2周波/3周波/4周波 高周波電源

複数の周波数を交互に出力可能 プラズマの高密度化・新プロセスの開発に…

・2周波電源 13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW 27.12MHz/60MHz 3kW 2MHz/4MHz 1kW 2kW 400kHz/800kHz 500W ・3周波電源 27.12MHｚ/40.68MHz/54.24MHｚ 5kW 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W　3kW 13.56MHz/27.12MHz/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部

超小型高周波電源

小型化する装置に対応すべく超小型RF電源、整合器の設計・開発を行ってお…

出力　5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) 周波数　13.56MHz～27.12MHz 周波数 13.56MHｚ～27.12MHｚの任意の周波数 定格出力 5W～100W 入力 AC100V 1Φ　もしくはDC入力 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形　W140×D180×H110mm...出力　5W/10W/30W/50W/75W/100W(小型版) ...

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【Mbox内蔵型高周波電源】/750W 13.56MHz

1.ローコスト　2.省電力　3.コンパクト設計

独自の機構により、高周波電源の内部に整合器を内蔵した高周波電源を開発致しました。 従来の製品と比較し出力を500W→750Wにアップさせましたが、サイズはフルラックからハーフラックに収まるサイズにし、徹底したコンパクト化を図りました。...【特徴】 1.ローコスト ・高周波電源の内部に整合器を内蔵することによって、低価格化を実現 ・高周波電源を整合器の位置に設置できるため、高周波電...

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超小型自動整合器

超小型高周波電源に対応した自動整合器です

周波数　13.56MHz～27.12MHzの任意の周波数 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形　W140×D155×H110mm...周波数　13.56MHz～27.12MHzの任意の周波数 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形　W140×D155×H110mm...

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≪プラズマ用高周波電源≫ニーズに合ったRF電源にカスタマイズ可　

軽量・コンパクト！1台から開発製造も可能！

空冷式の電源でありながら軽量コンパクトな設計（ハーフラックサイズ）を実現！ プラズマ用高周波電源（ＮＲ０３Ｎ−０１） ■□■特徴■□■ ■定格出力　NR03N-01：300W　NR05N-01：500W ■周波数　13.56MHz ■出力インピーダンス　50〜52Ω ■電源電圧　200V 3相 50/60Hz ■スプリアス　-40dB 以下 ■冷却方式　強制空冷 ■詳...

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ハイスピードマッチング用自動整合器

高速整合を可能とした自動整合器です

型式 NM1A-XX 周波数 13.56MHz 通過電力 1kW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 却 水冷/空冷併用 整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O 0～10.0V 外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net 電 源 AC84V～220V/...

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HF帯高周波電源

（例：4MHZ/13.56MHZ/27.12MHZ）

13.56MHzは、産業、科学、医療の目的に使われるべく、確保された周波数帯です。 現在最も使用されている周波数帯域で、Suica等も13.56MHzが使われています。 　※上記以外でも様々な、周波数及び出力に対応しております。 一例　NR5N-ＸＸ 出力周波数 13.56MHz±0.05％ 定格出力 5000W 最大入力電源 9KVA 出力インピーダンス 50Ω 入力...

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2周波〜4周波用 / 広帯域用自動整合器

1台で、2～4周波/広帯域の整合が可能な自動整合器です

型式 NM1A13-54M-XX 周波数 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz 54.24MHz 通過電力 1kW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 却 水冷/空冷併用 整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O 0～10.0V 外部シリアル通信 RS232...

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DC重畳用自動整合器

DC電源とRF電源の重畳に対応タイプの自動整合器です

型式 NM3AD-XX 周波数 13.56MHz 通過電力 3KW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 却 水冷/空冷併用 整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O 0～10.0V 外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net 電 源 AC84V～220V...

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