アルミ・鋼の金属部品加工＜事例集進呈＞

PR高品質・高精度の製品を製作。アルミ部品は平行・平坦度2/100mmに対…

アルミ・鋼の角物の加工を手掛ける当社は、高性能な立型マシニングセンタや 横型マシニングセンタをはじめとする設備を多数導入しており、 高品質・高精度の製品ニーズにお応えしています。 アルミで2/100mm、鋼で1/100mm（研磨込み）の平行・平坦度を誇るなど、 高い技術力を保有。半導体業界水準のキズの無い美しい仕上がりを提供します。 手のひらサイズから約20kgまでの幅広い製品に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジーエスピー

PRP/HSR対応 冗長化装置RedBOX『RB304』

PR制御システム等における周辺装置のゼロ復旧時間を実現。 クリティカルな…

PRP/HSR(IEC62439-3）に対応していないデバイスも本製品と接続すれば、周辺装置をその冗長ネットワークに参加することが可能となります。 ＜PRP製品＞ 並列接続でLAN構成を二重化。 一方の回線が故障してもメッセージロスが生じません。 ＜HSR製品＞ LAN回線をリング構成とし、右回り・左回りに同じメッセージを伝達。 一方が故障してもメッセージロスが生じず、遅延も起...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リョウセイ

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.70

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

介している、 バージョン70です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、今回の試作内容が、T角が40(±10)、 CDロスは0.9～1.1(±0.1)であることを掲載。また、ETは100secです。 Cuが0ppmの場合は、CD上が1.70μm、CD下が0.99μm、T角が40度。 Cu15kppmまでの全7パターンの結果をご紹介しております。 【掲載内容】 ■薬...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社

マイコン制御式 プリント基板用エッチングマシーン　ES-800M

マイコン制御により、短時間で高品質のエッチングを実現

主な仕様 処理工程：投入→エッチング→絞り→水洗槽 処理最大幅：330mm 処理最小長さ：100mm 搬送部ローラーピッチ：45mm チャンバー長：400mm（スプレー有効長300mm） エッチング液最大液量：40リットル エッチング液：塩化第二鉄　40ボーメ（サンハヤト製　H-20...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

格にてご提供可能。 【仕様】 ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200まで クリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター 洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又はMS選択 回転数範囲：100〜2,000rpm 回転数設定：ボリューム設定 耐酸アルカリ仕様：耐酸、アルカリ用ボディ（PVC）使用 対溶剤仕様：IPA.アセトン等の各種溶剤対応ボディ（SUS）使用 オプション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

ＲＦフィルタ

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネル…

・チャンネル：1～8 ・RF周波数：1～50MHz ・インピーダンス：共振周波数で10kΩ以上 ・DCR：各チャンネルで25℃の場合に2MHzで100mΩ未満、13MHzより高い周波数で15mΩ未満 ・L：各チャンネル25℃で5μH～300μH(公称値) ・C：各チャンネル10～25pF(公称値) ・チャンネル間の絶縁は最大AC3kV。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

《ソノシス》超音波スプレーノズル

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

トが安い） ・最小流量から流量に関係なく均一霧化 ・全流量域での粒子径がほど一定 ・目詰まりしにくく、作業場の安全性が高い ・粒子の自己速度が遅い為、塗着効率が良い ・操作周波数は45~100lHz（機種により異なる） ・平均粒子径は約20?m~40?m（注：ザウター平均ではありません）...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

Druck 半導体製造装置向け圧力計測ソリューション

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…

り） ■モジュール式（シングル・デュアルが選べます） 【装置の気体・液体の流量計測、品質管理に】 ■圧力コントローラPACE：モジュール式で高精度且つ、幅広い圧力範囲に対応 ■PACE1000圧力インジケータ：最大３つの圧力を同時表示、最大5チャンネルのセンサが入力可能。シングルチャンネルの圧力計に比べて検査工程のコストを大幅に削減できます。 【半導体製造装置の流体制御に必要な...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

であるSSTC（Symmetrical Shieled Tornade Coil）電極の 　採用により、大面積に対して高い選択比と高精度で均一性に優れた 　エッチングが可能 ○低バイアス（-100V以下）での低ダメージプロセスが可能 ○基板ステージおよび反応室内壁の温度制御により、安定した条件での 　エッチングが可能 ○ロードロック室にもターボ分子ポンプを採用し、より安定したプロセス...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

加工形状などの紹介　メタルエッチング仕様

メタルエッチングの加工形状や断面形状、寸法公差についてご紹介致します

いております。一般的には板厚の±10～15％が標準になりますが、試作および小ロットの場合はさらに厳しい要求にもお応えできますので、あらかじめご相談ください。最小Ｄ寸法は板厚相当になります。MIN/100μです。最小Ｗ寸法は板厚の1/2相当になります。MIN/50μです。エッチング加工では、ブリッジ（つなぎ）が必要になります。 詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 伸光写真サービス株式会社

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

高電圧パルス放電用セラミックコンデンサ

） ○許容温度範囲： -30℃〜+50℃ ○エネルギー散逸： 最大0.5% (@1kHz) ○絶縁試験： 下記DCテスト電圧にて10秒間 ○絶縁抵抗： 20,000MΩ(最小値：@100VDC) ○温度係数： N5500(±1000ppm/℃) ○端子強度： 最大トルク・・20[inch・lbs] ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に

半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…

〇通信：RS232、USB、IEEE-488、SCPIほか（モデルにより異なります） 〇電源：AC90～130V、AC180～260V（47～63Hz） ■圧力インジケータ PACE 1000 生産ラインの圧力計測もこれ一台。最大３つ圧力値を同時表示！ ゲージ圧と大気圧を同時表示できる高精度の圧力インジケータです。外部センサーポートは標準２つ、最大３つ接続可能。画面上で再生可能な...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

TAB・COF製造装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

ル巻出に同期して、 ライン搬送に影響を与えず巻取ができます。 テンションコントローラーで製品巻出リールの回転速度を一定に制御。 巻出部テンションは製品幅により可変しますが96mm幅では、100g以下での 搬送が可能です。 またタクト搬送方式では、ニップローラー送り又は、1軸ロボットで チャックして送る方法で行い、微細品対応として、位置決めはカメラによる オートアライメント方...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所

イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』

高いスループットを実現！大面積イオンソースと高度なモーションコントロー…

な均一性を得ることが出来ます。 【仕様】 ■イオンビームシステム ■プロセス温度：-40℃～+60℃ ■傾斜角：+90度～-80度 ■ロードロック　又は、CtoC ■ウエハサイズ：100mm,150mm,200mm ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

【仕様】 ◎圧力範囲：0～1kPaから0～100kPa ◎精度：±0.5%読み値(±0.25%オプション) ◎補償温度：0～50℃ ◎使用電源：DC12～30V ◎長期安定性：±0.5％FS／年 ◎応答性：20msec ◎過負荷耐圧...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

プラズマエッチャー【RIE.S-200A】レンタル始めました～♪

有機・無機問わず高いエッチング効果！ １週間～レンタル始めました～♪…

スフロコントローラ１系統(２系統はオプション) 浮子式流量計 ステージ寸法 φ200mm 電源 AC100V 50/60Hz 15A 真空ポンプ 135/160 ( リットル/min ) 操作方法 タッチパネルによる自動操作 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

プラズマエッチャー【CPE.S-200A】

有機・無機問わず高いエッチング効果！

スフロコントローラ１系統(２系統はオプション) 浮子式流量計 ステージ寸法 φ200mm 電源 AC100V 50/60Hz 15A 真空ポンプ 135/160 ( リットル/min ) 操作方法 タッチパネルによる自動操作 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

Aera Transformer　デジタルマスフローコントローラ

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

特長 ・マルチガス・マルチレンジ ・高速応答性 ・100％メタルシール・高純度設計 ・フィールドでプログラム可能 ＊ ・再校正をしなくても様々なガス選択が可能 ＊ ・DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応 ・多彩な警告・診断機能 ...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

連続式熱処理炉

均一な温度での電子部品の連続熱処理に！多品種・小ロットにも対応した熱処…

【仕様】 ■常用温度：100～200℃（300℃MAX） ■昇温時間：15min（RT～300℃） ■温度分布：±2℃（温度安定時） ■熱電対：Kタイプ ■温度制御：温度調節計（PID制御） ■加熱方式：熱風循環方...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

バルクエッチング装置『BEM-301』

エッチング量（深さ）とウェーハの材質を指定するだけで何方でも容易に使用…

が可能です。 【仕様】 ■エッチングレート：2μm/H以上 ■平坦度：10%以内 ■エッチング量（深さ）の精度：±5%以内 ■ユーティリティ：O2、N2、HF、DIW、冷却水、AC-100V、AC-200V、酸排気、酸排水 ■外形寸法：1,000W×1,300D×2,000H（mm） ■重量：約300Kg ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社NAS技研

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

よる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応 ・フィールドでのプログラムが可能 ・DeviceNet、RS-485、アナログコントロール ・ディスプレイ搭載 ・自己診断機能内蔵 ・100％メタルシール、高純度仕様...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

LECTROPOL-5

様々な材料に適した10種類の研磨/エッチング条件を内蔵！短い研磨時間と…

【技術データ】 ＜電源供給＞ ■50/60Hz(最大負荷 9.8A)：1x100V/120V ■50/60Hz(最大負荷 4.9A)：1x220V/240V ＜出力電圧/電流＞ ■研磨：0-100V(1Vステップ)/6A ■エッチング：0-25V(0.5Vステップ)/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ストルアス

【金属エッチング事例】面状発熱体（ヒーターパターン）

デメリットを解決！特長は、パターン間を繋ぐブリッジ（ツナギ）が無いこと…

での加工が可能。 今回の事例のようにブリッジ無しで作成することで、デメリットを解決する ことができるようになりました。 【製品仕様】 ■材質：SUS304-H ■厚み：50μm、100μm ■パターン幅：1mm ■その他：ブリッジレス（片面エッチング）仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

排ガス処理セット　ES-F1

エッチング中に発生するガスや蒸気を除去

150時間 ■排気風量 ：約35L/分 ■排気ダクト長：2m以内 ■防水ファン ：過負荷保護回路内蔵（電流カット方式採用) ■寸法・重量：250φ×340mmh　約5kg ■電源 ：AC100V 50/60Hz　約2W □その他機能や詳細については、カタログをご覧下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

成膜装置『Corial 200 Series』

用途に応じてコンフィギュレーションする事ができるプラズマエッチング・成…

ラットフォームを用い、用途に応じてRIE,ICP,ICP+RIE, ICP-CVD又は、PECVDとしてコンフィギュレーションする事ができる 研究開発向け装置。 ウエハサイズは50mm,100mm,150mm,200mmです。 【特長】 ■共通プラットフォームを用いる ■RIE,ICP,ICP+RIE,ICP-CVD又はPECVD装置 ■研究開発向け ■ウエハサイズは50...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【ベトナムアルミ加工】半導体製造装置の精密部品　A5052

ベトナム金属加工　アルミ加工　フライス加工【コストダウンはフィリール株…

♦材質 A5052　(アルミ) ♦業界 半導体製造装置 液晶製造装置 ♦加工方法 マシニング加工 ♦表面処理 処理　(日本国内) ♦個数 100～1000個 ♦説明 ベトナムでの製作となります。 傷・寸法、本社工場にて全品検査を行っております。 ※是非一度お見積りのご依頼をいただき、御社のご要望にお応えします。 まずはホ...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社

【ポケット加工】マシニング加工　大阪

ステンレス加工　フライス加工　【コストダウンはフィリール株式会社にお任…

♦材質 SUS304　(ステンレス) ♦業界 半導体製造装置 液晶製造装置 ♦加工方法 マシニング加工 旋盤加工 ♦表面処理 　－　(日本国内) ♦個数 100個 ♦説明 半導体製造装置のステンレス精密部品となります。 マシニング加工での製作です。 ※是非一度お見積りのご依頼をいただき、御社のご要望にお応えします。 まずはホームページを...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社