乾燥装置用縦型ドライ真空ポンプ『TRVシリーズ』

PR縦型のダウンフロー構造により、凝縮液の発生に対して極めて強靭な乾燥装置…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

パルスレーザパルス蒸着システム

パルスレーザパルス蒸着システム

と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

真空蒸着システム　UBM Sputter

合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能

内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、 スパッタの効率を増大させた、真空蒸着システム...内部磁石と外部磁石の磁場の強さを異なるように設計し、スパッタの 効率を増大させた装置です。 ■□■メリット■□■ ■合金、化合物、絶縁膜の蒸着が可能 ■多様な反応性ガスによる反応性スパッタリングが可能 ■蒸着膜の厚さの均一性 ■広い面積のターゲット利用が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

真空蒸着システム　FCVA

アーク放電を利用して陰極部の物質を蒸発させ、それを表面に蒸着することが…

アーク蒸着で最も問題になるのは、イオンと一緒に発生されるμmの大きさの dropletです。 ...このdropletは薄膜の物性、特に表面の粗度を低下させるようになります。 このシステムはmacro-particleと中性粒子を取り除き、硬度、粗度などの物性を 向上させるものです。 ■□■メリット■□■ ■Dual bent duct のフィルタリングを通じてのDropl...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

真空蒸着用　EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型

第三世代の超多層膜用EB制御電源

【真空蒸着用　EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型】 NEB-10WE型電源は2電子ビーム源仕様の電源です。NEB-10W型電源の制御盤を簡素化しリーズナブルにしたものになります。 〈特徴〉 ・外部エミッション制御回路により、レート制御が可能！ ・加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載！ ・外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能！ ・放...

メーカー・取り扱い企業： 日新技研株式会社

真空装置

真空装置

しています。 操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置も ユーザーのニーズが 充分に反映されたものになっています。 【取扱い真空装置】 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置 ○真空排気装置 ○薄膜装置 ○FPD製造 ○真空環境試験装置 ●各種真空装置の詳細は、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ガス配管製作

ガス配管製作

接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。 製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の 　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な 　体制となっております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

真空蒸着用　EB源・電源 NEB-05S型 NEB-05W型

超小型サイズで設置スペースが少ない電源になります！

【真空蒸着用　EB源・電源 NEB-05S型 NEB-05W型】 NEB-05型電源シリーズは、超小型サイズで設置スペースが少ない電源です。 NEB-05S型電源は1電子ビーム源仕様、NEB-05W型電源は2電子ビーム源仕様となっています。 〈特徴〉 ・外部エミッション制御回路により、レート制御が可能！ ・加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載！ ・外部X・Yスキャ...

メーカー・取り扱い企業： 日新技研株式会社

真空配管、粗引配管設計及び制作

真空配管、粗引配管設計及び制作

、出荷前の外観検査にて除去し、 リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、 減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を 　行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが 　可能な体制となっております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス