- 製品・サービス
112件 - メーカー・取り扱い企業
企業
4件 - カタログ
26件
-
-
-
微小領域測定、透明基板対応など、様々な膜厚分布測定に対応！高速マッピン…
『MEシリーズ』は、1nm以下の膜厚変化も高速・高密度に面測定が可能な 膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータです。 φ8“ウェハまで全面測定可能。微小領域測定、透明基板対応など、様々な 膜厚分布測定に対応します。 独自開発のPCAセンサーにより、瞬時測定や移...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社フォトニックラティス
-
-
-
-
極小領域の膜厚測定が可能に！電子線照射時に発生する特性X線の強度から膜…
当社ではEPMAによる薄膜の膜厚分布測定を行っております。 薄膜の膜厚測定は主に蛍光X線法やX線反射率法で行われており、X線を入射源と しているためある程度の広い測定領域の平均的な膜厚しか測定できませんでした。 それに...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ
-
-
-
-
コンパクトサイズ！点/線/面分布測定が可能なモデル、低価格モデルをライ…
当社では、膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』を 取扱っております。 「SE-102」は、コンパクトサイズながら点/線/面分布測定が可能。 数mm程度の狭い領域内の膜厚/屈折率分布の測...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社フォトニックラティス
-
-
-
-
多点マッピング測定により膜厚分布を可視化
蛍光X線分析（XRF）では、元素分布や膜厚の簡便な評価が可能です。 本事例では、金属薄膜の評価事例として、4inchのSiウエハ上のAuの膜厚分布について多点マッピング測定をした事例をご紹介します。 多点マッピングを行うことで、各点のXRFスペクトルよりFP(Fundamental Parameter)法を用いてAu膜厚を算出し、測定座...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
お持ちの顕微鏡とドッキングも可能！顕微鏡膜測定と２D分光放射オプション…
『FF8』は、サンプルの反射率（干渉波形）を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT（フ－リエ変換膜厚計）や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触多ポイント膜厚測定が可能です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 オプションでは、顕微鏡膜測定や...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムロード
-
-
-
-
スパッタの基礎と装置の改善策 ～トラブルから見た膜厚分布改善
★スパッタプロセス時に要求される、膜厚分布の改善、パーティクルの低減改…
講 師 株式会社アルバック 半導体電子技術研究所 研究部 部長 様 対 象 スパッタリング、薄膜技術に関心のある技術者・研究者・担当部門・初心者など 会 場 東京中央区立産業会館 4F 第2集会室【東京・日本橋】 都営新宿線 馬喰横山駅 地下通路経由 B4出口 5分 (道案内2) JR総武快速線 馬喰町駅 東口改札経由 C1出口 5分 (道案内3) ほか 日 時 平成...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech
-
-
-
-
【亜鉛めっき光沢剤ジンケート浴】膜厚のばらつきにお困りのあなたへ
高い均一電着性！寸法公差の厳しい製品の管理を容易にしませんか？
め、めっき専任技術者が国内大手メーカー２社の光沢剤と比較試験を行っています。 均一電着性について、２社に比べて「高電部と低電部の膜厚差が少ない」という結果がでています。 ※画像・カタログ資料に膜厚分布の比較表を掲載しております。 【特徴】 ■高い均一電着性 ■30～35℃でのめっきが可能(液温の加熱・冷却エネルギーコスト削減ができる) ■広い光沢範囲 ■ベーキング後の外観変化が少...
メーカー・取り扱い企業： 二葉産業株式会社
-
-
-
-
-
シルベックの製品形状を問わずめっき膜厚が均一に仕上がるめっき！【 無電…
Q：製品形状を問わずめっき膜厚が均一に仕上がるめっき！【 Elp-ニッケル 】 A：電気めっきと異なり、電流分布によるめっき厚のばらつきが無いため、製品形状には比較的とらわれず均一なめっきが可能です。ただし、尖った部分、めっき液の流動が悪くなる部分などはめっき膜厚が薄くなる傾向があります。 ...無電解ニッケルめっきはカゴ処理がメインとなります。 疑問点等ございましたら、お気軽にお問...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社シルベック 本社工場
-
-
-
-
500μm厚までの厚膜レジストやポリイミドを非接触で高精度測定。
スト膜厚測定装置 KV-300/KF-10は従来安定した膜厚測定が困難とされていた超厚膜レジストを非接触で高精度な測定ができます。標準搭載の自動マッピング機能は、高精度自動ステージにより基板の面内膜厚分布をスピーディに表示します。KV-300は、自動R-θステージ採用により、300mm基板に対応しながらもフットプリントを最小限に抑えた設計になっています。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...
メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社
-
-
-
-
【分析事例】シームレスカプセルの三次元構造観察および膜厚解析
X線CTによりシームレスカプセルの評価・解析が可能
、内部に粉末や液体を内包することができ、医薬品などに利用されています。 本事例では、X線CTにてシームレスカプセルの3D構造を評価しました。その結果、皮膜内部に異物が確認されました。また、皮膜の膜厚分布を3Dイメージおよびヒストグラム化しました。このようにX線CTを用いることで、内部構造の確認、異物の調査、膜厚分布等を非破壊で評価可能です。 測定法：X線CT法 製品分野：医薬品 分析目的：...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
-
EHL（弾性流体潤滑）領域の油膜厚さ測定【EHD油膜厚さ試験機】
弾性流体潤滑状態における油膜厚さを、光干渉法の原理を用いて測定します。…
【製品概要】 EHD油膜厚さ試験機は、英国PCS Instruments社が提供する卓上型全自動油膜厚さ試験機で、既に実績のあるEHD1の後継機種にあたります。 【特徴】 従来の光干渉法よりも薄膜(最小油膜厚さ2nm)を測定することが可能です。 オプションの3D-SLIMを使用することで、接触部全体の油膜厚さ分布を解析することが可能です。 【主な評価内容】 油膜厚さ ...
メーカー・取り扱い企業： 島貿易株式会社
-
-
-
-
-
【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
ステンレス(SUS)は耐食性に優れ、様々な工業製品・部品として使用されています。腐食に強い材料ですが、経年劣化や加工処理によって表面不動態皮膜の組成に変化が生じると不具合の原因につながります。今回、TOF-SIMSを用いてステンレス表面の金属酸化膜の状態について分析した事例をご紹介します。TOF-SIMSでは酸化物状態として分子情報を高感度に得ることで、表面数nm～数十nmの酸化物の分布を得ること...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
可搬型膜厚プロフィル測定装置「Line-FiDiCa」のご案内
手軽に持ち運ぶことができる膜厚プロフィル測定装置をご紹介いたします
● 約140mmの線状領域の膜厚分布を1320点測定可能 ハイパースペクトルカメラを使用した測定で、空間軸方向の画素数は1320画素と多いため、従来では考えられないほどに高精細な膜厚の分布を観測することが可能になります。 点...
メーカー・取り扱い企業： JFEテクノリサーチ株式会社
-
-
-
-
ピストン内部の油膜、燃料付着など膜厚量を定量化するのに好適なシステムを…
『油膜計測システム』は、計測したい対象物に蛍光剤を混ぜ、蛍光剤が 励起する光源を照射することで計測を行います。 励起させた蛍光剤の輝度を膜厚換算し、油膜厚さを計測することが可能。 ピストン内部の油膜、燃料付着など膜厚量を定量化するのに好適な システムです。 【解析部】 ＜膜厚量解析ソフトウェア＞ ■励起させた蛍光剤の輝度を膜厚換算し、油膜厚さを計測 ■膜厚計測範囲：10...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナックイメージテクノロジー
-
-
-
-
インライン膜厚分布測定装置「フィディカ（FiDiCa）」のご案内
薄膜による干渉光をイメージング分光器で測定した世界初のインライン膜厚分…
イメージング分光カメラ（ハイパースペクトルカメラ）により、線状領域の反射光を分光して2次元の画像として出力します。 モノクロカメラと接続することで同時に多くの点の分光データを採取できます。...■装置仕様 膜厚レンジ：50nm～1000nm 100nm～5000nm 1000nm～100000nm 測定サイズ：視野幅：50mmから2000mmまでで任意に設定可能 測定長：...
メーカー・取り扱い企業： JFEテクノリサーチ株式会社
-
-
-
-
精密塗布技術におけるスジ、ムラ、膜厚分布の均一化技術および乾燥ノ
★塗布スジ、塗布ムラ、膜厚分布、乾燥ノウハウ、、、 ※9月7日までに…
をエレクトロニクス(電子材料)分野に応用展開する場合の技術的ポイントや、開発段階で考慮すべき課題(処方設計・塗布技術・送液技術)や、現場の実用化段階で発生すると思われる問題点(塗布スジ・塗布ムラ・膜厚分布の不均一・・・)と、その原因と対策方法について、筆者の現場での経験をもとに考察したい。 今回は、電子材料分野で良く利用されているダイコート技術を中心に述べるが、その中で、塗布スジ(縦スジ)、塗布...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech
-
-
-
-
半導体製造装置用 面内温度分布測定ツール『T/C ウエハー』
温度変化・温度分布をリアルタイムにロガーに伝達！温度特性を正確に把握す…
実温をリアルタイム測定できる 半導体製造装置用の面内温度分布測定ツールです。 装置側の設定温度のみではなく、実際にウエハにかかる温度分布特性を 知ることでプロセス温度設定・制御の簡略化、膜厚分布均一性の向上に貢献。 独自の埋め込み技術により、温接点位置の固体差も低減し、読み込み温度の 高い信頼性が得られます。 【特長】 ■ウエハの実温をリアルタイム測定 ■読み込み温度の...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミヤビインターナショナル
-
-
-
-
2つの測定モードを選択し、測定作業をよりスムーズに！蛍光X線式膜厚計の…
『EX-851』は、今までの膜厚計とは別の機構のステージを採用し、 ステージのなめらかな移動を実現した蛍光X線式膜厚計です。 フルオートフォーカスモードでは、レーザーポインタ照射位置に測定物を セットし、ドアを閉めるとステージが自動で移動、測定までを自動で行います。 測定台の動きがよりスムーズになり、ステージ移動の際のイライラを解消。 現行製品の50倍の移動精度を実現します。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社電測
-
-
-
-
フィルム用高性能欠陥・膜厚検査装置『Easy Inspect』
1秒間に最大3万欠陥を検知できる高精度欠陥検知能力！最小10μmまでの…
す。1秒間に最大3万欠陥を検知できる、高速・高精度欠陥検知能力を持ち、最小10μmまでの欠陥を検知可能です。オプションソフト「Easy Measure」を用いると、欠陥検出と同時にフィルムの全面の膜厚分布をリアルタイム測定出来ます。 【特長】 ■高速・高精度欠陥検出能力 ■膜厚モニタリング能力 ■ローコスト・省スペース ■300メーター/分以上の量産ラインで採用実績あり ■周期性・...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メディア研究所
-
-
-
-
『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル厚膜ハイブリッド集積回路のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を1月5日に発行しました。本レポートでは、厚膜ハイブリッド集積回路市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、厚膜ハイブリッド集積回路市場の開発方針と計画、製造プロセスとコスト構造についても考察します。主要生...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
-
-
-
-
塗料の微粒化と定量供給を実現『IPD微粒化粉体塗装制御システム』
借りて、使って、コストダウン！粉体塗料の定量供給と微粒化を実現しました
『IPD微粒化粉体塗装制御システム』は、粉体塗料の粗大粒子を 解砕(かいさい)し、定量供給したうえで微粒化粉体塗装を実現します。 粗大粒子をインジェクター部にある微粒化デバイスで解砕、通過する粉体流量を センサーで読み取り、コントローラーで吐出量を増減することで定量供給を 可能にしています。 製造時の理想的な粒度分布を再現することで、色々なメリットが出てきます。 詳しくは、関連リンクのYou...
メーカー・取り扱い企業： 川口化成品株式会社
-
-
-
-
-
【塗料ブツ不良やスピット対策】後付け可能な 粉体塗装制御システム
品質改善や不良品削減など、粉体塗装のお悩みを解決！搬送や保管時に生じる…
粉体塗装をする際、塗膜のラウンド肌が気になったり、 ネジ穴まわりのシワなど厚膜ゆえの不具合、などでお悩みではないでしょうか。 それは、粉体の粒径や吐出そのものが安定していないのが問題かもしれません。 IPD微粒化粉体塗装制御システム『IPD-KKEX』は、微粒化デバイスを備えたインジェクターにより 粉体塗料の粗大粒子を解砕することで、塗料メーカーが製造した直後の理想の粒度分布へ戻す粉体塗装制御シ...
メーカー・取り扱い企業： 川口化成品株式会社
-
-
-
-
-
無電解ニッケルメッキ製品
【概要】 弊社のめっき設備の特徴は、小はピン類から大は幅２メートル、深さ３メートルまでの大型部品に対応できる複数の専用ラインをもち、アルミニウムからセラミックス材料まであらゆる素材に対応できることです。また、半導体製造装置部品等の精密加工用に超均一厚付めっきが可能です。 【特徴】 ●硬くて耐摩耗性がある ビッカーズ硬度HV500（非熱処理）HV1000（400℃熱処理後）の硬さをもち、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブラザー
-
-
-
-
レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！ 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【特長】 ■スピンプロセスによる膜厚分布の高均一性 ■2～12インチまで対応可能 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■自動ウェハサイズ検知機能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…
する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている ○電子ビーム式蒸発源は6点式坩堝を採用していますので、 同一真空中内で6種類の成膜が可能 ○基板はφ75mmで30枚、φ100mmで20枚...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
-
-
-
-
基板温度900℃を実現！基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布…
し、 金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です。 CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能。 また、基板ステージに3軸機構（昇降、公転、自転）を搭載し、 均一な膜厚分布を実現します。 【特長】 ■当社独自のスパッタカソードを搭載 ■当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載し、基板温度900℃を実現 ■最大4台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価
エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…
膜厚と屈折率の経時変化 図5 スピンコート後大気下乾燥中のPVA膜中に含まれる水分量の変化 図6 自動エッチング装置から得られる傾斜面 図7 傾斜エッチングした熱酸化膜/Si基板の熱酸化膜の膜厚分布 図8 X=0.45 cmにおけるY軸方向の膜厚変化...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
-
-
-
-
『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』
半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…
他ウェットプロセス装置、真空プロセス装置も取り扱いしておりますので、ご覧ください。 「酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置」 ■2周波独立印可方式により、低応力、高硬度、高絶縁性を実現 ■優れた膜厚分布および再現性を実現 「カーボンナノチューブ合成装置」 ■全自動でCNT合成が可能 ■優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ■基板プラズマクリーニングシステム搭載 ■優れた膜厚...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210
MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！
スプレーコーター 立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。スピンナーでは実現が難しいキャビティ、ビアホール、トレンチ構造へのレジスト埋め込み塗布も可能です。塗布...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック
-
-
-
-
【高機能の膜をコーティング】車載用リチウムイオン電池の正･負極、3Dテ…
高機能の膜をコーティングする装置「FILM装置」。クリーン・テクノロジー株式会社のFILM装置は、スロット・ダイによる高精度膜厚分布 ±2％以下を実現。車載用リチウムイオン電池の正･負極、3Dテレビ用フィルムに最適です。その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。 【特徴】 ■スロット・ダイによ...
メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社
-
-
-
-
解析波長190nm(DUV)~3,500nm(NIR)、ユーザー要求に…
だいているユーザーからの要望を取りれた改版を重ね、第4版となっています。このソフトウェアは解析に便利な[対話モード]と繰り返し測定に適した[レシピモード]があります。また、膜厚の均一性評価に役立つ膜厚分布の自動測定も行えます。...
メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社
-
-
-
-
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能
アルミニウム電極表面のOHやフッ化物は電極の腐食原因の一つであり、アルミニウム表面の状態を調査することは不良原因の調査に欠かせません。TOF-SIMSは最表面での深さ方向分解能に優れ、無機物の状態をモニターしながら高感度に深さ方向分布を測定することが可能です。OHと併せて深さ方向分布を評価することで、酸化膜厚の変化を伴わずにOHが増加していた現象を見出しました。このようにTOF-SIMSでは元素分...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔…
■ 前処理が必要がなく、 20分/ポイントと従来型に比べて高速に測定が可能です。 ...【アプリケーション】 ・Low-k膜の細孔率測定 ・色素増感太陽電池のTiO2細孔率測定 ・細孔サイズ（0.5~65nm)、厚さ（50nm～５um)のサンプル 【特徴】 ・膜厚、屈折率、表面積、浸透率、ヤング率、CTE計測も測定可能 ・従来の方式に比べ、短時間での測定が可能（２０分/point...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
-
-
-
-
優れた膜厚分布および再現性を実現！基板プラズマクリーニングシステム搭載
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全自動でCNT合成が可能 ■基板プラズマクリーニングシステム搭載 ■優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現 ■優れた膜厚分布および再現性を実現 ■豊富な蓄積データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
広範な膜特性の制御可能！大幅なパーティクル低減および生産性を向上します
マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作可能ですので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■2周波独立印可方式により、低応力、高硬度、高絶縁性を実現 ■優れた膜厚分布および再現性を実現 ■特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ■広範な膜特性の制御可能 ■豊富な蓄積データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
製品内部の複雑形状品にも均一な膜厚のアルマイト処理が可能となった事例を…
当社が行うアルマイト処理で、課題を解決した事例をご紹介いたします。 光学製品に使う部品の内部構造が螺旋状になっており、内部まで 艶消し処理がかからない部分が発生したことで、光の乱反射がおこる という、お客様からの課題がありました。 全自動の機械では対応できない調整を手作業ラインにて行うことで、 製品内部の複雑形状品にも均一な膜厚のアルマイト処理が可能となり、 不良を解消しました...
メーカー・取り扱い企業： 春日井アルマイト工業有限会社
-
-
-
-
広範な膜特性の制御可能！基板加熱源は水冷型と加熱型から選択いただけます
『DLCコーティング装置』は、豊富な蓄積データを有し、優れた膜厚分布 および再現性を実現します。 成膜源はRFプラズマCVD法とイオン化蒸着法から選択可能。 半導体をはじめ、電子部品や光学部品、車載部品などにご利用いただけます。 また、マルチチャン...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
スパッタ成膜ユニット
マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル
-
-
-
-
MSE試験と他試験方法での特長をご紹介いたします。
MSE試験法は基材に影響されず膜単体の強さ計測や、表面から内部までの連続した強さ分布計測までを可能にした試験法です。 この事例ではMSE試験が本当に膜の強さを分析できるのかを検証しました。 1.基材違いの膜強さ比較 2.膜厚違いの膜強さ比較 【他試験方法との違い】 例：鉛筆試験 ●鉛筆硬さ ・膜厚が厚くなると固くなる ・基材が硬いほど固くなる →膜と基材まで含めた機能を評...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社パルメソ
-
-
-
-
薄膜光学特性を非破壊で測定！ 手軽に高精度測定できる分光エリプソメト…
日本セミラボの分光エリプソメーター『GES5E』は、従来の光学測定器では不可能だった薄膜光学特性の測定を非破壊で実現しました。 薄膜、多層膜の膜厚、各層の屈折率（N,K値）波長分散を算出。研究開発からインライン生産品質管理ほかあらゆる分野で活躍しています。 【測定可能な物理特性】 ■厚さ光学屈折率 ■屈折率の勾配と材料組成 ■ドーパント濃度...【豊富な製品バリエーション】 ○...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
-
-
-
-
各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…
から要求される様々な機能に対して、アルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる低価格のＲ&Ｄ装置。 【特徴】 ○低圧力プロセス ○多元同時/多積層膜スパッタ成膜 ○良好な膜厚分布 ○LTSの採用 ○磁性体薄膜への対応 ○フロントアクセス 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
-
-
-
-
素材の耐久性や強さを自身で分析・測定が可能！MSE試験を自動で！材料表…
当装置は「物理エッチング（粒子エロージョン）部」と「エロージョン形状計測部」で構成されています。 試料表面から精密エロージョンし、その深さ計測を繰り返し連続取得することで、強さ比較・強さの断面分布、 層毎の厚さや強さ、面内の強弱分布などが評価できます。 これまでに測ることが難しかった材料表面において、短時間で多くの情報が得られます。 成膜プロセス違いの膜強さを比較したり、深さごとの...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社パルメソ
-
-
-
-
最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成…
『Epitaxial-EB蒸着装置』は、エピタキシャル促進機構により金属膜や酸化膜の単結晶成膜に適した製品です。 基板回転による優れた膜厚分布および再現性を実現させ、またチャンバの メンテナンスが容易。 リフトオフプロセスにも対応しており、適切な表面処理によりパーティクル 低減させます。 マルチチャンバ仕様やバッチ式も製作可...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
-
-
-
-
ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」
膜厚分布：トレー内 ±1.2％、トレー間 ±1.5％を達成しました。
○トレイサイズ L350mm×H210mm ○基板搬送方式 ラック＆ピニオン搬送 ○ストッカー 10トレイ収納 ○排気系 ターボ分子ポンプ 2式／油回転ポンプ 2式 【性能】 ○膜厚分布 トレイ内 ±1.2% トレイ間 ±1.5% ○ターゲット使用効率 ４４％（最大） ○タクト 3分／サイクル ※1枚目を除く ○到達圧力 仕込室 1.0×10^-3Pa以下 SP室 1.0...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
-
