬間的に昇温し、 基材が熱影響を受ける前に乾燥/焼成することが可能。 ◆エネルギーロスも少なく、短時間処理が可能なため、環境にやさしい。 ◆幅広い還元雰囲気に対応可能。 ⇒真空・N2雰囲気など、あらゆる環境下でご使用頂けます。 ◆独自のリフレクター（反射板）形状により、 エネルギーを集中させることも、エリア内に均一に照射することも可能。 ★事前に弊社施設...

メーカー・取り扱い企業： 松本金属工業株式会社

省力自動機械

省力自動機械の設計製作します。 製造工程の自動化、合理化、省力化に貢献…

製造工程の合理化、省力化に専用自動機械を設計製作します。 異物除去機械、液体計量充填機、粉体計量充填機、デパレ設備 油圧応用機械、真空応用機械 ●詳しくはカタログをダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社西島鉄工所 本社

コンサルから設計・製作、据付、メンテナンスまでフルレンジに対応！

【自動車、電機、重工業から化学分野まで、幅広く対応可能】お客様のご要望…

【参考実績】 ○自動車 →オートメイテッドパネルラインのフルFA化（自動化率99％以上）など 生産の全ステージ、フルラインでの自動化や各種性能試験の自動化を実現 ○電機 →自動真空成形機や自動発泡加工ライン（冷蔵庫・自動販売機用）の自動化に 実績があるほか、IT（情報技術）関連分野の技術も着実に蓄積 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業： 富士エンヂニアリング株式会社

株式会社鳥羽洋行 事業紹介

産業の発達に貢献するFAプランナー

【取扱品目】 ■制御機器 　・空気圧機器 　・電子センサー 　・圧力センサー 　・流体継ぎ手 　・真空機器 　・緩衝剤　など ■FA機器 　・産業用ロボット 　・自動組立機 　・表面実装システム 　・レーザー加工機 　・精密塗布装置　など ■産業機器 　・電動ドライバー 　・アル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社鳥羽洋行 営業本部

株式会社山岡製作所【製造部　受託生産課】

フォークリフトや超純水製造装置（オルガノ）保有！設計を含む、総合請負対…

フォークリフト（バッテリー式）⇒能力：3.0t　※宇治田原工場 ■KOLEC [通称：コレックリフター] ⇒能力：600kg　※宇治田原3棟CRのみ ■ボール盤・グラインダー ■排気ブロアー・真空ポンプ ■超純水製造装置（オルガノ）：1台 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

日本メカテクノ株式会社　事業紹介

新製品の生産自動化に挑戦する技術者集団

応用技術 　・フープ材工程生産技術 ■組立技術 　・カシメ、圧入技術 　・定量注液技術 　・ネジ締め、半田付け、溶接技術 　・洗浄、クリーン環境技術 　・塗布、接着、熱封止技術 　・真空、ドライ環境技術 ■検査技術 　・電気検査技術 　・流量、リーク検査技術 　・計測回路技術 　・画像処理技術 　・力、変位検査技術 ■情報処理&セーフティー 　・MES、トレーサビリ...

メーカー・取り扱い企業： 日本メカテクノ株式会社

高耐熱ヒーター　セラミック用ポリイミドヒーター施工

セラミック等脆性材料や曲面への貼付けが可能なヒーター

・　ヒーター絶縁カバーに特殊ポリイミドを採用 ・　低アウトガスにて真空(宇宙)環境にて使用可能(NASA認証取得済） ・　化学耐性があり防水仕様もあり ・　工場貼り付けにより脆性材料や曲面への貼付けが可能 主な仕様) ・　使用温度　-200～260℃ ・　最...

メーカー・取り扱い企業： ミンコ・プロダクツ合同会社

株式会社藤浪 事業紹介

株式会社藤浪の3つの柱を通しコストダウンをご提案します

要】 ■部品加工 　・機械加工 　・板金加工 　・プレス加工 　・表面処理加工 ■FA機器販売 　・ロボット 　・油・油圧機器 　・伝導・制御機器 　・物流・マテハン機器 　・真空関連機器　他 ■工場工事・メンテナンス 　・工場施設工事 　・配管工事 　・その他設備工事 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社藤浪 株式会社藤浪

1965年の創業から培った高度な試作金型技術を【試作金型】

樹脂成形用簡易金型・精密板金用金型で小ロット生産でのご依頼も問題ありま…

を製作しているのかについてご紹介いたします。１９６５年３月の創業以来、培ってきた高度な試作品製作技術を、どうぞご覧ください。 【特徴】 ■3D-CAD/CAMやプロトタイプ製作になどに対応 ■真空注型・3D-コピー、光造形などに対応 ■樹脂成形用簡易金型 ■精密板金用金型 ■小ロット生産可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社内外

ピエゾアクチュエーター　MPAシリーズ

光学ミラーの精密制御、レーザーシステム、スキャニング（走査）装置に最適…

【特長】 ○高速応答 ○高精度位置分解能 ○積層ピエゾアクチューエーターに予備圧縮力を与えて金属ケースに内蔵 ○低コスト ○短納期 ○形状変更、真空対応などカスタマイズにも対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メステック

日本ピスコ　商品群カタログ

確かな製品づくりと豊富な品揃えで、あらゆる分野の産業界を支え続けており…

確かな製品づくりと豊富な品揃えで、あらゆる分野の産業界を支え続けております。 【商品群カタログ掲載内容】 ■継手シリーズ ■制御シリーズ ■切換シリーズ ■真空シリーズ ■アクチュエーターシリーズ ■チューブシリーズ ■プラレールチェーンシリーズ ■ロボットパーツ（ハーモ製）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステ…

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）

リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したス…

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 （フィードバックステージシステム）の総合カタログ。 フィードバックス テージ ・ フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格など...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージシステム

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm…

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により10nm…

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社