製造装置用大容量ＲＦ同軸コネクタ13.56Mhz~

ＲＦ電源からプロセスチャンバー間の高周波同軸接続箇所において、ワンタッ…

製造装置の種類の中でもエッチャーやＣＶＤ等はプラズマ発生時に高周波が必要とされておりますが、製造装置は各ユニット（ＲＦ電源～マッチングボックス～プロセスチャンバー等）を接続し組み立てるため、装置納入時の組み立てやメンテナンス時の脱着において再現性やインピーダンス整合が重要な箇所であります。 その中で高周波接続部において弊社コンタクトスプリングを装着した高周波同軸コネクタを採用された装置がトッ...

メーカー・取り扱い企業： エヌビーエス株式会社 本社・工場

高周波ロータリーコネクタ-02

高周波通電可能なロータリーコネクタ（スリップリング）!

半導体製造装置に使用されている高周波通電用のロータリーコネクタです。 貫通穴タイプ、13.56MHz、25A 、1極の製品になります。 近年半導体業界では高周波通電の案件が増加しています。 要求仕様に合わせて1台から設計製作いたします。...電流、電圧など要求仕様に合わせ1台から設計製作いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研

【低ノイズ、低回転トルク】遊星運動方式のスリップリング

フープメッキ装置や電解脱脂装置などに使用できるスリップリングをご紹介！

弊社で開発した独自構造の遊星運動式のスリップリング(ロータリコネクタ)を ご紹介いたします。 「50A スリップリング」は接触抵抗が小さく、カーボンプラシを用いた スリップリングより小型、長寿命です。 他にも貫通穴に直接取り付け可能な「高周波大電流スリップリング」や、 ノイズレスで微小信号の伝送ができる「信号線スリップリング」をご用意。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせくださ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研

高周波大電流スリップリング

独自構造の遊星運動式！ターンテーブルに対して高周波電流が供給可能

当社では複数の大手メーカへの納入実績があり、ユーザーニーズに合わせた 設計、製作が可能です。 『高周波大電流スリップリング』は、通電路となるシャフト(例えば ターンテーブルの軸)をスリップリング側の貫通穴に直接取り付け可能。 固定側のケーブルを2箇所のM5ねじ穴を利用して固定すれば回転する ターンテーブルに対して高周波電流が供給できます。 【仕様】 ■極数：1 ■周波数...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研

高周波ロータリーコネクタ-03

高周波通電可能なロータリーコネクタ（スリップリング）!

貫通穴タイプ、13.56MHz、25A 、1極のロータリーコネクタ（スリップリング）です。半導体製造に使用されています。 ...電流、電圧など要求仕様に合わせ1台から設計製作いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研

高周波ロータリーコネクタ

高周波通電可能なロータリーコネクタ（スリップリング）!

13.56MHz、150A 、1極のロータリーコネクタ（スリップリング）です。 半導体製造に使用されています。 ...電流、電圧など要求仕様に合わせ1台から設計製作いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研

【事例】高周波電流ロータリーコネクタ（Type1）

水銀未使用！新しい構造のロータリーコネクタの事例を紹介！

ヒサワ技研が開発した水銀を使用しないロータリコネクタの事例と 構造についてご紹介いたします。 当製品は、大電流をコンパクトに回転接続可能。 RoHS対応品で接触抵抗が低く、低ノイズ、低回転トルク、長寿命を実現しました。 また従来製品では対応できなかった高温、真空環境にも対応可能です。 当社では、要求仕様に合わせ、多極、高温、真空環境などに対応した設計が可能です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研

【事例】高周波電流ロータリーコネクタ（Type2）

水銀未使用！新しい構造のロータリーコネクタの事例を紹介！

ヒサワ技研が開発した水銀を使用しないロータリコネクタの事例と 構造についてご紹介いたします。 当製品は、大電流をコンパクトに回転接続可能。 RoHS対応品で接触抵抗が低く、低ノイズ、低回転トルク、長寿命を実現しました。 また従来製品では対応できなかった高温、真空環境にも対応可能です。 当社では、要求仕様に合わせ、多極、高温、真空環境などに対応した設計が可能です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研

【事例】高周波電流ロータリーコネクタ（Type3）

水銀未使用！新しい構造のロータリーコネクタの事例を紹介！

ヒサワ技研が開発した水銀を使用しないロータリコネクタの事例と 構造についてご紹介いたします。 当製品は、大電流をコンパクトに回転接続可能。 RoHS対応品で接触抵抗が低く、低ノイズ、低回転トルク、長寿命を実現しました。 また従来製品では対応できなかった高温、真空環境にも対応可能です。 当社では、要求仕様に合わせ、多極、高温、真空環境などに対応した設計が可能です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研