蒸着装置 | イプロスものづくり

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

『KVD-OLED Evo.6』は、有機EL材料の塗布材料を目的とした OPV(有機薄膜太陽電池)用蒸着装置です。有機材料の塗布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬送し、電極を蒸着させる一貫した装置となります。グローブ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】・3軸ロボット機構にて、マスク及び試料搬...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

改善成功事例3　有機材料開発用蒸着装置　

改善成功事例　事例3　有機材料開発用蒸着装置　KVD-OLED Evo…

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、問題が多々発生している。（搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが早い・蒸着レートコントロールが困難など）そこ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機EL用簡易蒸着装置

有機薄膜簡易蒸着装置

●特徴・小スペース、コンパクト設計・蒸着セル最大5本取付可能・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能・コンタミを防ぐ2重シールド構造・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備・メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...●特徴・小スペース、コンパクト設計・蒸着セル最大5本取付可能・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能・コンタミを防ぐ2重シールド構造・基...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機材料開発用成膜装置

【特徴】・搬送機構にてマスク及び試料搬送が可能。・有機材料と金属材料が同じ部屋で成膜可能。・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。・有機材料共蒸着が可能（最大4元）。・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。・蒸着室において、基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。・基板とマスク間ギャップは最少。・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

分子線エピタキシー（MBE）装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

●特徴本装置は10-8Pa以下の超高真空中に置いた基板を加熱し、基板上に堆積させたい原料を独立に供給して基板上に結晶を成長させる真空蒸着法で、蒸発原料に固体を使用して分子線蒸着源（クヌーセン・セル）により原料の蒸発を行う固体ソースMBE装置と、原料に気体や有機金属を使用するガスソースMBE装置などがございます。...蒸着源には、弊社製金属蒸着セル（KMD-Cell）を搭載しております。また、他...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

『PVD装置カタログ』無料プレゼント！

蒸着装置をご検討中の研究者必見！有機蒸着と無機蒸着のどちらも網羅し、…

究開発機器の設計・製造及び販売を行う北野精機では PVD装置を多数掲載した『PVD装置カタログ』を無料進呈中です！選定に役立つPVD装置コンポーネントガイドや、蒸着構成、機能構成など 蒸着装置をご検討中の研究者にぴったりな一冊です。【掲載内容(一部)】 ■PVD装置コンポーネントガイド ■チャンバータイプ別仕様 ■蒸着構成／各蒸着源仕様 ■機能構成　マニピュレーター　な...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。 ◆有機蒸着室において、現状が最大6源の蒸着セルが付いて...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

フリーマウント式金属蒸着源『KFMD-1』

メンテナンスフリー！ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源

『KFMD-1』は、ボートに材料を充填し、通電加熱により蒸着をする簡易蒸着源です。ボート(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選ばず、既存の装置への増設に対応可能です。熱輻射シールドなどを設置することで、基板や真空槽内部へのダメージを軽減することができます。小型で簡易な設計の為、研究開発用途におすすめです。【特長】 ■コンパクトな取り付けフランジI...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機デバイス関連機器総合カタログ

豊富な製品ラインナップ

機材料開発用成膜装置　KVD-OLED Evo.Cluster ■有機材料開発用成膜装置　KVD-OLED Evo.2 ■有機材料開発用成膜装置　KVD-OLED Evo.3 ■有機薄膜簡易蒸着装置 ■有機電子デバイス作成・評価装置 ■有機蒸着セル ■金属蒸着セル □その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

製品案内　装置

表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

北野精機株式会社では、表面分析用チャンバー（極・超高真空）もしくは蒸着用チャンバー（超・高真空）を製作しております。材質は、ステンレス鋼もしくはアルミが標準となるほか、非磁性等の材料も選定可能。フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

『真空機用導入機シリーズ総合カタログ』※無料進呈中

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…

ただいま、高精度・高再現性を実現する、多種多様な“真空機用導入機”を収録した『総合カタログ』を進呈中です。真空装置内にX,Y,Z,θ軸の動作を与える各種導入機やシャッター機構付きにもかかわらず、ICF-70接続を実現し高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動（Z軸）　　■1軸・回転運動（φ軸） ■多軸...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

北野精機株式会社　真空・実験装置の技術的サービス

メーカー問わず、どんな装置でもお気軽にお問い合わせ下さい！

装置の状態を最良に保つため、充実したサポート体制を整えています。お客さまの製品使用環境や、さまざまなニーズに合ったサービスを適正なコストで提供いたします。【各種装置・ユニット類】 ○蒸着装置（MBE・CVD・EB・スパッタなど） ○分析装置（STM・FIM・TEM・AESなど） ○各種マニピュレーター ○各種試料搬送機構詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

総合カタログプレゼント！真空機器・部品

チャンバー、導入機、各種規格部品など満載！真空機器・部品の総合カタログ…

先着100名様限定で研究者・技術者必携の「真空機器・部品　総合カタログ」を無料プレゼント中！高温ベーキング処理によりH2Oなどのガスを排気した高品質な真空部品をたっぷり掲載！用途や条件ごとに、規格品・セミオーダー・特注品からお選び頂けます。【掲載内容（抜粋）】 ■真空部品　ICF規格品、ISO（KF・LF）規格品（NW）、JIS規格品など ■導入機　直線導入...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

有機材料（有機EL）成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...【特徴】・有機材料と金属材料とのコンタ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。また、グローブボックスへ接続可能なシステムです。本システムは、有機材料と金属材料が同じ部屋にて成膜可能なハイブリット型蒸着装置となります。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

フリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』

取り扱いが簡単！小型で簡易設計のフリーマウント式金属蒸着源

『KFOD-1』は、るつぼに材料を充填し、フィラメントヒーターにより加熱をする低温蒸発材料用の簡易蒸着源です。るつぼ(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選びません。既存装置でも試料に向けて取付でき、ねじ1本で蒸着方向を固定/解除できます。短時間での加熱、温度安定性にすぐれ、お手持ちの直流安定化電源で簡単に動作できます。小型で簡易設計の為、研究開発用途におす...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機デバイス作製・評価装置

●有機デバイス作製・評価装置・小スペース、コンパクト設計・蒸着セル最大5本取付可能・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能・コンタミを防ぐ2重シールド構造・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備・メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...●有機デバイス作製・評価装置・小スペース、コンパクト設計・蒸着セル最大5本取付可能・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機OED作製・評価装置

特徴・小スペース、コンパクト設計・蒸着セル最大5本取付可能・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能・コンタミを防ぐ2重シールド構造・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備メンテナンス・クリーニングの簡単設計 ...特徴・小スペース、コンパクト設計・蒸着セル最大5本取付可能・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能・コンタミを防ぐ2重シールド構造・基盤加熱...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

セミ・マニピュレーター『KSM-152-50Z/150Z』

超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行うことが可能…

ます。【特長】 ■超高真空領域まで使用可能 ■X軸・Y軸の動作に柔軟性を持たせている ■本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの　簡易的なチルト機構としても使用可能 ■蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の　移動・位置決め操作が大気側より行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

セミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』

ユーザーの様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体に…

軸には側面に目盛りスケールを設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。本体正面のチルトネジを用いる事で、最大2°までの簡易的なチルト機構としても使用可能。 蒸着装置、MBE装置等、超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行えます。【特長】 ■超高真空領域まで使用出来る ■X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用 ■1...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社