チップ抵抗ネットワーク1005×4

PR実装コストの低減を実現！電極が凸型形状のチップ抵抗ネットワーク

当製品は、電極が凸型形状のチップ抵抗ネットワークです。 部品搭載回数の減少による実装コストの低減を実現。 最高使用電圧は25V、定格電力は1/16Wです。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【仕様(抜粋)】 ■素子数：4 ■回路記号：D（独立回路） ■包装数量：10,000 アイエイエム電子ではチップ抵抗ネットワークを始め各種厚膜チップ抵抗器を製造販売しております。 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： アイエイエム電子株式会社

函館電子の技術紹介『Auスタッドバンプ加工』

PR少量加工に対応可能。実装面積を抑えられ、製品の小型化に貢献。正確・迅速…

当社は半導体製造で実績があり、IC一貫製造で培った技術をもとに 『Auスタッドバンプ加工』をはじめとした半導体の組み立て加工を手掛けています。 正確・高品質で、スピーディーかつリーズナブルな加工体制を実現しており 仕様や用途に合わせて条件出しを行った上で、少量品から対応できます。 【特長】 ■実装面積を小さく抑えられ、製品の小型化が可能 ■直径25μmの極小径加工が可能 ■パ...

メーカー・取り扱い企業： 函館電子株式会社

BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置

用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置

日本電子株式会社 BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置は、研究開発や少量生産に適した蒸着装置です。 様々なオプション機器が搭載可能で、チャンバー形状やロードロック等、ご要望に合わせて制作します...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

TMPタイプ　真空蒸着装置

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。 排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。 シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています 豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。 また、専用オプションにより、有機物の薄膜...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

カーボンコーター　SC-701CT

個人差のないカーボン蒸着が可能に！ EPMA・分析SEMの前処理用とし…

QUICK CARBON COATER SC-701CTは、EPMAや分析SEMの試料作製の手間を省いたカーボン蒸着専用コーターです。誰でも簡単・手軽にカーボン蒸着できます。 個人差のない蒸着を実現し、試料に対する熱ダメージを低減します。 【特長】 〇フラッシュ式蒸着法を採用　→　個人差のないカーボン蒸着を実現 〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く 〇ロータリーポンプのみによる...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

コールドカソードゲージ コントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。...（特長） 　●堅牢な冷陰極型電離真空計 　●小型のボディーで省スペース化が可能 （仕様） ・出力信号 ：a)フォトリレー出力　容量DC24V、0.5A 　　 　 　 　 　b)アナログ出力　0?5V F.S.　主力インピーダンス1ＫΩ ・使用温湿度 ：...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

電子ビーム蒸着装置

ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡…

高融点材料の真空蒸着には電子ビーム蒸着装置が定番です。 弊社では弊社オリジナルだけでなく各社の蒸着ソースに対応します。 電子ビームを安定させる高真空・超高真空の環境を提供します。 基板ヒーター、回転など対応し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

電子ビーム蒸着装置の世界市場シェア2023

電子ビーム蒸着装置に関するグローバル市場分析、市場規模、販売量、売上高…

2023年9月14日に、QYResearchは「グローバル電子ビーム蒸着装置に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。電子ビーム蒸着装置の市場生産能力、生産量、販...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』

豊富なラインアップをご用意！有機分子の蒸着への応用が可能な電子ビーム蒸…

トヤマが取り扱う電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』をご紹介します。 UHV条件での超高純度サブモノレーヤーから多層薄膜の成膜に特化。 多くの実績のある「EFM 3」の他、イオンビームアシストタイプの「EFM ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トヤマ

3連式電子ビーム蒸着装置

メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用…

当製品は、金属材料を対象とし、リフトオフ成膜可能な電子ビーム蒸着装置です。 3連式EBガンはスライド移動機構により、メンテナンス性・作業性が簡便。 基板寸法は最大φ3インチで、リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を 採用しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

BS-60310BDS ボンバード蒸着源

ダメージレス蒸着

日本電子株式会社 BS-60310BDS ボンバード蒸着源 蒸着材料を充填したライナーの裏面に、電子ビームを照射し、電子衝撃 (ボンバード) によりライナーを加熱します。蒸着材料には直接電子ビームを当てませ...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

『研究開発用真空蒸着装置』は、 大学・公的研究機関や基礎実験用に適した小型蒸着装置シリーズです。 コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型と全手動で抵抗加熱源を 基本構成とした簡易実験型の2機種をラインアップしています。 両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な 仕様対応が可能。デモ機を...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

面実装タイプの受動電子部品（抵抗器・コンデンサ）などの側面電極をドライプロセスで形成。 廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」

シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。

KME-70は単原子層薄膜作成用に設計された、小型の簡易型蒸着源です。 ロッド状材料もしくはルツボに導入した材料を電子ビームで加熱するため、高融点材料の蒸着が可能です。 シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。 【特徴】 ○シンプルな設計で簡便性を重視 ○フラックスレートモニタリン...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

ミニチュアエバポレータ

UHV対応の小型蒸発源です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に…

超高真空対応の小型蒸発源です。電子衝撃加熱蒸発源の一種です。静電場収束によって熱陰極から発生する電子を蒸発材料に照射して蒸発を得ます。磁場収束型の電子衝撃加熱に比較して小型です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

BS-60610BDS ボンバード蒸着源

ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応

日本電子株式会社 BS-60610BDS ボンバード蒸着源は、電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。 従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことにより ハイレ...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2） ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。 ◉ 抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ◉ 有機蒸着源 x 最大4 ◉ マグネトロンスパッタリングカソード x 4 ◉ 電子ビーム蒸着 ◉ ドライエッチング ◉ アニール...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイク...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

標準バッチバッチタイプ蒸着装置（ＡＭＦシリーズ）

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…

半導体・ＭＥＭＳ・各種電子部品（センサー、水晶振動子等）の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

chマグネトロンスパッタリングカソードを同時に設置可能な複合型薄膜実験装置。ベンチトップサイズ・省スペース、限られたラボスペースを有効活用いただけます。 顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統（プロセス圧力APC自動制御）、連続自動製膜（最大20層）、2源同時成膜...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

多機能型・真空蒸着装置 「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。 高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。 蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。 主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

熱蒸着装置『EVAD シリーズ』

金属、誘電及び有機膜成膜！熱蒸着装置をご紹介

当社で取り扱う『EVAD シリーズ』をご紹介いたします。 当製品はPID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜の熱蒸着装置。 また、電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜 ■PID温...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

真空蒸着加工サービス

ふだんの暮らしに生きている蒸着製品

当社では、真空蒸着(ドライコーティング)、コーティング技術(ウェット コーティング)を行っております。 この2つの加工技術により、金銀糸から食品や生活雑貨、そして電子機器 分野まで、多彩な高機能フィルムを生み出します。 【製品例】 ■食品包装 ■生活一般雑貨 ■金銀糸 ■電子機器部品 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： サイチ工業株式会社

BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃

学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます

日本電子株式会社 BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃は、真空チャンバー内に設置し、高密度プラズマを発生させるプラズマ源です。真空蒸着と組み合わせたプラズマアシスト蒸着 (イオンプレ...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

BS-80020CPPS プラズマソース

無加熱成膜でも密着性が良く、充填密度の高い薄膜が形成できます

日本電子株式会社 BS-80020CPPS プラズマソースは、プラズマによる基板や基材の温度上昇を抑え、基板/基材へのイオン照射エネルギーを高めた低温プロセス用のプラズマソースです。 プラスチックや有機フィ...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

BS-04 series ロータリーセンサー

長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効

日本電子株式会社 水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。 真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】 ◉ 製作範囲 抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE） ◉ チャンバー ・026（26Litter）-TE/LTE/SP/CVD/Etch/...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

（ドライポンプ可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源点（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model. LTEC-1cc/5cc) ・EB電子ビーム蒸着源：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8） ・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大４源 ・プロセス制御：手動/自動多層膜・同時成膜、APC自動制御 ・膜厚モ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

リフトオフプロセス対応真空蒸着装置

高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…

『リフトオフプロセス対応真空蒸着装置』は、 化合物半導体やSAWデバイスなど光デバイスや高周波・通信デバイスに 多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置です。 蒸発源に電子銃と抵抗加熱電極を装備しており、高融電極膜や貴金属を含む 厚膜の形成が可能。 基板への蒸発粒子の入射角の垂直性に優れており、成膜時の基板の温度上昇を 防ぐ各種機構（基板水冷機構、電子銃用反...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型樹脂基板用蒸着装置

成膜前の高周波プラズマによる放電洗浄により、樹脂基板に対して高い密着力

『大型樹脂基板用蒸着装置』は、自動車の外装品の大型樹脂成形品への 薄膜形成を目的とした大型蒸着装置です。 複数の電子銃蒸発源を装備し、Al、Cu、Niなどの金属膜を長さ1mの 大型樹脂基板へ低温での高速成膜が可能。 自動車部品だけでなく電子機器への電磁波シールドにも実績を持っており、 大型チャンバ（φ2...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装…

研究開発分野向け、各種薄膜実験装置・コンポーネントを紹介します。 【nano Benchtopシリーズ】 ハイパフォーマンス！nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置 コンパクトサイズに、高機能・ハイスペックな薄膜装置を収納 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】 多彩な装置構成、必要なコンポーネントを要求仕様に合わせて組み合わせ構成する「フレキシブル実験装置」...◉...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

横型蒸着装置

両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…

小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績豊富な独自機構で対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空蒸着用ボート（タングステン・モリブデン・タンタル材）

【※全185種をラインナップ・在庫！】長時間の蒸着でもフィルム汚染が起…

当社では『真空蒸着ボート』のほかにも、『蒸着フィラメント』、 電子ビーム蒸着用の消耗部品、カスタム品などをご提供可能です。 また、誘導加熱蒸着用のタングステン・モリブデン製ルツボは、大小サイズの制限なく製造致します。 【製品特長】 ■電気伝導性に優れる ...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

【ラインアップ(抜粋)】 ＜真空成膜装置＞ 　■RFマグネトロンスパッタ装置 　■対向ターゲットスパッタ装置 　■電子ビーム蒸着装置 ＜各種研究用装置＞ 　■高真空高温炉装置 　■基板加熱装置 　■電流導入端子各種 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

パルスレーザパルス蒸着システム

パルスレーザパルス蒸着システム

（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

ロールtoロール生産ラインにCMWH超広幅ウェブクリーナー装置

ロールtoロール生産ラインで超広幅装置をご検討のお客様へ

ィング技術、仕上加工（スリッティング、カッティング、抜き加工、制袋）、 表面加飾、表面処理技術、塗液製造・分散技術、製膜・成膜技術、ウェブハンドリング技術、その他関連技術 ＜得意業界＞ 電気・電子分野、包装（食品・非食品）、医療・医薬分野 ＜得意製品＞ 偏光板、離型フィルム、剥離フィルム、銅箔 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤンゴージャパン

金属蒸着装置『ESE-09』

容易に基板セットや蒸着用試料補充と交換が可能！大規模集積回路用の装置で…

【特殊仕様】 ■蒸発源を電子ビーム蒸着用の電子銃に仕様変更可能 ■排気系をクライオポンプに仕様変更可能 ■ロードロック式(基板準備室)を追加仕様変更可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-221-Y PLDシステム

PLAD-221-Y PLDシステム

（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

テクノウェーブ株式会社は、真空関連装置・部品及び その他産業関連装置・部品の設計から組立検査を得意としております。 真空技術はデジタル家電業界、半導体・電子工学業界、医療など 幅広い産業等で応用されています。 その中で当社はお客様のニーズを的確に把握し、迅速で確実に ご要望に応えられる提案型企業でありたいと考えております。 【事業内容】...

メーカー・取り扱い企業： テクノウェーブ株式会社

薄膜形成

薄膜形成

ス、 フィルム等の素材に気相成長法の抵抗加熱・ＥＢ蒸着・スパッタリング・ イオンプレーティングです。 液相成長法では、電解メッキ・無電解メッキ・ゾルゲル法を用いた加工対応ができます。 光学・電子部品などを製作する際に応用する技術であり、使用目的・ 手段に合わせて膜選択や膜設計も致します。 〔薄膜種類〕 電極用：Cr・Al・Ni・Cu・Ti・Au・Pt・Pd・Ta・Mo・ITO等 ...

メーカー・取り扱い企業： 豊和産業株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10?Pa ～ 10-?...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ミニチュアエバポレータ

ミニチュアエバポレータ

超高真空対応の小型蒸発源です。電子衝撃加熱蒸発源の一種です。静電場収束によって熱陰極から発生する電子を蒸発材料に照射して蒸発を得ます。磁場収束型の電子衝撃加熱に比較して小型です。モノレイヤー単位の蒸着レートで薄膜制御性に優れる点が特...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

CVD,アニールなどの幅広い目的に対応。 ・最大基板サイズ：Φ10inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4源 ・有機蒸着源 x 最大4源 ・マグネトロンスパッタリングカソード x 4源 ・電子ビーム蒸着 ・基板加熱ステージ（標準500℃, Max1000℃） ・*プラズマエッチング/<30Wソフトエッチング ・CVD（熱CVD, PECVD） *プラズマエッチングはメインチャ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社