石製 真空吸着テーブル

グライナイトを使用した真空吸着テーブル

でき、精密な塗布プロセス・検査 及び各種加工が行える『石製真空吸着テーブル』をご提供しております。 表面を荒くしてガラス基板剥離時の帯電を抑え、ガラス状に形成している トランジスタなどの静電破壊を防止します。 また当社では、通常のラップ面仕上げRa0.8に対し、平面精度を 維持したまま面粗し、仕上げRa0.5程度まで対応することが可能です。 【特長】 ■天然石のため、経年...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関ケ原製作所