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PR高密度の樹脂ブロックにφ60×5mm~100mmの新サイズを追加。安定…
『IMPブロック』は、当社のIMP工法のメリットであるボイドの制御から生まれた 切削加工用素材として幅広くご利用頂いております。 射出成形の利点を活かし、短納期・小ロット・格安でのご提供が可能です。 ブロックサイズは、これまでの6サイズに加え 新たに「φ60×5mm~100mm」を追加ラインアップ。 豊富なサイズ展開で多様なニーズにお応えします。 【新サイズの利点】 ■小物部...
メーカー・取り扱い企業: PLAMO株式会社
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自家消費型太陽光発電システムに必要な計測機能と保護要素を一体化
PR ディジタル地絡過電圧・逆電力リレー DVRR-72
太陽光発電設備に必要なRPRとOVGR、計測器 (マルチメータ) 、バックアップ電源を一体化した保護リレー (保護継電器) です。DIN72×72mmコンパクトサイズでシステム構築に貢献します。 自家消費型太陽光発電システムにおける負荷追従制御用のマルチメータとしてトップクラスの高速応答 (100ms以下) により、電力コストの削減やエネルギーの効率的な利用が可能です。 施工性にも配慮し、既存...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社第一エレクトロニクス
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シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから1m□基板まで対応。S…
置(CCP型・ICP型)とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。 ウェハレベルの基板だけでなく大型基板のエッチングにも対応可能 基板の大型化にスムースに対応可能な新型高密度プラズマエッチング装置...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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新プラズマ源HCD(ホローカソード放電)電極搭載、各種メタルやCu薄膜…
新開発プラズマ源HCd(ホローカソード放電)型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。 独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくCu薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 300m...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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高密度化が進むプリント基板のファイン化のニーズに対応
コンパクト設計の超高精度シリーズ SPseries SPE40は、高密度化が進むプリント基板のファイン化のニーズに対応した小型エッチングマシンです。ノズル、ノズル配置、オシレーションなど二宮システムのノウ・ハウを駆使し完成した小型機の決定版です。タッチパネル操作により...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社二宮システム
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高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工!プロセスガスからラジカルを選択的に…
『CCP-T60M/B2M』は、高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工を実現する 平行平板型エッチング装置です。 プロセスガスからラジカルを選択的に生成し、低電子温度、高密度プラズマが 得られる60MHzパワーを上部電極に印加。 また、常に適切なエッチングプロセス条件が維持されるシーケンスプログラムを 内蔵しています。 【特長】 ■平行平板型エッチン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社片桐エンジニアリング
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超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201
付けて 使うことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現 ○完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全 ○完全空冷式で冷却水は不要 ○各種活性ガスの使用が可能 ○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されているため ...
メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社
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Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応!デモ機常設!…
『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロ…
マイクロエレクトロニクス市場では、より高性能で高密度の半導体を求める動きがあり、最近の設計では層厚を薄くし層内の構造をコンパクトにしています。しかし、このようなチップに従来の加工技術を適用することは手間とコストがかかる上に、エラーが発生しやすくなり...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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平滑なエッチング面と高い加工精度を実現!サンプルテスト対応いたします!
『SERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど 幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。 実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い 加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、 ナノインプリントモールドの作成に適して...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ダメージレス・ハイスループット・多用途対応 ハイエンドデバイス・化合物…
8インチ対応の枚葉式プラズマアッシング装置。 高密度表面波プラズマ源装備アッシング室2室装備。枚葉式ロードロック室1室装備。マルチチャンバタイプ。 コンパクトな設置寸法でハイスループットを実現。豊富なオプション類(RIE室・ICP室・加熱・冷却室...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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