真空蒸着システム　ＰＥＣＶＤ

薄膜蒸着における低い工程温度

高純度フィルムの形成が可能な、真空蒸着システム...プラズマを利用したＣＶＤで、source gas　などで分解させ、そこで発生する グロー放電を利用する薄膜合成法です。 Glow discharge を起こさせるために、0〜13.56MHzの多様な周波数領域の powerを利用します。 ■□■メリット■□■ ■高純度フィルムの形成が可能 ■Source Gas によって多...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所