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光学顕微鏡 透過型位相シフトレーザー干渉顕微鏡
従来の光学顕微鏡の上位に位置する新しい形式の顕微鏡で屈折率分布や厚さの構造を高速かつ定量的に計測し、3次元的に可視化できます。 【特徴】 ○レーザー干渉法を応用して、サンプルの屈折率、高さを非接触で計測することができる。 ○高速…計測時間は数秒 ○高精度…位相差計測精度 ±(1/150) λ 、屈折率差計測精度 ±0.0001 、高さ計測精度 ±0.2μm ○空間分解能…光学顕微鏡と...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エフケー光学研究所
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