• 小型プラズマクリーナー『KNPC-1』 製品画像

    小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

    12インチリング付きウェハ処理が可能! 表面改質、無機物/有機物汚染…

    ★ 12インチリング付きウェハ処理が可能! ★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去! ★ 量産前の評価、研究に最適! ★ 高速、低価格 ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可 [ 主要性能] ・到達圧力:6.0Pa以下(ガスバラスト閉時)   ※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート:1.07 Pa/min以下   ※ビルドア...

    メーカー・取り扱い企業: KNE株式会社

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